Siliciumcarbide coating

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid	3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Siliciumcarbide gecoate Epi-susceptor Waferdrager met SiC-coating SiC-gecoate satellietafdekking voor MOCVD CVD SiC-coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC-coating Verwarmingselement Aixtron Satellietwaferdrager SiC Coating Epi-ontvanger SiC-coating halvemaanvormige grafietonderdelen

View as

SIC gecoate e-chuck

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van SIC-gecoate e-chucks in China. SIC gecoate e-chuck is speciaal ontworpen voor het etsenproces van Gan Wafer, met uitstekende prestaties en een lange levensduur, om allround ondersteuning te bieden voor uw halfgeleiderproductie. Ons sterke verwerkingsvermogen stelt ons in staat om u de SIC -keramische susceptor te bieden die u wilt. Ik kijk uit naar uw vraag.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SIC ICP -etsplaat

Veteksemicon biedt krachtige SIC ICP-etsplaten, ontworpen voor ICP-etsentoepassingen in de halfgeleiderindustrie. De unieke materiaaleigenschappen stellen het in staat om goed te presteren in hoge temperatuur-, hoge druk- en chemische corrosieomgevingen, waardoor uitstekende prestaties en stabiliteit op lange termijn in verschillende etsprocessen worden gewaarborgd.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Grafietverwarmingseenheid

Vetek halfgeleider grafietverwarmingseenheid is een krachtige industriële verwarmingsoplossing gemaakt van hoogzuiver grafietmateriaal, dat een nauwkeurig en efficiënt verwarmingseffect kan bieden. Grafietverwarmingseenheid wordt veel gebruikt in halfgeleider, elektronica, keramiek en andere velden. Verwelkom uw verdere aanvraag.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SIC gecoate diep UV LED Susceptor

SIC gecoate diep UV LED -susceptor is ontworpen voor het MOCVD -proces ter ondersteuning van efficiënte en stabiele diepe UV LED -epitaxiale laaggroei. Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van SIC gecoate diepe UV LED -susceptor in China. We hebben een rijke ervaring en hebben langdurige coöperatieve relaties aangegaan met veel LED-epitaxiale fabrikanten. We zijn de beste binnenlandse fabrikant van susceptorproducten voor LED's. Na jaren van verificatie is onze productlevensduur op gelijke voet met die van de internationale topfabrikanten. Ik kijk uit naar uw aanvraag.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Leidde Epitaxy Providence

Vetek Semiconductor's LED Epitaxy Susceptor is ontworpen voor blauwe en groene LED -epitaxiale productie. Het combineert siliciumcarbide -coating en SGL -grafiet en heeft een hoge hardheid, lage ruwheid, goede thermische stabiliteit en uitstekende chemische stabiliteit. LED Epitaxy Susceptor is een van de meest opvallende producten van Vetek Semiconductor. We kijken uit naar uw aanvraag.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Hoge zuiverheid CVD SIC -grondstof

Hoge zuiverheid CVD SIC -grondstof bereid door CVD is het beste bronmateriaal voor siliciumcarbide kristalgroei door fysiek damptransport. De dichtheid van CVD SIC-grondstof met hoge zuiverheid geleverd door Vetek halfgeleider is hoger dan die van kleine deeltjes gevormd door spontane verbranding van SI en C-bevattende gassen, en het vereist geen speciale sinters en heeft een bijna constante verdampingspercentage. Het kan extreem hoogwaardige SIC single -kristallen groeien. Ik kijk uit naar uw aanvraag.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Siliciumcarbide coating

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

SIC gecoate e-chuck

SIC ICP -etsplaat

Grafietverwarmingseenheid

SIC gecoate diep UV LED Susceptor

Leidde Epitaxy Providence

Hoge zuiverheid CVD SIC -grondstof

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres