Massieve SiC focusring

6. Belangrijkste toepassingsgebieden

7. Veteksemi solide SiC focusring kernvoordelen

Uitstekende weerstand tegen plasmacorrosie

Bij langdurige blootstelling aan zeer corrosieve plasma's met hoge dichtheid, zoals CF4, O2 en Cl2, zijn conventionele materialen gevoelig voor snelle slijtage en deeltjesverontreiniging. Onze massieve SiC-focusring vertoont een uitstekende corrosieweerstand, met een corrosiesnelheid die veel lager is dan die van materialen zoals kwarts of aluminiumoxide. Dit betekent dat het oppervlak na verloop van tijd een glad oppervlak behoudt, waardoor het risico op wafeldefecten als gevolg van slijtage van componenten aanzienlijk wordt verminderd, waardoor een continue en stabiele massaproductie wordt gegarandeerd.

Uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen en thermische beheerprestaties

Het halfgeleideretsproces genereert aanzienlijke hitte, waardoor kamercomponenten dramatische temperatuurschommelingen ondergaan. Onze focusringen hebben een extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt en zijn bestand tegen tijdelijke temperaturen tot 1600°C zonder te scheuren of te vervormen. Bovendien helpt hun inherente hoge thermische geleidbaarheid de warmte gelijkmatig en snel te verspreiden, waardoor de temperatuurverdeling aan de rand van de wafel effectief wordt verbeterd, waardoor de warmteverdeling wordt verbeterd.ng etsuniformiteit en consistentie van kritische afmetingen over de gehele wafer.

Buitengewone materiaalzuiverheid en structurele dichtheid

We controleren strikt de zuiverheid van de grondstoffen van siliciumcarbide (≥99,999%) en elimineren metaalverontreiniging tijdens het sinterproces om te voldoen aan de strenge eisen van geavanceerde productieprocessen voor de controle van sporenonzuiverheden. De dichte structuur die wordt gevormd door sinteren bij hoge temperaturen heeft een extreem lage porositeit, waardoor de penetratie van procesgassen en bijproducten vrijwel volledig wordt geblokkeerd. Dit voorkomt prestatieverslechtering en deeltjesgroei veroorzaakt door interne materiaaldegradatie, waardoor een zuivere proceskameromgeving wordt gegarandeerd.

Langdurige mechanische levensduur en uitgebreide kosteneffectiviteit

Vergeleken met conventionele verbruiksartikelen die regelmatig moeten worden vervangen, bieden Vetek semi-massieve SiC-focusringen uitzonderlijke duurzaamheid. Ze behouden stabiele prestaties gedurende hun hele levensduur, waardoor de vervangingscycli verschillende keren worden verlengd. Dit verlaagt niet alleen de aanschafkosten van reserveonderdelen direct, maar verbetert ook aanzienlijk de machinebenutting door de uitvaltijd van apparatuur voor onderhoud te verminderen, wat resulteert in aanzienlijke algemene kostenvoordelen voor klanten.

Nauwkeurige maatcontrole en flexibele maatwerkdiensten

Wij begrijpen de precieze vereisten van verschillende machines en processen voor verbruiksartikelen. Elke focusring ondergaat precisiebewerking en strenge tests om kritische maattoleranties binnen ± 0,05 mm te garanderen. We bieden ook diensten op maat, waaronder aangepaste formaten, oppervlakteafwerkingen (polijsten tot Ra ≤ 0,2 μm) en geleidbaarheidsaanpassingen om perfect te voldoen aan uw specifieke procesvereisten en toepassingsscenario's.

Voor gedetailleerde technische specificaties, whitepapers of voorbeeldtestregelingen kunt u contact opnemen met ons technische ondersteuningsteam om te onderzoeken hoe Veteksemi uw procesefficiëntie kan verbeteren.