Solide SiC-schijfvormige douchekop

De rol van de vaste SIC-schijfvormige douchekop in het CVD-proces is om het reactiegas gelijkmatig boven het afzettingsgebied te verdelen, zodat het gas gelijkmatig over de reactor kan worden verspreid om een ​​platte en uniforme film te verkrijgen.

De vaste SIC -douchekop bevindt zich aan de bovenkant van de CVD -oven of nabij de gasinlaat. Het reactiegas komt de schijfvormige structuur binnen door de gaten die op de douchekop zijn verdeeld en diffundeert rond het oppervlak van de douchekop. Door het ontwerp van meerdere kanaal en gelijkmatig verdeelde uitlaten, kan het reactiegas gelijkmatig naar het gehele reactorgebied stromen, concentratie of turbulentie vermijden en de consistentie van de laagdikte op het substraat waarborgen.

Tegelijkertijd heeft de structuur van de Shower Shower Head van de halfgeleider ook een diffusie -effect, dat de stroomsnelheid van het gas effectief kan verminderen, zodat deze gelijkmatig kan worden diffuus bij de mondstukuitlaat en de impact van lokale gasstroomveranderingen op het afzetting -effect kan verminderen. Het helpt om directe gasimpact op het substraat te voorkomen en het probleem van ongelijke afzetting te voorkomen.

Vanuit het perspectief van materialen is de vaste SIC-gasdouchekop gemaakt van resistent, corrosiebestendig en hoogwaardig vast SIC-materiaal met een zeer hoge stabiliteit op hoge temperatuur. Het kan lang stabiel werken in de CVD -oven en heeft een lange levensduur.

Vetek Semiconductor biedt hoogwaardige aangepaste services. De vorm- en gatlay-out van de vaste SIC-schijfvormige douchekop kan flexibel worden aangepast volgens de procesvereisten van de klant om zich aan te passen aan verschillende gastypes, stroomsnelheden en depositiematerialen. Voor verschillende grootte van reactoren of substraatgroottes kunnen schijfvormige douchekoppen met verschillende diameters en gatenverdelingen worden aangepast om het gasverdelingseffect te optimaliseren.

Vetek Semiconductor heeft volwassen processen en geavanceerde technologieën voor solide SIC Semiconductor -douchekopproducten, waardoor een groot aantal klanten een continue vooruitgang in CVD -processen helpt. Vetek Semiconductor kijkt ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden.

Fysieke eigenschappen van vaste SIC

Het halfgeleiderSolide SIC-schijfvormige douchekopproductiewinkels