Producten

Siliciumcarbide keramiek

VeTek Semiconductor is uw innovatieve partner op het gebied van halfgeleiderverwerking. Met ons uitgebreide portfolio van materiaalcombinaties van siliciumcarbide-keramiek van halfgeleiderkwaliteit, productiecapaciteiten voor componenten en applicatie-engineeringdiensten kunnen we u helpen belangrijke uitdagingen het hoofd te bieden. Engineering technisch Siliciumcarbide keramiek wordt op grote schaal toegepast in de halfgeleiderindustrie vanwege hun uitzonderlijke materiaalprestaties. De ultrazuivere siliciumcarbide-keramiek van VeTek Semiconductor wordt vaak gebruikt gedurende de gehele cyclus van de productie en verwerking van halfgeleiders.


DIFFUSIE & LPCVD-VERWERKING

VeTek Semiconductor levert speciaal ontworpen keramische componenten die specifiek zijn ontworpen voor batchdiffusie- en LPCVD-vereisten, waaronder:

• Schotten en houders
• Injectoren
• Liners en procesbuizen
• Siliciumcarbide cantilever-peddels
• Waferboten en sokkels


ETS PROCESCOMPONENTEN

Minimaliseer verontreiniging en ongepland onderhoud met zeer zuivere componenten die zijn ontworpen voor de ontberingen van plasma-etsverwerking, waaronder:

Focusringen

Sproeiers

Schilden

Douchekoppen

Ramen / Deksels

Andere aangepaste componenten


SNELLE THERMISCHE VERWERKING & EPITAXIALE PROCESCOMPONENTEN

VeTek Semiconductor levert geavanceerde materiaalcomponenten die op maat zijn gemaakt voor thermische verwerkingstoepassingen bij hoge temperaturen in de halfgeleiderindustrie. Deze toepassingen omvatten RTP, Epi-processen, diffusie, oxidatie en uitgloeien. Onze technische keramiek is ontworpen om thermische schokken te weerstaan ​​en betrouwbare en consistente prestaties te leveren. Met de componenten van VeTek Semiconductor kunnen halfgeleiderfabrikanten een efficiënte en hoogwaardige thermische verwerking realiseren, wat bijdraagt ​​aan het algehele succes van de halfgeleiderproductie.

• Verspreiders

• Isolatoren

• Susceptoren

• Andere op maat gemaakte thermische componenten


Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide
Eigendom Typische waarde
Werktemperatuur (°C) 1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving)
SiC/SiC-gehalte > 99,96%
Si / Gratis Si-inhoud < 0,1%
Bulkdichtheid 2,60-2,70 g/cm3
Schijnbare porositeit < 16%
Compressie sterkte > 600 MPa
Koude buigsterkte 80-90 MPa (20°C)
Hete buigsterkte 90-100 MPa (1400°C)
Thermische uitzetting @1500°C 4,70 10-6/°C
Thermische geleidbaarheid @1200°C 23 W/m•K
Elasticiteitsmodulus 240 GPa
Bestand tegen thermische schokken Zeer goed


View as  
 
High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier

High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier

Vetek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier zijn belangrijke componenten in halfgeleiderverwerking, ontworpen om delicate siliciumwafels veilig vast te houden en te transporteren, een sleutelrol spelen in alle fasen van de productie. Vetek Semiconductor's High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier wordt zorgvuldig ontworpen en vervaardigd om uitstekende prestaties en betrouwbaarheid te garanderen. Vetek Semiconductor streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen, en we kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te zijn. Vrij om ons te informeren.
Silicium carbide wafel boot

Silicium carbide wafel boot

Vetek Semiconductor's hoge zuivere siliciumcarbide wafelboot is gemaakt van extreem zuiver siliciumcarbidemateriaal met uitstekende thermische stabiliteit, mechanische sterkte en chemische weerstand. High-zuivere siliciumcarbide wafelboot wordt gebruikt in hotzone-toepassingen in de productie van halfgeleiders, vooral in omgevingen op hoge temperatuur, en speelt een belangrijke rol bij het beschermen van wafels, het transport van materialen en het handhaven van stabiele processen. Vetek Semiconductor zal hard blijven werken om te innoveren en de prestaties van hoge zuivere siliciumcarbide-wafer boot te verbeteren om te voldoen aan de zich ontwikkelende behoeften van de productie van halfgeleiders. We kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden. Vrij om ons te informeren.
Ultra puur siliciumcarbidepoeder voor kristalgroei

Ultra puur siliciumcarbidepoeder voor kristalgroei

Vetek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier, toegewijd aan het leveren van hoogwaardige ultra pure siliciumcarbidepoeder voor kristalgroei. Met een zuiverheid van maximaal 99,999% WT en extreem lage onzuiverheidsniveaus van stikstof, boor, aluminium en andere verontreinigingen, is het specifiek ontworpen om de semi-insulerende eigenschappen van hoge zuiverheidssiliciumcarbide te verbeteren. Welkom om te informeren en samen te werken met ons!
Als professional Siliciumcarbide keramiek fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide keramiek gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept