SIC gecoate grafiet Barrel Susceptor voor EPI

✔ Verminderde besmetting: De inerte aard van SiC voorkomt dat onzuiverheden zich aan het susceptoroppervlak hechten, waardoor het risico op besmetting van de afgezette films wordt verminderd.

✔ Verhoogde erosiebestendigheid: SiC is aanzienlijk beter bestand tegen erosie dan conventioneel grafiet, wat leidt tot een langere levensduur van de susceptor.

✔ Verbeterde thermische stabiliteit: SiC heeft een uitstekende thermische geleidbaarheid en is bestand tegen hoge temperaturen zonder noemenswaardige vervorming.

✔ Verbeterde filmkwaliteit: De verbeterde thermische stabiliteit en verminderde vervuiling resulteren in afgezette films van hogere kwaliteit met verbeterde uniformiteit en diktecontrole.

✔ GAN-gebaseerde LED's

✔ Vermogenselektronica

✔ Opto -elektronische apparaten

✔ hoogfrequente transistors

✔ Sensoren

Productparameter van de SiC gecoate grafiet vat susceptor

        Opmerking: vóór het coaten zullen we de eerste zuivering uitvoeren, na het coaten zullen we de tweede zuivering uitvoeren.

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating