Webmenu

product zoeken

Taal

Producten
CMP polijstslurry
  • CMP polijstslurryCMP polijstslurry

CMP polijstslurry

CMP-polijstslurry (chemische mechanische polijstslurry) is een hoog prestatiemateriaal dat wordt gebruikt bij de productie van halfgeleiders en de verwerking van precisiemateriaal. De kernfunctie is om een ​​fijne vlakheid en polijsten van het materiaaloppervlak te bereiken onder het synergetische effect van chemische corrosie en mechanisch slijpen om te voldoen aan de vlakheid en oppervlaktekwaliteitseisen op het nano -niveau. Ik kijk uit naar uw verdere consult.
Stuur onderzoek
Productomschrijving

De CMP -polijstslurry van Veteksemicon wordt voornamelijk gebruikt als een polijsten schuurmiddel in de CMP chemische mechanische polijstslurry voor het planeren van halfgeleidermaterialen. Het heeft de volgende voordelen:

● De diameter en deeltjesassociatie graad van de deeltjes kan vrij worden geregeld;
● De deeltjes zijn monodispersed en de deeltjesgrootteverdeling is uniform;
● Het dispersiesysteem is stabiel;
● De massaproductieschaal is groot en het verschil tussen batches is klein;
● Het is niet gemakkelijk om te condenseren en te vestigen.


Prestatie-indicatoren voor producten voor ultrahoge purity-serie

Parameter
 Eenheid
 Prestatie-indicatoren voor producten voor ultrahoge purity-serie
Bisschop
 Bisschop2
 Bisschop3
 Bisschop4
 Bisschop-5
 Bisschop6
 Bisschop7
Gemiddelde silica -deeltjesgrootte
 nm
 35 ± 5
 45 ± 5
 65 ± 5
 75 ± 5
 85 ± 5
 100 ± 5
 120 ± 5
Nanodeeltjesgrootteverdeling (PDI)
 1 <0,15
 <0,15
 <0,15
 <0,15
 <0,15
 <0,15
 <0,15
Oplossing pH
 1 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
Vaste inhoud
 % 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
Verschijning
 -
 Lichtblauw
 Blauw
 Wit
 Gebroken wit
 Gebroken wit
 Gebroken wit
 Gebroken wit
Deeltjesmorfologie x
 X ： S- ferisch ； b- gebogen ； p- peanut-vormig ； t- bolvormig ； c- kettingachtig (geaggregeerde toestand)
Stabiliserende ionen
 Organische / anorganische amines
Samenstelling van grondstof y y
 En ： M-tmos ； e-you ； me-tamos+teos ； em-ezos+tmos
Inhoud van metalen onzuiverheid
 ≤ 300ppb


CMP Polishing Slurry Producttoepassingen:


● Geïntegreerde circuit ILD -materialen CMP

● Geïntegreerde circuit poly-Si-materialen CMP

● Semiconductor Single Crystal Silicon Wafer Materials CMP

● Semiconductor silicium carbide materialen CMP

● Integrated Circuit STI -materialen CMP

● Geïntegreerde circuitmetaal- en metalen barrièrelaagmaterialen CMP


Hottags: CMP polijstslurry
Gerelateerde categorie
Stuur onderzoek
Contact informatie
Voor vragen over siliciumcarbidecoating, tantaalcarbidecoating, speciaal grafiet of een prijslijst kunt u uw e-mailadres achterlaten en wij nemen binnen 24 uur contact met u op.
gerelateerde producten
Max fase nanopow
Max fase nanopow Bekijk meer >>
Technologie voor thermisch spuiten met halfgeleiders
Technologie voor thermisch spuiten met halfgeleiders Bekijk meer >>
Wafer die robotarm hanteert
Wafer die robotarm hanteert Bekijk meer >>
Thermische spuittechnologie MLCC -condensator
Thermische spuittechnologie MLCC -condensator Bekijk meer >>
Fysieke dampafzetting
Fysieke dampafzetting Bekijk meer >>
Nieuwsaanbevelingen
Kenmerken van silicium epitaxie
Kenmerken van silicium epitaxieBekijk meer >>
Met welke uitdagingen wordt het CVD TaC-coatingproces voor de groei van SiC-monokristallen geconfronteerd bij de verwerking van halfgeleiders?
Met welke uitdagingen wordt het CVD TaC-coatingproces voor de groei van SiC-monokristallen geconfronteerd bij de verwerking van halfgeleiders?Bekijk meer >>
Silicium (SI) Epitaxy Preparation Technology
Silicium (SI) Epitaxy Preparation TechnologyBekijk meer >>
Veteksemicon schijnt op de Shanghai Semicon International Exhibition 2025
Veteksemicon schijnt op de Shanghai Semicon International Exhibition 2025Bekijk meer >>
Wat is TAC -coating? - Vetek halfgeleider
Wat is TAC -coating? - Vetek halfgeleiderBekijk meer >>
Toepassing van op koolstof gebaseerde thermische veldmaterialen in siliciumcarbide kristalgroei
Toepassing van op koolstof gebaseerde thermische veldmaterialen in siliciumcarbide kristalgroeiBekijk meer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept