Producten
SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels
  • SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafelsSiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels
  • SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafelsSiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels

SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels

SiC-gecoate pannenkoeksusceptor voor LPE PE3061S 6 '' wafers is een van de kerncomponenten die worden gebruikt bij de epitaxiale waferverwerking van 6 '' wafers. VeTek Semiconductor is momenteel een toonaangevende fabrikant en leverancier van SiC-gecoate pannenkoeksusceptor voor LPE PE3061S 6''-wafels in China. De SiC-gecoate pannenkoeksusceptor die hij levert, heeft uitstekende eigenschappen zoals hoge corrosieweerstand, goede thermische geleidbaarheid en goede uniformiteit. Ik kijk uit naar uw aanvraag.

Als professionele fabrikant wil VeTek Semiconductor u graag een hoogwaardige SiC-gecoate pannenkoeksusceptor voor LPE PE3061S 6''-wafels leveren.

De VeTeK Semiconductor SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6" wafers is een kritische apparatuur die wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen.


SIC gecoate pancake susceptor voor LPE PE3061S 6 "Wafels productkenmerken:

Stabiliteit bij hoge temperaturen: SiC vertoont een uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen, waardoor de structuur en prestaties in omgevingen met hoge temperaturen behouden blijven.

Uitstekende thermische geleidbaarheid: SiC heeft een uitzonderlijke thermische geleidbaarheid, waardoor een snelle en uniforme warmteoverdracht mogelijk is voor snelle en gelijkmatige verwarming.

Corrosiebestendigheid: SiC bezit een uitstekende chemische stabiliteit en is bestand tegen corrosie en oxidatie in verschillende verwarmingsomgevingen.

Uniforme warmteverdeling: De met SiC gecoate waferdrager zorgt voor een uniforme warmteverdeling, waardoor tijdens het verwarmen een gelijkmatige temperatuur over het oppervlak van de wafer wordt gegarandeerd.

Geschikt voor de productie van halfgeleiders: Si Epitaxy Wafer Carrier wordt veel gebruikt in de productieprocessen van halfgeleiders, met name voor Si Epitaxy-groei en andere verwarmingsprocessen op hoge temperatuur.


Productvoordelen:

Verbeterde productie-efficiëntie: de met SiC gecoate pannenkoek susceptor maakt een snelle en uniforme verwarming mogelijk, waardoor de verwarmingstijd wordt verkort en de productie-efficiëntie wordt verbeterd.

Zorgde voor productkwaliteit: uniforme verwarmingsverdeling zorgt voor consistentie tijdens het verwerking van wafers, wat leidt tot verbeterde productkwaliteit.

Verlengde levensduur van de apparatuur: SiC-materiaal biedt uitstekende hittebestendigheid en chemische stabiliteit, wat bijdraagt ​​aan een langere levensduur van de pannenkoek susceptor.

Maatwerkoplossingen: SiC-gecoate susceptor, Si-epitaxywafeldrager kan worden aangepast aan verschillende maten en specificaties op basis van de eisen van de klant.


cvd-sic-coating-film-crystal-structure


Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating:

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom Typische waarde
Kristalstructuur FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
Dikte 3,21 g/cm³
Hardheid 2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte 2 ~ 10 mm
Chemische zuiverheid 99,99995%
Warmtecapaciteit 640 J · kg-1· K-1
Sublimatietemperatuur 2700 ℃
Buigsterkte 415 MPA RT 4-punts
Young's Modulus 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Thermische geleidbaarheid 300W · M-1· K-1
Thermische uitzetting (CTE) 4,5×10-6K-1


Dealer halfgeleider

VeTek Semiconductor Production Shop


Overzicht van de Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hottags: SIC gecoate pannenkoek Susceptor voor LPE PE3061S 6 '' Wafels
Stuur onderzoek
Contact informatie
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
We gebruiken cookies om u een betere browse-ervaring te bieden, het siteverkeer te analyseren en de inhoud te personaliseren. Door deze site te gebruiken, gaat u akkoord met ons gebruik van cookies.Privacybeleid