Siliciumcarbide keramiek

VeTek Semiconductor is uw innovatieve partner op het gebied van halfgeleiderverwerking. Met ons uitgebreide portfolio van materiaalcombinaties van siliciumcarbide-keramiek van halfgeleiderkwaliteit, productiecapaciteiten voor componenten en applicatie-engineeringdiensten kunnen we u helpen belangrijke uitdagingen het hoofd te bieden. Engineering technisch Siliciumcarbide keramiek wordt op grote schaal toegepast in de halfgeleiderindustrie vanwege hun uitzonderlijke materiaalprestaties. De ultrazuivere siliciumcarbide-keramiek van VeTek Semiconductor wordt vaak gebruikt gedurende de gehele cyclus van de productie en verwerking van halfgeleiders.

DIFFUSIE & LPCVD-VERWERKING

VeTek Semiconductor levert speciaal ontworpen keramische componenten die specifiek zijn ontworpen voor batchdiffusie- en LPCVD-vereisten, waaronder:

• Schotten en houders
• Injectoren
• Liners en procesbuizen
• Siliciumcarbide cantilever-peddels
• Waferboten en sokkels

SiC cantileverpeddel SiC-procesbuizen Siliciumcarbide procesbuis SiC verticale wafelboot SiC horizontale wafelboot SiC horizontale quare waferboot SiC LPCVD wafelboot SiC horizontale plaatboot SiC keramische afdichtring

ETS PROCESCOMPONENTEN

Minimaliseer verontreiniging en ongepland onderhoud met zeer zuivere componenten die zijn ontworpen voor de ontberingen van plasma-etsverwerking, waaronder:

Focusringen

Sproeiers

Schilden

Douchekoppen

Ramen / Deksels

Andere aangepaste componenten

SNELLE THERMISCHE VERWERKING & EPITAXIALE PROCESCOMPONENTEN

VeTek Semiconductor levert geavanceerde materiaalcomponenten die op maat zijn gemaakt voor thermische verwerkingstoepassingen bij hoge temperaturen in de halfgeleiderindustrie. Deze toepassingen omvatten RTP, Epi-processen, diffusie, oxidatie en uitgloeien. Onze technische keramiek is ontworpen om thermische schokken te weerstaan en betrouwbare en consistente prestaties te leveren. Met de componenten van VeTek Semiconductor kunnen halfgeleiderfabrikanten een efficiënte en hoogwaardige thermische verwerking realiseren, wat bijdraagt aan het algehele succes van de halfgeleiderproductie.

• Verspreiders

• Isolatoren

• Susceptoren

• Andere op maat gemaakte thermische componenten

Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide
Eigendom	Typische waarde
Werktemperatuur (°C)	1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving)
SiC/SiC-gehalte	> 99,96%
Si / Gratis Si-inhoud	< 0,1%
Bulkdichtheid	2,60-2,70 g/cm3
Schijnbare porositeit	< 16%
Compressie sterkte	> 600 MPa
Koude buigsterkte	80-90 MPa (20°C)
Hete buigsterkte	90-100 MPa (1400°C)
Thermische uitzetting @1500°C	4,70 10-6/°C
Thermische geleidbaarheid @1200°C	23 W/m•K
Elasticiteitsmodulus	240 GPa
Bestand tegen thermische schokken	Zeer goed

View as

Siliciumcarbide waferdrager

Als professionele leverancier van siliciumcarbide-wafeldragers in China is VeTek Semiconductor SiC-wafeldrager een hulpmiddel dat speciaal wordt gebruikt voor het hanteren en verwerken van halfgeleiderwafels, dat een onvervangbare rol speelt in het halfgeleiderwafelproces. Welkom bij uw verdere consultatie.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Silicium voetstuk

Vetek Semiconductor Silicon Sedestal is een belangrijk onderdeel van de diffusie- en oxidatieprocessen van halfgeleiders. Als een speciaal platform voor het vervoeren van siliciumboten in ovens van hoge temperatuur, heeft het siliciumvoetstuk veel unieke voordelen, waaronder verbeterde temperatuuruniformiteit, geoptimaliseerde wafelkwaliteit en verbeterde prestaties van halfgeleiderapparaten. Neem voor meer productinformatie contact met ons op.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SIC keramische zeehondenring

Als een grootschalige fabriek en leverancier van SIC-keramische afdichtingsringproducten in China, heeft Vetek Semiconductor SIC-keramische afdichtring een breed scala aan toepassingen in het industriële veld vanwege de uitstekende thermische geleidbaarheid, uitstekende chemische en corrosieweerstand en hoge sterkte en stijfheid. Verwelkom uw verdere vragen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Sic diffusion oven buis

Als een toonaangevende fabrikant en leverancier van diffusie-ovenapparatuur in China, heeft Vetek halfgeleider SIC diffusie-ovenbuis een aanzienlijk hoge buigsterkte, uitstekende weerstand tegen oxidatie, corrosieweerstand, hoge slijtvastheid en uitstekende mechanische eigenschappen met hoge temperatuur. Waardoor het een onmisbaar apparatuurmateriaal is in diffusie -oventoepassingen. Vetek Semiconductor streeft naar de productie en het leveren van hoogwaardige SIC-diffusie-ovenbuis en verwelkomt uw verdere vragen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Hoge zuiverheid sic wafer bootdrager

VeTek Semiconductor biedt op maat gemaakte SiC-waferbootdragers met hoge zuiverheid. Het is gemaakt van zeer zuiver siliciumcarbide en beschikt over sleuven om de wafel op zijn plaats te houden, zodat deze tijdens de verwerking niet kan verschuiven. Indien nodig is er ook CVD SiC-coating beschikbaar. Als professionele en sterke fabrikant en leverancier van halfgeleiders is de zeer zuivere SiC-wafelbootdrager van VeTek Semiconductor prijsconcurrerend en van hoge kwaliteit. VeTek Semiconductor kijkt ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Hoge zuiverheid sic cantilever peddel

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van High Purity SIC Cantilever Paddle Product in China. Hoge zuiverheid SIC Cantilever -peddels worden vaak gebruikt in halfgeleiderdiffusieverzen als waferoverdracht- of laadplatforms.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Siliciumcarbide keramiek fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide keramiek gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Siliciumcarbide keramiek

DIFFUSIE & LPCVD-VERWERKING

ETS PROCESCOMPONENTEN

SNELLE THERMISCHE VERWERKING & EPITAXIALE PROCESCOMPONENTEN

Siliciumcarbide waferdrager

Silicium voetstuk

SIC keramische zeehondenring

Sic diffusion oven buis

Hoge zuiverheid sic wafer bootdrager

Hoge zuiverheid sic cantilever peddel

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres