Producten

Siliciumcarbide coating

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.


Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.


Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.


Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.


Reactoronderdelen die we kunnen doen:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom Typische waarde
Kristalstructuur FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid 3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid 2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte 2~10μm
Chemische zuiverheid 99,99995%
Warmtecapaciteit 640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur 2700℃
Buigsterkte 415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid 300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Leidde Epitaxy Providence

Leidde Epitaxy Providence

Vetek Semiconductor's LED Epitaxy Susceptor is ontworpen voor blauwe en groene LED -epitaxiale productie. Het combineert siliciumcarbide -coating en SGL -grafiet en heeft een hoge hardheid, lage ruwheid, goede thermische stabiliteit en uitstekende chemische stabiliteit. LED Epitaxy Susceptor is een van de meest opvallende producten van Vetek Semiconductor. We kijken uit naar uw aanvraag.
Hoge zuiverheid CVD SIC -grondstof

Hoge zuiverheid CVD SIC -grondstof

Hoge zuiverheid CVD SIC -grondstof bereid door CVD is het beste bronmateriaal voor siliciumcarbide kristalgroei door fysiek damptransport. De dichtheid van CVD SIC-grondstof met hoge zuiverheid geleverd door Vetek halfgeleider is hoger dan die van kleine deeltjes gevormd door spontane verbranding van SI en C-bevattende gassen, en het vereist geen speciale sinters en heeft een bijna constante verdampingspercentage. Het kan extreem hoogwaardige SIC single -kristallen groeien. Ik kijk uit naar uw aanvraag.
Veeco leidde EP

Veeco leidde EP

Vetek Semiconductor's Veeco LED EPI Susceptor is ontworpen voor epitaxiale groei van rode en gele LED's. Geavanceerde materialen en CVD SIC -coatingtechnologie zorgen voor de thermische stabiliteit van de susceptor, waardoor het temperatuurveld uniform is tijdens de groei, het verminderen van kristaldefecten en het verbeteren van de kwaliteit en consistentie van epitaxiale wafels. Het is compatibel met Veeco's epitaxiale groeimateriaal en kan naadloos worden geïntegreerd in de productielijn. Nauwkeurige ontwerp- en betrouwbare prestaties helpen de efficiëntie te verbeteren en de kosten te verlagen. Ik kijk uit naar uw vragen.
CVD sic focusring

CVD sic focusring

Vetek Semiconductor is een toonaangevende binnenlandse fabrikant en leverancier van CVD SIC-focusringen, toegewijd aan het leveren van krachtige productoplossingen met een hoge betrouwbaarheid voor de halfgeleiderindustrie. Vetek Semiconductor's CVD SIC -focusringen gebruiken geavanceerde chemische dampafzetting (CVD) technologie, hebben uitstekende weerstand van hoge temperaturen, corrosieweerstand en thermische geleidbaarheid en worden veel gebruikt in halfgeleiderlithografieprocessen. Uw vragen zijn altijd welkom.
Aixtron G5+ plafondcomponent

Aixtron G5+ plafondcomponent

Vetek Semiconductor is een leverancier van verbruiksartikelen geworden voor veel MOCVD -apparatuur met zijn superieure verwerkingsmogelijkheden. Aixtron G5+ plafondcomponent is een van onze nieuwste producten, die bijna hetzelfde is als de originele Aixtron -component en goede feedback van klanten heeft ontvangen. Als u dergelijke producten nodig hebt, neem dan contact op met Vetek Semiconductor!
Sic gecoate grafiet vat susceptor

Sic gecoate grafiet vat susceptor

Vetek Semiconductor SIC Coated Graphite Barrel Susceptor is een krachtige waferlade die is ontworpen voor halfgeleider-epitaxieprocessen, die een uitstekende thermische geleidbaarheid, hoge-temperatuur en chemische resistentie, een hoog-zuiverheidsoppervlak en aanpasbare opties bieden om de productie-efficiëntie te verbeteren. Verwelkom uw verdere aanvraag.
Als professional Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept