Silicium carbide sic wafer boot

Veteksemicon SIC Wafer Boat is een kerndrager die speciaal is ontworpen voor halfgeleiderprocessen op hoge temperatuur. Gebruikmakend van hoge zuiverheid isostatisch geperst grafiet als zijn substraat, maakt dit product gebruik van gepatenteerde chemische dampdepositie-technologie om een ​​dichte, niet-poreuze siliciumcarbide beschermende laag op het oppervlak te vormen.

Deze laag combineert naadloos de uitstekende thermische geleidbaarheid van grafiet met de uitzonderlijke corrosieweerstand van siliciumcarbide. De rigoureus gecontroleerde coating bereikt een dikte van 80-120 μm, waardoor de corrosie van verschillende zure en alkalische atmosferen effectief weerstaat, waardoor het risico op metaalverontreiniging aanzienlijk wordt verminderd. Het handhaaft structurele stabiliteit en dimensionale integriteit, zelfs in omgevingen bij hoge temperatuur, en biedt betrouwbare bescherming en ondersteuning voor wafels tijdens kritieke processen zoals oxidatie, diffusie en epitaxiale groei, waardoor de wafer levensduur effectief wordt uitgebreid met meer dan drie keer die van conventionele grafietboten.

Ⅰ. Technische parameters

Ⅱ. Veteksemicon sic Wafer Boat Core Voordelen

• Uitstekende corrosieweerstand

De SIC-coating op de Veteksemicon Wafer-boot wordt afgezet met behulp van ons gepatenteerde CVD-proces bij hoge temperatuur, wat resulteert in een dichte, uniforme structuur die volledig vrij is van poriën en scheuren. Deze solide barrière isoleert effectief de wafels van de ovenomgeving. Sterke oxiderende atmosferen, gefluoreerde verbindingen en andere corrosieve gassen zijn ongevoelig voor deze beschermende laag. Dit betekent dat uw wafels worden beschermd tegen besmetting, terwijl de boot zelf intact blijft door herhaalde extreme processen, waardoor de levensduur van de services aanzienlijk wordt verlengd.

• Ultrahoge zuiverheidsmaterialen

We begrijpen dat zelfs de minste besmetting een hele reeks wafels nutteloos kan maken. Daarom regelt Veteksemicon grondig grondstoffen, met behulp van geïmporteerd isostatisch geperst grafiet met een zuiverheid van meer dan 99,9995% als een substraat. De SIC -coating die op dit substraat wordt afgezet, bereikt ook 99,999% zuiverheid, met kritieke onzuiverheden zoals natrium, kalium, ijzer en zware metalen gehouden tot extreem lage niveaus (PPB). Deze bijna-intrinsieke zuiverheid zorgt ervoor dat er geen verontreinigingen worden vrijgegeven bij hoge temperaturen, waardoor het risico op afbraak van apparaatprestaties als gevolg van providergerelateerde problemen fundamenteel wordt geëlimineerd.

• Uitstekende thermische stabiliteit

De productie van halfgeleiders vereist extreem consistente thermische processen. Veteksemicon Wafer Boat's coëfficiënt van thermische expansie is zorgvuldig ontworpen om die van siliciumwafels nauwlettend te matchen. Tijdens snelle verwarming en koeling bewegen de boot en wafel synchroon, waardoor het risico op roosterdefecten en kromtrekken veroorzaakt door thermische stress aanzienlijk wordt verminderd. Het kan bestand zijn tegen continue bedrijfstemperaturen tot 1600 ℃, waardoor uitstekende mechanische sterkte en dimensionale stabiliteit wordt gehandhaafd, zelfs bij deze hoge temperaturen. Dit zorgt voor herhaalbaarheid en betrouwbaarheid in elk proces dat wordt uitgevoerd, waardoor een solide basis is voor tolerantiebeheersing bij de productie van chip.

• Duurzame mechanische sterkte

De waarde van onze producten ligt niet alleen in de initiële investering, maar ook in de langetermijnkosten van eigendom. In vergelijking met traditionele kwarts- of grafietcomponenten, bieden Veteksemicon SIC -wafelboten uitzonderlijke slijtage en impactweerstand. Hun hardheid met hoge oppervlakte is bestand tegen krassen en puin tijdens het hanteren en het reinigen. Deze taaiheid stelt hen in staat om gemakkelijk meer dan 200 procescycli op de hoge temperatuur en noodzakelijke reinigingsprocedures te weerstaan, waardoor de inkoopkosten, voorraadkosten en downtime van apparatuur in verband met frequente vervanging van componenten aanzienlijk worden verlaagd.

• Ecologische ketenverificatie goedkeuring

Veteksemicon sic wafer boot 'ecologische kettingverificatie omvat grondstoffen voor productie, heeft internationale standaardcertificering aangenomen en heeft een aantal gepatenteerde technologieën om de betrouwbaarheid en duurzaamheid in de halfgeleider en nieuwe energievelden te waarborgen.

Ⅲ. Hoofdtoepassingsvelden

Neem voor gedetailleerde technische specificaties, whitepapers of voorbeeldtestregelingen contact op met ons technische ondersteuningsteam om te onderzoeken hoe Veteksemicon uw procesefficiëntie kan verbeteren.

Veteksemicon Products Warehouse