SiC-gecoate grafiet susceptor voor ASM

Algemene productinformatie

Zakelijke voorwaarden voor producten

✔ Toepassing: Veteksemicon SiC-gecoat grafietsubstraat is een belangrijk verbruiksartikel voor de epitaxiale apparatuur uit de ASM-serie. Het ondersteunt de wafer rechtstreeks en zorgt voor een uniform en stabiel thermisch veld tijdens epitaxie bij hoge temperaturen, waardoor het een kerncomponent is voor het garanderen van de hoogwaardige groei van geavanceerde halfgeleidermaterialen zoals GaN en SiC.

✔ Diensten die geleverd kunnen worden: scenarioanalyse van klanttoepassingen, matchen van materialen, oplossen van technische problemen. 

✔ Bedrijfsprofiel：Veteksemicon heeft 2 laboratoria, een team van experts met 20 jaar materiaalervaring, met R&D- en productie-, test- en verificatiemogelijkheden.

Technische parameters

Mijn rivaal SiC-gecoate grafiet susceptor voor ASM-kernvoordelen

1. Extreme zuiverheid en laag defectpercentage

Door gebruik te maken van een zeer zuiver, fijnkorrelig speciaal grafietsubstraat, gecombineerd met ons strikt gecontroleerde chemische dampdepositie (CVD) coatingproces, zorgen we ervoor dat de coating dicht is, vrij van gaatjes en vrij van onzuiverheden. Dit vermindert het risico op deeltjesverontreiniging tijdens het epitaxiale proces aanzienlijk, waardoor een schone substraatomgeving ontstaat voor de groei van hoogwaardige epitaxiale lagen.

2. Uitstekende corrosieweerstand en slijtvastheid

De pyrolytische siliciumcarbidecoating bezit een extreem hoge hardheid en chemische inertheid en is effectief bestand tegen de erosie van siliciumbronnen (zoals SiH4, SiHCl3), koolstofbronnen (zoals C3H8) en etsgassen (zoals HCl, H2) bij hoge temperaturen. Dit verlengt de onderhoudscyclus van de basis aanzienlijk en vermindert de stilstand van de machine als gevolg van vervanging van componenten.

3. Uitstekende thermische uniformiteit en stabiliteit

We hebben de thermische veldverdeling binnen het bedrijfstemperatuurbereik geoptimaliseerd door een nauwkeurig substraatstructuurontwerp en controle van de laagdikte. Dit vertaalt zich direct in een uitstekende dikte en uniformiteit van de soortelijke weerstand in de epitaxiale wafer, wat bijdraagt ​​aan een verbeterde productieopbrengst van de chip.

4. Uitstekende hechtkracht van de coating

Dankzij de unieke oppervlaktevoorbehandeling en gradiëntcoatingtechnologie kan de siliciumcarbidecoating een sterke hechtlaag vormen met het grafietsubstraat, waardoor problemen met afbladderen, schilferen of barsten van de coating die kunnen optreden tijdens langdurige thermische cycli effectief worden voorkomen.

5. Nauwkeurige grootte en structurele replicatie

We beschikken over volwassen CNC-bewerkings- en testmogelijkheden, waardoor we de complexe geometrie, holteafmetingen en montage-interfaces van de originele basis volledig kunnen repliceren, waardoor een perfecte afstemming en plug-and-play-functionaliteit met het platform van de klant wordt gegarandeerd.

6. Aantekening ecologische ketenverificatie

Mijn rivaal SiC-gecoate grafiet susceptor voor ASM' ecologische ketenverificatie omvat grondstoffen tot productie, is geslaagd voor de internationale standaardcertificering en beschikt over een aantal gepatenteerde technologieën om de betrouwbaarheid en duurzaamheid ervan op het gebied van halfgeleiders en nieuwe energie te garanderen.

Voor gedetailleerde technische specificaties, whitepapers of voorbeeldtestregelingen kunt u contact opnemen met ons technische ondersteuningsteam om te onderzoeken hoe Veteksemicon uw procesefficiëntie kan verbeteren.

Belangrijkste toepassingsgebieden

Mijn rivaal-productenwinkel