Sic cantilever peddels

Ⅰ.productgebruikoverzicht

SIC Cantilever -peddels worden voornamelijk gebruikt in de productieapparatuur van halfgeleiders als wafelondersteuning en transmissiecomponenten. De kernfunctie is om siliciumwafels stabiel en nauwkeurig te verwerken onder extreme procesomstandigheden zoals hoge temperatuur en hoge corrosie, wat een soepel en efficiënt productieproces zorgt.

Ⅱ. Advangages en kenmerken van SIC -materialen

SIC is een geavanceerd keramisch materiaal waarvan de uitstekende fysieke eigenschappen het een ongeëvenaard voordeel geven in het halfgeleiderveld. Hierna volgen de belangrijkste fysieke parameters met betrekking tot SIC Cantilever -peddels:

● Hoge zuiverheid: Het gebruik van hoogzuiver SiC-materiaal kan procesverontreiniging minimaliseren en de productopbrengst verbeteren.

● Uitstekende weerstand van hoge temperatuur: SIC heeft een smeltpunt van maximaal 2830 ° C, waardoor het structurele integriteit kan handhaven in extreme temperatuuromgevingen zoals plasma-etsen en gloeien op hoge temperatuur, en de langdurige bedrijfstemperatuur kan meer dan 1000 ° C bereiken.

● Hoge hardheid en slijtvastheid: De MOHS-hardheid is 9-9.5, alleen op de tweede plaats van Diamond, waardoor SIC cantilever-peddels uitstekende slijtvastheid krijgen en dimensionale stabiliteit behouden tijdens hoogfrequente wafeltransmissie.

● Uitstekende thermische geleidbaarheid: De thermische geleidbaarheid van SIC-keramiek is zo hoog als 120-250 w/(m · k) (typische waarde), die snel warmte kan afwijzen en lokale oververhitting kan voorkomen die de wafel kan beschadigen.

● Lage thermische expansiecoëfficiënt: De lage thermische expansiecoëfficiënt (ongeveer 4,0 x 10⁻⁶ /k) zorgt voor dimensionale stabiliteit wanneer de temperatuur verandert, spanning vermijdt veroorzaakt door thermische expansie en contractie, en vermindert dus het risico op wafelschade.

Ⅲ. Toepassingsscenario's van SIC Cantilever Paddles

Met de unieke eigenschappen van SIC Cantilever -peddels kunnen ze een sleutelrol spelen in meerdere links van halfgeleiderproductie:

● Plasma -etsapparatuur: In de plasma -etskamer dienen sic cantilever -peddels als wafersteunen, die bestand zijn tegen plasmabombardement en corrosieve gaserosie met behoud van dimensionale stabiliteit, waardoor de etsnauwkeurigheid wordt gewaarborgd en de levensduur van de apparatuur verlengt.

● Dunne filmafzettingapparatuur (CVD/PVD): In het proces van chemische dampafzetting (CVD) en fysische dampafzetting (PVD) worden sic cantilever -peddels gebruikt om wafels te ondersteunen. Hun uitstekende weerstand van hoge temperatuur en thermische geleidbaarheid helpen de wafels uniform te verwarmen en deeltjesbesmetting te voorkomen die tijdens het dunne filmafzettingsproces wordt gegenereerd.

● Wafeloverdrachtssysteem: In het geautomatiseerde wafeloverdrachtssysteem kunnen SIC Cantilever-peddels bestand zijn tegen een hoogfrequente mechanische beweging vanwege hun hoge hardheid en slijtvastheid, waardoor een nauwkeurige en snelle overdracht van wafels tussen verschillende proceskamers zorgt, waardoor het risico op wafelschade en besmetting wordt verminderd.

● Verlichtingsproces op hoge temperatuur: In de gloeiende oven van hoge temperaturen kunnen SIC Cantilever-peddels bestand zijn tegen ultrahoge temperatuuromgevingen, stabiele ondersteuning bieden voor wafels en zorgen voor de uniformiteit en effectiviteit van het gloeiproces.

Veteksemicon is zich terdege bewust van de strenge vereisten van halfgeleiderprocessen voor productkwaliteit. Daarom ondersteunen we aangepaste services en kunnen we aangepaste SIC Cantilever -paddle -ontwerp en -productie bieden volgens uw specifieke apparatuur en procesvereisten. En we zullen ook strikte kwaliteitscontrole regelen om ervoor te zorgen dat elk product strikte kwaliteitsinspecties ondergaat om ervoor te zorgen dat het voldoet aan de hoogste industrienormen.

Wat nog belangrijker is, is dat het technische team van Vetek Semiconductor u zal voorzien van uitgebreide technische consult en productoplossingen. Het kiezen van onze SIC Cantilever -paddle betekent het kiezen van een hogere productie -efficiëntie, een langere levensduur van apparatuur en een betere productopbrengst. Ik kijk uit naar uw verdere consult.