Oxidatie- en diffusie -oven

Oxidatie- en diffusieversten worden gebruikt op verschillende gebieden zoals halfgeleiderapparaten, discrete apparaten, opto-elektronische apparaten, elektronische apparaten van stroom, zonnecellen en grootschalige geïntegreerde circuitproductie. Ze worden gebruikt voor processen zoals diffusie, oxidatie, gloeien, legering en sintering van wafels.

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant die gespecialiseerd is in de productie van grafiet, siliciumcarbide en kwartscomponenten in oxidatie- en diffusieversten. We zijn toegewijd aan het leveren van hoogwaardige ovencomponenten voor de halfgeleider en fotovoltaïsche industrieën, en staan voorop in de technologie voor oppervlaktecoating, zoals CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, enz.

De voordelen van Vetek Semiconductor Silicon Carbide -componenten:

● Hoge temperatuurweerstand (tot 1600 ℃)

● Uitstekende thermische geleidbaarheid en thermische stabiliteit

● Goede chemische corrosieweerstand

● Lage coëfficiënt van thermische expansie

● Hoge sterkte en hardheid

● Lange levensduur

In oxidatie- en diffusieversten, vanwege de aanwezigheid van hoge temperatuur en corrosieve gassen, vereisen veel componenten het gebruik van hoge-temperatuur- en corrosiebestendige materialen, waaronder siliciumcarbide (sic) een veelgebruikte keuze. De volgende zijn veel voorkomende siliciumcarbide -componenten die worden gevonden in oxidatiegeonderen en diffusieveranden:

● Wafelboot

Silicium carbide wafer boot is een container die wordt gebruikt om siliciumwafels te dragen, die hoge temperaturen kunnen weerstaan en niet reageren met siliciumwafels.

● ovenbuis

De ovenbuis is de kerncomponent van de diffusie -oven, gebruikt om siliciumwafels te huisvesten en de reactieomgeving te regelen. Siliciumcarbide-ovenbuizen hebben uitstekende prestaties op hoge temperatuur en corrosieweerstand.

● Schotplaat

Gebruikt om de luchtstroom en temperatuurverdeling in de oven te reguleren

● Thermokoppelbeveiligingsbuis

Gebruikt om temperatuur te beschermen voor het meten van thermokoppels tegen direct contact met corrosieve gassen.

● Cantilever -peddel

Siliciumcarbide Cantilever -peddels zijn bestand tegen hoge temperatuur en corrosie en worden gebruikt om siliciumboten of kwartsboten te transporteren die siliciumwafels in de diffusie -ovenbuizen dragen.

● Gasinjector

Gebruikt om reactiegas in de oven te introduceren, moet het bestand zijn tegen hoge temperatuur en corrosie.

● Boatdrager

Siliconen carbide wafer bootdrager wordt gebruikt om siliciumwafels te repareren en te ondersteunen, die voordelen hebben zoals hoge sterkte, corrosieweerstand en goede structurele stabiliteit.

● ovendeur

Siliciumcarbide coatings of componenten kunnen ook worden gebruikt aan de binnenkant van de ovendeur.

● Verwarmingselement

Siliciumcarbide verwarmingselementen zijn geschikt voor hoge temperaturen, hoog vermogen en kunnen snel de temperaturen verhogen tot meer dan 1000 ℃.

● SIC -voering

Gebruikt om de binnenwand van ovenbuizen te beschermen, kan het helpen het verlies van warmte -energie te verminderen en bestand te zijn tegen zware omgevingen zoals hoge temperatuur en hoge druk.

View as

SiC Waferboot

De SiC-waferboot wordt gebruikt om de wafer te vervoeren, voornamelijk voor het oxidatie- en diffusieproces, om ervoor te zorgen dat de temperatuur gelijkmatig over het waferoppervlak kan worden verdeeld. De hoge temperatuurstabiliteit en hoge thermische geleidbaarheid van SiC-materialen zorgen voor een efficiënte en betrouwbare halfgeleiderverwerking. Vetek semiconductor streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SIC -procesbuis

VeTek Semiconductor levert hoogwaardige SiC-procesbuizen voor de productie van halfgeleiders. Onze SiC-procesbuizen blinken uit in oxidatie- en diffusieprocessen. Met superieure kwaliteit en vakmanschap bieden deze buizen stabiliteit bij hoge temperaturen en thermische geleidbaarheid voor efficiënte halfgeleiderverwerking. Wij bieden concurrerende prijzen en willen uw langetermijnpartner in China zijn.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SiC cantileverpeddel

Vetek Semiconductor's SIC Cantilever -paddle wordt gebruikt in warmtebehandelingsovens voor het hanteren en ondersteunen van wafelboten. De stabiliteit met hoge temperatuur en hoge thermische geleidbaarheid van SIC -materiaal zorgen voor een hoge efficiëntie en betrouwbaarheid in het halfgeleiderverwerkingsproces. We zijn toegewijd aan het leveren van producten van hoge kwaliteit tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Siliciumcarbide waferboot voor horizontale oven

SiC-wafelboot stelt hoge eisen aan de materiaalzuiverheid. Vetek Semiconductor levert SiC-zuiverheid >99,96% herkristalliseerd SiC aan dit product. VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier in China voor siliciumcarbide-waferboot voor horizontale oven, met jarenlange ervaring in R&D en productie, kan de kwaliteit goed controleren en een concurrerende prijs bieden. U kunt er zeker van zijn dat u de siliciumcarbide waferboot voor horizontale oven bij ons koopt.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SIC gecoate silicium carbide wafer boot

SiC gecoate siliciumcarbide waferboot is ontworpen met 165 slots om wafers te vervoeren. VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier in China voor SiC gecoate siliciumcarbide waferboot, met jarenlange ervaring in R&D en productie, kan de kwaliteit goed controleren en een concurrerend aanbod bieden prijs. Welkom voor uw bezoek aan onze fabriek en verdere discussie over samenwerking.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Siliconen carbide cantilever peddel

Vetek Semiconductor's Silicon Carbide Cantilever Paddle is een belangrijk onderdeel in het productieproces van het halfgeleider, met name geschikt voor diffusieversten of LPCVD-ovens in processen op hoge temperatuur zoals diffusie en RTP. Onze siliciumcarbide Cantilever-paddle is zorgvuldig ontworpen en vervaardigd met uitstekende weerstand van hoge temperatuur en mechanische sterkte, en kan wafels veilig en betrouwbaar naar de procesbuis transporteren onder harde procesomstandigheden voor verschillende hoge temperatuurprocessen zoals diffusie en RTP. We kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden. Vrij om ons te informeren.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Als professional Oxidatie- en diffusie -oven fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Oxidatie- en diffusie -oven gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Oxidatie- en diffusie -oven

De voordelen van Vetek Semiconductor Silicon Carbide -componenten:

SiC Waferboot

SIC -procesbuis

SiC cantileverpeddel

Siliciumcarbide waferboot voor horizontale oven

SIC gecoate silicium carbide wafer boot

Siliconen carbide cantilever peddel

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres