Oxidatie- en diffusieoven

Oxidatie- en diffusieovens worden op verschillende gebieden gebruikt, zoals halfgeleiderapparaten, discrete apparaten, opto-elektronische apparaten, vermogenselektronische apparaten, zonnecellen en grootschalige productie van geïntegreerde schakelingen. Ze worden gebruikt voor processen zoals diffusie, oxidatie, gloeien, legeren en sinteren van wafers.

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant die gespecialiseerd is in de productie van zeer zuivere grafiet-, siliciumcarbide- en kwartscomponenten in oxidatie- en diffusieovens. We streven ernaar hoogwaardige ovencomponenten te leveren voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie en lopen voorop op het gebied van oppervlaktecoatingtechnologie, zoals CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon, enz.

De voordelen van de siliciumcarbidecomponenten van VeTek Semiconductor:

Bestand tegen hoge temperaturen (tot 1600℃)

Uitstekende thermische geleidbaarheid en thermische stabiliteit

Goede chemische corrosiebestendigheid

Lage thermische uitzettingscoëfficiënt

Hoge sterkte en hardheid

Lange levensduur

In oxidatie- en diffusieovens vereisen veel componenten, vanwege de aanwezigheid van hoge temperatuur en corrosieve gassen, het gebruik van hoge temperatuur en corrosiebestendige materialen, waaronder siliciumcarbide (SiC) een veelgebruikte keuze. De volgende zijn algemene siliciumcarbidecomponenten die worden aangetroffen in oxidatieovens en diffusieovens:

Wafelboot

Siliciumcarbide waferboot is een container die wordt gebruikt om siliciumwafels te vervoeren, die bestand zijn tegen hoge temperaturen en niet reageren met siliciumwafels.

Oven buis

De ovenbuis is het kernonderdeel van de diffusieoven en wordt gebruikt om siliciumwafels te huisvesten en de reactieomgeving te regelen. Siliciumcarbide-ovenbuizen hebben uitstekende prestaties op het gebied van hoge temperatuur- en corrosiebestendigheid.

Baffleplaat

Wordt gebruikt om de luchtstroom en temperatuurverdeling in de oven te regelen

Thermokoppel beschermbuis

Wordt gebruikt om thermokoppels voor temperatuurmeting te beschermen tegen direct contact met corrosieve gassen.

Cantilever-peddel

Vrijdragende peddels van siliciumcarbide zijn bestand tegen hoge temperaturen en corrosie en worden gebruikt voor het transporteren van siliciumboten of kwartsboten die siliciumwafels naar de buizen van de diffusieoven vervoeren.

Gasinjector

Het wordt gebruikt om reactiegas in de oven te brengen en moet bestand zijn tegen hoge temperaturen en corrosie.

Bootdrager

Siliciumcarbide waferbootdrager wordt gebruikt voor het bevestigen en ondersteunen van siliciumwafels, die voordelen hebben zoals hoge sterkte, corrosieweerstand en goede structurele stabiliteit.

Ovendeur

Siliciumcarbide-coatings of componenten kunnen ook aan de binnenkant van de ovendeur worden gebruikt.

Verwarmingselement

Siliciumcarbide verwarmingselementen zijn geschikt voor hoge temperaturen, hoog vermogen en kunnen de temperatuur snel verhogen tot boven de 1000℃.

SiC-voering

Het wordt gebruikt om de binnenwand van ovenbuizen te beschermen, kan het verlies aan warmte-energie helpen verminderen en is bestand tegen zware omstandigheden zoals hoge temperaturen en hoge druk.