CVD Siliciumcarbide (SiC) gecoate grafiet RTP RTA-drager

Producteigenschappen

· Kernuitrusting:Ontworpen voor Rapid Thermal Annealing (RTA) en Rapid Thermal Processing (RTP)-systemen.

· Primary Atoepassing: Geoptimaliseerd voor gloeiprocessen van halfgeleiderwafels.

· Opebeoordeling Tetemperatuur:Stabiele werking van 200°C tot 700°C.

· Excellent Therslechte uniformiteit: Zorgt voor een gelijkmatige warmteverdeling voor consistente wafelverwerking.

· Laag deeltjeGeneratie: De dichte CVD SiC-coating minimaliseert vervuiling en verbetert de productieopbrengst.

· Superieure chemische weerstand:Bestand tegen oxidatie en corrosieve procesgassen tijdens thermische verwerking.

· Uitstekendg Thermal Schokbestendigheid: Behoudt de structurele integriteit door herhaalde snelle verwarmings- en koelcycli.

· Lange levensduur:Slijtvaste SiC-coating verlengt de levensduur van componenten aanzienlijk en verlaagt de onderhoudskosten.

· AangepastProductie:Verkrijgbaar in verschillende maten en configuraties, passend bij verschillende RTP/RTA-apparatuur.

Technische specificaties

Toepassingen

·Snel thermisch gloeien (RTA)

· Snelle thermische verwerking (RTP)

· Siliciumwafelgloeien

· Doteringsactivatie

· Oxidatie

· Verspreiding

·Productie van samengestelde halfgeleiders

·MEMS-fabricage

·Verwerking van vermogenshalfgeleiders

Veelgestelde vragen

1. Wat is een RTP/RTA-provider?

Een RTP/RTA-drager is een wafelondersteuningscomponent die wordt gebruikt in systemen voor snelle thermische verwerking en snelle thermische ontlating. Het houdt halfgeleiderwafels veilig vast en zorgt voor een uniforme warmteoverdracht gedurende de thermische cyclus.

2. Waarom heeft CVD SiC-coating de voorkeur?

Vergeleken met kaal grafiet biedt CVD SiC-coating superieure oxidatieweerstand, lagere deeltjesvorming, betere chemische stabiliteit en een aanzienlijk langere levensduur.

3. Kan VETEK op maat gemaakte RTP/RTA-carriers leveren?

Ja. VETEK biedt op maat gemaakte RTP/RTA-dragers aan op basis van klanttekeningen.