Hoge zuiverheid sic wafer bootdrager

Veteksemi High Purity SIC Wafer Boat Carrier is een belangrijke lagercomponent die wordt gebruikt in gloeiende ovens, diffusieversten en andere apparatuur in het productieproces van het halfgeleider. Hoge zuiverheid SIC Wafer Boat Carrier is meestal gemaakt van siliciumcarbidemateriaal met hoge zuiverheid en omvat voornamelijk de volgende onderdelen:

• Boat Support Body: een structuur vergelijkbaar met een beugel, speciaal gebruikt om te dragensilicium wafelsof andere halfgeleidermaterialen.

• Ondersteunende structuur: Dankzij het ontwerp van de steunstructuur kan het zware lasten dragen bij hoge temperaturen en zal het niet vervormen of beschadigen tijdens behandeling bij hoge temperaturen.

materiaal van siliciumcarbide

Fysische eigenschappen vanHerkristalliseerde siliciumcarbide：

Als de vereisten van de productieproces hoger zijn,CVD SIC -coatingkan worden uitgevoerd op de SIC -wafer bootdrager met hoge zuiverheid om de zuiverheid meer dan 99,99995%te laten bereiken, waardoor de weerstand van hoge temperatuur verder wordt verbeterd.

Basisfysische eigenschappen van CVD SIC -coating:

Tijdens de behandeling bij hoge temperaturen zorgt de zeer zuivere SiC-wafelbootdrager ervoor dat de siliciumwafel gelijkmatig wordt verwarmd om lokale oververhitting te voorkomen. Bovendien zorgt de hoge temperatuurbestendigheid van siliciumcarbidemateriaal ervoor dat de structurele stabiliteit behouden blijft bij temperaturen van 1200°C of zelfs hoger.

Tijdens het diffusie- of uitgloeiproces werken de cantileverpeddel en de hoogzuivere SiC-wafelbootdrager samen. DeCantilever -peddelDuwt langzaam de SIC -wafelklager met hoge zuiverheid die de siliciumwafer in de ovenkamer draagt ​​en stopt deze op een aangewezen positie voor verwerking. 

De hoogzuivere SiC-waferbootdrager onderhoudt contact met de siliciumwafel en wordt tijdens het warmtebehandelingsproces in een specifieke positie gefixeerd, terwijl de cantileverpeddel helpt de hele structuur in de juiste positie te houden en tegelijkertijd de temperatuuruniformiteit te garanderen.

De hoge zuiverheid SIC Wafer Boat Carrier en de Cantilever -paddle werken samen om de nauwkeurigheid en stabiliteit van het hoge temperatuurproces te waarborgen.

Vetek Semiconductor biedt u op maat gemaakte hoge zuiverheid SIC Wafer Boat Carrier volgens uw behoeften. Ik kijk uit naar uw aanvraag.

Het halfgeleiderZeer zuivere SiC-wafelboottransportwinkels: