8-inch CVD siliciumcarbide (SiC) gecoate epitaxie-bovenring

Belangrijkste kenmerken van 8 inch SiC Epi Topring

● Hoge zuiverheid: minimaal 99,9995%. Metaal migreert niet naar de epilaag. Hierdoor blijft de concentratie van de waferdrager daar waar deze moet zijn.

● Deeltjesonderdrukking: De CVD-structuur is compact. Geen poriën. Er zullen geen deeltjes vrijkomen terwijl het gereedschap in werking is. Fabrieken zien op deze manier betere opbrengsten.

● Hittebestendigheid: De ring blijft stabiel bij 1500°C. Lage CTE (thermische uitzetting) betekent geen kromtrekken tijdens snelle opwarm-/afkoelcycli.

● Chemische stabiliteit: Het vaste CVD SiC is bestand tegen H2- en HCl-gassen. Het is ook bestand tegen NH3. Het heeft geen coating die kan loslaten. Het wordt niet afgebroken in zware CVD-omgevingen.

● Levensduur componenten: Het oppervlak is extreem hard. Het overleeft herhaalde chemische HF/HCl-reiniging. Dit vermindert de vervangingsfrequentie. Het verlaagt ook de totale eigendomskosten van de fabriek.

Technische specificaties

De uniformiteit van de laagdikte tussen batches wordt gecontroleerd op 10 µm

Toepassingen

De CVD SiC epi topring wordt veel gebruikt in:

● Siliciumepitaxie (Si Epi) reactoren

● Siliciumcarbide-epitaxie (SiC Epi)

● MOCVD-systemen

● CVD-depositieapparatuur

Vaak gecombineerd met:

● Susceptors

● Waferdragers

● Ringen voorverwarmen

● Epitaxiereactoren

Waarom VETEK SiC Epi Top Ring kiezen?

● Volledige productiecapaciteit: 

Van de zuivering van grondstoffen tot precisiebewerking en CVD-coating, VETEK controleert het gehele productieproces om een ​​consistente kwaliteit van halfgeleiderkwaliteit te garanderen.

● Hoge nauwkeurigheid: 

Wij maken gebruik van machinale bewerking op micronniveau. De CVD-dikte is zeer uniform. Hierdoor presteert elke ring precies hetzelfde.

Veelgestelde vragen

(1) Wat doet de SiC epi-topring?

De ring beheert de warmte- en gasstroom. Het zorgt ervoor dat de dunne film gelijkmatig over de wafer groeit.

(2) Waarom is CVD SiC beter dan grafiet?

Grafiet is poreus. Grafiet heeft poriën en geeft gas af. Solide CVD SiC is compact en schoon. Het gaat veel langer mee in corrosief gereedschap.

(3).Kan de 8 inch SiC-topring worden aangepast?

Ja. Wij bouwen op basis van uw specifieke gereedschapstekeningen. We kunnen de geometrie aanpassen op basis van uw proces.

(4).Welke industrieën gebruiken SiC-epitaxieringen?

Ze worden voornamelijk gebruikt bij de productie van halfgeleiders, waaronder stroomapparaten, RF-apparaten en de productie van SiC-wafels.