TAC Coating Crucible

Deals Semiconductor'sCVD TAC gecoate smeltkroesSpeel meestal de volgende sleutelrollen in de PVT -methode SIC single crystal groeiproces:

De PVT -methode verwijst naar het plaatsen van een SIC -zaadkristal bovenop de Crucible met TAC -gecoate crucible en het plaatsen van SIC -poeder als een grondstof aan de onderkant van de smeltkroes. In een gesloten omgeving van hoge temperatuur en lage druk sublimeert het SIC -poeder en onder de werking van temperatuurgradiënt en concentratieverschil, deSic poederwordt overgebracht naar de buurt van het zaadkristal en bereikt een oververzadigde toestand na herkristallisatie. Daarom kan de PVT -methode een controleerbare groei van SIC -kristalgrootte en specifieke kristalvorm bereiken.

● Thermische stabiliteit van kristalgroei

Vetek Semiconductor TAC -gecoate smeltkroezen hebben een uitstekende thermische stabiliteit (kunnen stabiel blijven onder 2200 ℃), wat helpt om hun structurele integriteit te handhaven, zelfs bij de extreem hoge temperaturen die nodig zijn voor enkele kristalgroei. Deze fysieke eigenschap stelt het SIC-gecoate grafiet in staat om het kristalgroeiproces nauwkeurig te regelen, wat resulteert in zeer uniforme en defectvrije kristallen.

● Uitstekende chemische barrière

TAC -gecoate smeltkroezen combineren een tantalum carbide -coating met een grafiet met hoge zuiverheid om een ​​uitstekende weerstand te bieden tegen een breed scala aan corrosieve chemicaliën en gesmolten materialen die vaak worden aangetroffen tijdens SIC -groei van enkele kristal. Deze eigenschap is van cruciaal belang voor het bereiken van kristallen van hoge kwaliteit met minimale defecten.

● Dempels voor een stabiele groeiomgeving

De uitstekende dempeigenschappen van de Coatible Crucible Minimaliseren trillingen en thermische schok in de Graphite Crucible, die verder bijdragen aan een stabiele en gecontroleerde kristalgroeiomgeving. Door deze potentiële bronnen van interferentie te verminderen, maakt de TAC -coating de groei mogelijk van grotere, meer uniforme kristallen met verminderde defectdichtheid, uiteindelijk verhogen de apparaatopbrengsten en het verbeteren van de apparaatprestaties.

● Uitstekende thermische geleidbaarheid

De gecoate smeltkroes van Veteksemicon hebben een uitstekende thermische geleidbaarheid, wat het grafiet helpt om warmte snel en gelijkmatig over te dragen. Dit bepaalt de precieze controle van de temperatuur gedurende het kristalgroeiproces, waardoor kristaldefecten veroorzaakt door thermische gradiënten worden geminimaliseerd.

Tantalum carbide (TAC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede

Fysieke eigenschappen vanTantalum carbide coating

Vetek Semiconductor Production Shops