Producten

Massief siliciumcarbide

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide is een belangrijk keramisch onderdeel in plasma-etsapparatuur, vast siliciumcarbide (CVD-siliciumcarbide) onderdelen in de etsapparatuur omvattenscherpstelringen, gasdouchekop, bak, randringen, etc. Vanwege de lage reactiviteit en geleidbaarheid van vast siliciumcarbide (CVD-siliciumcarbide) met chloor- en fluorhoudende etsgassen, is het een ideaal materiaal voor plasma-etsapparatuur, focusringen en andere componenten.


De focusring is bijvoorbeeld een belangrijk onderdeel dat buiten de wafer wordt geplaatst en in direct contact staat met de wafer, door een spanning op de ring aan te leggen om het plasma dat door de ring gaat te focusseren, waardoor het plasma op de wafer wordt gefocusseerd om de uniformiteit van het beeld te verbeteren. verwerking. De traditionele scherpstelring is gemaakt van silicium ofkwartsGeleidend silicium als gebruikelijk focusringmateriaal, het ligt bijna dicht bij de geleidbaarheid van siliciumwafels, maar het tekort is een slechte etsweerstand in fluorhoudend plasma, materialen voor etsmachineonderdelen die vaak gedurende een bepaalde periode worden gebruikt, zullen er ernstige zijn corrosiefenomeen, waardoor de productie-efficiëntie ernstig wordt verminderd.


SOlijd SiC focusringWerkingsprincipe

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Vergelijking van op Si gebaseerde scherpstelring en CVD SiC scherpstelring:

Vergelijking van op Si gebaseerde scherpstelring en CVD SiC scherpstelring
Item En CVD SiC
Dichtheid (g/cm3) 2.33 3.21
Bandafstand (eV) 1.12 2.3
Thermische geleidbaarheid (W/cm℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Elasticiteitsmodulus (GPa) 150 440
Hardheid (GPa) 11.4 24.5
Weerstand tegen slijtage en corrosie Arm Uitstekend


VeTek Semiconductor biedt geavanceerde onderdelen van massief siliciumcarbide (CVD-siliciumcarbide), zoals SiC-focusseerringen voor halfgeleiderapparatuur. Onze massieve focusringen van siliciumcarbide presteren beter dan traditioneel silicium op het gebied van mechanische sterkte, chemische weerstand, thermische geleidbaarheid, duurzaamheid bij hoge temperaturen en weerstand tegen ionenetsen.


De belangrijkste kenmerken van onze SiC-focusringen zijn onder meer::

Hoge dichtheid voor lagere etssnelheden.

Uitstekende isolatie met een hoge bandafstand.

Hoge thermische geleidbaarheid en lage thermische uitzettingscoëfficiënt.

Superieure mechanische slagvastheid en elasticiteit.

Hoge hardheid, slijtvastheid en corrosiebestendigheid.

Vervaardigd met behulp vanplasma-versterkte chemische dampafzetting (PECVD)technieken voldoen onze SiC-focusringen aan de toenemende eisen van etsprocessen in de halfgeleiderproductie. Ze zijn ontworpen om hogere plasmakracht en energie te weerstaan, met name incapacitief gekoppeld plasma (CCP)systemen.

De SiC-focusringen van VeTek Semiconductor bieden uitzonderlijke prestaties en betrouwbaarheid bij de productie van halfgeleiderapparaten. Kies onze SiC-componenten voor superieure kwaliteit en efficiëntie.


View as  
 
CVD SIC -blok voor SIC -kristalgroei

CVD SIC -blok voor SIC -kristalgroei

CVD SIC -blok voor SIC -kristalgroei, is een nieuwe grondstof met hoge zuiverheid ontwikkeld door Vetek Semiconductor. Het heeft een hoge input-output-verhouding en kan van hoge siliciumcarbide enkele kristallen van hoge kwaliteit groeien, wat een materiaal van de tweede generatie is om het poeder te vervangen dat vandaag op de markt wordt gebruikt. Welkom om technische kwesties te bespreken.
SIC Crystal Growth Nieuwe technologie

SIC Crystal Growth Nieuwe technologie

Vetek Semiconductor's Ultra-High Purity Silicon Carbide (SIC) gevormd door chemische dampafzetting (CVD) wordt aanbevolen te worden gebruikt als bronmateriaal voor het groeien van siliciumcarbidekristallen door fysiek damptransport (PVT). In de nieuwe technologie van de SIC -kristalgroei wordt het bronmateriaal geladen in een smeltkroes en gesublimeerd op een zaadkristal. Gebruik de High Purity CVD-SIC-blokken om te zijn als een bron voor het kweken van SIC-kristallen. Welkom om een ​​partnerschap met ons op te zetten.
CVD sic douchekop

CVD sic douchekop

Vetek Semiconductor is een toonaangevende CVD SIC -douchekopfabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC -materiaal. CVD SIC -douchekop wordt gekozen als een focusserend ringmateriaal vanwege de uitstekende thermochemische stabiliteit, hoge mechanische sterkte en weerstand tegen plasma -erosie. We kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden.
Sic douchekop

Sic douchekop

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SIC-materiaal. SIC-douchekop wordt gekozen als een focussingringmateriaal vanwege de uitstekende thermochemische stabiliteit, hoge mechanische sterkte en weerstand tegen plasma-erosie. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Susceptor met SiC-coating voor LPE PE2061S

Susceptor met SiC-coating voor LPE PE2061S

Als een van de toonaangevende wafer -fabrieken in de susceptor in China, heeft Vetek Semiconductor continue vooruitgang geboekt in Wafer Susceptor -producten en is het de eerste keuze geworden voor veel epitaxiale wafersfabrikanten. De SIC gecoate vat susceptor voor LPE PE2061's geleverd door Vetek Semiconductor is ontworpen voor LPE PE2061S 4 '' Wafels. De susceptor heeft een duurzame siliciumcarbide -coating die de prestaties en duurzaamheid verbetert tijdens het LPE -proces (vloeibare fase epitaxie) proces. Welkom uw aanvraag, we kijken ernaar uit om uw langdurige partner te worden.
Douchekop van massief SiC-gas

Douchekop van massief SiC-gas

Solid SIC Gas Shower Head speelt een belangrijke rol bij het maken van het gasuniform in het CVD -proces, waardoor uniforme verwarming van het substraat wordt gewaarborgd. Vetek Semiconductor is al vele jaren diep betrokken bij het gebied van vaste SIC -apparaten en kan klanten op maat gemaakte vaste SIC -gasdouchekoppen bieden. Wat uw vereisten ook zijn, we kijken uit naar uw aanvraag.
Als professional Massief siliciumcarbide fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Massief siliciumcarbide gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept