Producten
SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels
  • SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafelsSiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels
  • SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafelsSiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels

SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels

SiC-gecoate pannenkoeksusceptor voor LPE PE3061S 6 '' wafers is een van de kerncomponenten die worden gebruikt bij de epitaxiale waferverwerking van 6 '' wafers. VeTek Semiconductor is momenteel een toonaangevende fabrikant en leverancier van SiC-gecoate pannenkoeksusceptor voor LPE PE3061S 6''-wafels in China. De SiC-gecoate pannenkoeksusceptor die hij levert, heeft uitstekende eigenschappen zoals hoge corrosieweerstand, goede thermische geleidbaarheid en goede uniformiteit. Ik kijk uit naar uw aanvraag.

Als professionele fabrikant wil VeTek Semiconductor u graag een hoogwaardige SiC-gecoate pannenkoeksusceptor voor LPE PE3061S 6''-wafels leveren.

De VeTeK Semiconductor SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6" wafers is een kritische apparatuur die wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen.


SIC gecoate pancake susceptor voor LPE PE3061S 6 "Wafels productkenmerken:

Stabiliteit bij hoge temperaturen: SiC vertoont een uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen, waardoor de structuur en prestaties in omgevingen met hoge temperaturen behouden blijven.

Uitstekende thermische geleidbaarheid: SiC heeft een uitzonderlijke thermische geleidbaarheid, waardoor een snelle en uniforme warmteoverdracht mogelijk is voor snelle en gelijkmatige verwarming.

Corrosiebestendigheid: SiC bezit een uitstekende chemische stabiliteit en is bestand tegen corrosie en oxidatie in verschillende verwarmingsomgevingen.

Uniforme warmteverdeling: De met SiC gecoate waferdrager zorgt voor een uniforme warmteverdeling, waardoor tijdens het verwarmen een gelijkmatige temperatuur over het oppervlak van de wafer wordt gegarandeerd.

Geschikt voor de productie van halfgeleiders: Si Epitaxy Wafer Carrier wordt veel gebruikt in de productieprocessen van halfgeleiders, met name voor Si Epitaxy-groei en andere verwarmingsprocessen op hoge temperatuur.


Productvoordelen:

Verbeterde productie-efficiëntie: de met SiC gecoate pannenkoek susceptor maakt een snelle en uniforme verwarming mogelijk, waardoor de verwarmingstijd wordt verkort en de productie-efficiëntie wordt verbeterd.

Zorgde voor productkwaliteit: uniforme verwarmingsverdeling zorgt voor consistentie tijdens het verwerking van wafers, wat leidt tot verbeterde productkwaliteit.

Verlengde levensduur van de apparatuur: SiC-materiaal biedt uitstekende hittebestendigheid en chemische stabiliteit, wat bijdraagt ​​aan een langere levensduur van de pannenkoek susceptor.

Maatwerkoplossingen: SiC-gecoate susceptor, Si-epitaxywafeldrager kan worden aangepast aan verschillende maten en specificaties op basis van de eisen van de klant.


cvd-sic-coating-film-crystal-structure


Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating:

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom Typische waarde
Kristalstructuur FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
Dikte 3,21 g/cm³
Hardheid 2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte 2 ~ 10 mm
Chemische zuiverheid 99,99995%
Warmtecapaciteit 640 J · kg-1· K-1
Sublimatietemperatuur 2700 ℃
Buigsterkte 415 MPA RT 4-punts
Young's Modulus 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Thermische geleidbaarheid 300W · M-1· K-1
Thermische uitzetting (CTE) 4,5×10-6K-1


Dealer halfgeleider

VeTek Semiconductor Production Shop


Overzicht van de Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hottags: SIC gecoate pannenkoek Susceptor voor LPE PE3061S 6 '' Wafels
Stuur onderzoek
Contact informatie
Voor vragen over siliciumcarbidecoating, tantaalcarbidecoating, speciaal grafiet of een prijslijst kunt u uw e-mailadres achterlaten en wij nemen binnen 24 uur contact met u op.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept