Siliciumcarbide coating

De CVD SIC-gecoate wafer-susceptor van VetEkSemicon is een geavanceerde oplossing voor halfgeleider-epitaxiale processen, die ultra-hoge zuiverheid biedt (≤100PPB, ICP-E10 gecertificeerd) en uitzonderlijke thermische/chemische stabiliteit voor de contaminatie-resistentgroei van GAN, SIC en silicon-gebaseerde EPI-layers. Het is ontworpen met precisie CVD -technologie, ondersteunt Wafels van 6 "/8"/12 ", zorgt voor minimale thermische spanning en bestand tegen extreme temperaturen tot 1600 ° C.

Onze SIC -gecoate planetaire susceptor is een kerncomponent in het hoge temperatuurproces van de productie van halfgeleiders. Het ontwerp combineert grafietsubstraat met siliciumcarbide -coating om een ​​uitgebreide optimalisatie van thermische beheerprestaties, chemische stabiliteit en mechanische sterkte te bereiken.

Onze SIC-gecoate afdichtring voor Epitaxy is een krachtige afdichtingscomponent op basis van grafiet of koolstof-koolstofcomposieten bedekt met hoogzuiver siliciumcarbide (SIC) door chemische dampdepositie (CVD), die de thermische stabiliteit van grafiet combineert met de extreme milieuweerstand van SIC en is ontworpen voor semiconductor-apparatuur (e.g., MOCVD, MOCVD, MOCVD, MOCVD, MOCVD).

Veteksemicon enkele wafer Epi grafiet Susceptor is ontworpen voor krachtige siliciumcarbide (SIC), galliumnitride (GAN) en andere epitaxiale proces van halfgeleider van de derde generatie en is de kernlagercomponent van hoog-nauwkeurige epitaxiale blad in de massaproductie.

Een belangrijk onderdeel dat wordt gebruikt in het etsenproces van de waferfabricage is de focusring van de plasma -etsen, waarvan de functie is om de wafer op zijn plaats te houden om de plasmadichtheid te behouden en verontreiniging van de wafelzijden te voorkomen.

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van SIC-gecoate e-chucks in China. SIC gecoate e-chuck is speciaal ontworpen voor het etsenproces van Gan Wafer, met uitstekende prestaties en een lange levensduur, om allround ondersteuning te bieden voor uw halfgeleiderproductie. Ons sterke verwerkingsvermogen stelt ons in staat om u de SIC -keramische susceptor te bieden die u wilt. Ik kijk uit naar uw vraag.