EPI-ontvangeronderdelen

Algemene productinformatie

Zakelijke voorwaarden voor producten

✔ Sollicitatie: Bij het nastreven van ultieme prestaties en rendement in epitaxiale SiC-processen biedt Veteksemicon EPI Susceptor uitstekende thermische stabiliteit en uniformiteit, waardoor het een belangrijke ondersteuning wordt voor het verbeteren van de prestaties van stroom- en RF-apparaten en het verlagen van de totale kosten.

✔ Diensten die geleverd kunnen worden: scenarioanalyse van klanttoepassingen, matchen van materialen, oplossen van technische problemen. 

✔ Bedrijfsprofiel：Veteksemicon heeft 2 laboratoria, een team van experts met 20 jaar materiaalervaring, met R&D- en productie-, test- en verificatiemogelijkheden.

Mijn rivaal EPI Contractor Part kernvoordelen

1. Zorg voor ultieme uniformiteit

Bij epitaxiale processen van siliciumcarbide hebben zelfs dikteschommelingen op micronniveau en dopinginhomogeniteiten rechtstreeks invloed op de prestaties en opbrengst van het uiteindelijke apparaat. Veteksemicon EPI Susceptor bereikt een optimale thermische veldverdeling binnen de reactiekamer door nauwkeurige thermodynamische simulatie en structureel ontwerp. Onze selectie van een substraat met een hoge thermische geleidbaarheid, gecombineerd met een uniek oppervlaktebehandelingsproces, zorgt ervoor dat temperatuurverschillen op elk punt op het oppervlak van de wafer binnen een extreem klein bereik worden gecontroleerd, zelfs onder hoge rotatiesnelheden en omgevingen met hoge temperaturen. De directe waarde die dit met zich meebrengt is een zeer reproduceerbare, batch-tot-batch epitaxiale laag met uitstekende uniformiteit, die een solide basis legt voor de productie van hoogwaardige, zeer consistente powerchips.

2. Weerstand bieden aan de uitdaging van hoge temperaturen

Epitaxiale SiC-processen vereisen doorgaans langdurig gebruik bij temperaturen boven de 1500°C, wat een ernstige uitdaging vormt voor elk materiaal. Veteksemicon Susceptor maakt gebruik van speciaal behandeld isostatisch geperst grafiet, waarvan de buigsterkte en kruipweerstand bij hoge temperaturen die van gewoon grafiet ver overtreffen. Zelfs na honderden uren ononderbroken thermische cycli bij hoge temperaturen behoudt ons product zijn oorspronkelijke geometrie en mechanische sterkte, waardoor de risico's van het kromtrekken, wegglijden of contaminatie van de procesholte als gevolg van de vervorming van de tray effectief worden voorkomen, waardoor de continuïteit en veiligheid van de productieactiviteiten fundamenteel worden gewaarborgd.

3. Maximaliseer processtabiliteit

Productieonderbrekingen en ongepland onderhoud zijn grote kostenmoordenaars bij de productie van wafers. Veteksemicon beschouwt processtabiliteit als een kernwaarde voor Susceptor. Onze gepatenteerde CVD SiC-coating is dicht, niet-poreus en heeft een spiegelachtig glad oppervlak. Dit vermindert niet alleen aanzienlijk de deeltjesafscheiding onder luchtstroom op hoge temperatuur, maar vertraagt ​​ook aanzienlijk de hechting van reactiebijproducten (zoals polykristallijn SiC) aan het oppervlak van de schaal. Dit betekent dat uw reactiekamer langer schoon kan blijven, waardoor de intervallen tussen reguliere reiniging en onderhoud worden verlengd, waardoor de algehele benutting van de apparatuur en de doorvoer worden verbeterd.

4. Verleng de levensduur

Als verbruiksonderdeel heeft de vervangingsfrequentie van susceptoren een directe invloed op de bedrijfskosten van de productie. Veteksemicon verlengt de levensduur van producten door middel van een dubbele technologische benadering: ‘substraatoptimalisatie’ en ‘coatingverbetering’. Een grafietsubstraat met hoge dichtheid en lage porositeit vertraagt ​​effectief de penetratie en corrosie van het substraat door procesgassen; Tegelijkertijd fungeert onze dikke en uniforme SiC-coating als een robuuste barrière, waardoor sublimatie bij hoge temperaturen aanzienlijk wordt onderdrukt. Uit tests in de praktijk blijkt dat Veteksemicon-susceptors onder dezelfde procesomstandigheden een langzamere prestatievermindering en een langere effectieve levensduur vertonen, wat resulteert in lagere bedrijfskosten per wafer.

5. Aantekening ecologische ketenverificatie

De ecologische ketenverificatie van Veteksemicon EPI Susceptor Part omvat grondstoffen tot aan de productie, is geslaagd voor de internationale standaardcertificering en beschikt over een aantal gepatenteerde technologieën om de betrouwbaarheid en duurzaamheid ervan op het gebied van halfgeleiders en nieuwe energie te garanderen.

Voor gedetailleerde technische specificaties, whitepapers of voorbeeldtestregelingen kunt u contact opnemen met ons technische ondersteuningsteam om te onderzoeken hoe Veteksemicon uw procesefficiëntie kan verbeteren.

Belangrijkste toepassingsgebieden

Mijn rivaal productenmagazijn