Tantaalcarbide coating

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.

De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.

TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:

Excellent properties of TaC coating graphite

De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.

Belangrijkste kenmerken:

●Temperatuurstabiliteit

●Ultrahoge zuiverheid

●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

●Weerstand tegen thermische voorraad

●Sterke hechting op grafiet

●Conforme coatingdekking

● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)

Toepassingen:

●Wafeldrager

● Inductieve verwarmingskroes

● Resistief verwarmingselement

●Satelliet schijf

●Douchekop

●Geleidingsring

●LED Epi-ontvanger

●Injectie mondstuk

●Maskerende ring

● Hitteschild

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10^-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)

TaC-coating EDX-gegevens：

EDX data of TaC coating

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Element	Atoom procent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gemiddeld
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Hen	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-coatinghouder TaC-coating planetaire schijf
TaC-gecoate plaat Rotatieplaat met TaC-coating TaC-coatingontvanger CVD TaC-coating Deksel CVD TaC-coatingring TaC-coatingplaat

View as

TAC -coatingrotatieplaat

TAC-coatingrotatieplaat geproduceerd door Vetek Semiconductor beschikt over een uitstekende TAC-coating, met zijn uitzonderlijke TAC-coating, TAC-coatingrotatieplaatsen hebben een opmerkelijke weerstand met hoge temperaturen en chemische inertie, die het onderscheidt van traditionele oplossingen. We zijn toegewijd aan het leveren van kwaliteitsproducten bij concurrentieproducten en kijken naar uw langetermijnpartner in China.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC -coatingplaat

Ontworpen met precisie en tot in de perfectie ontworpen, is de TAC -coatingplaat van Vetek Semiconductor specifiek op maat gemaakt voor verschillende toepassingen in siliciumcarbide (SIC) enkele kristalgroeiprocessen. De precieze afmetingen van de TAC -coatingplaat en een robuuste constructie maken het gemakkelijk om te integreren in bestaande systemen, waarschuwend naadloze compatibiliteit en efficiënte werking. De betrouwbare prestaties en hoogwaardige coating dragen bij aan consistente en uniforme resultaten in SiC-kristalgroeipolties. We zijn toegewijd aan het leveren van kwaliteitsproducten tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te zijn.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD TAC Coating Cover

CVD TAC -coatingbedekking geleverd door Vetek Semiconductor is een zeer gespecialiseerde onderdeel die speciaal is ontworpen voor veeleisende toepassingen. Met zijn geavanceerde functies en uitzonderlijke prestaties biedt onze CVD TAC -coatingcover verschillende belangrijke voordelen. Onze CVD TAC -coatingbedekking biedt de nodige bescherming en prestaties die nodig zijn voor succes. We kijken ernaar uit om potentiële samenwerking met u te verkennen!

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC Coating Planetaire Susceptor

TAC Coating Planetary Susceptor is een uitzonderlijk product voor Aixtron Epitaxy -apparatuur. De TAC-coating van Vetek Semiconductor biedt uitstekende weerstand op hoge temperatuur en chemische inertie. Deze unieke combinatie zorgt voor betrouwbare prestaties en een lange levensduur, zelfs in veeleisende omgevingen. Vetek streeft naar het leveren van producten van hoge kwaliteit en het dienen als een langdurige partner op de Chinese markt met concurrerende prijzen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC Coating voetstukondersteuningsplaat

TAC -coating kan een hoge temperatuur van 2200 ℃ weerstaan. Vetek Semiconductor biedt tac -coating met hoge zuiverheid met onzuiverheden onder 5 ppm in China. TAC Coating voetstukondersteuningsplaat kan bestand zijn tegen ammoniakwaterstof, argonine in de reactiekamer van het epitaxiale apparaat. Het verbetert de levensduur van het product. U biedt de vereisten, wij bieden aanpassing.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC Coating Chuck

Vetek Semiconductor's TAC Coating Chuck heeft een hoogwaardige coating van het oppervlak, bekend om zijn uitstekende hoge-temperatuurweerstand en chemische inertie, met name in siliciumcarbide (SIC) epitaxy (EPI) -processen. Met zijn uitzonderlijke functies en superieure prestaties biedt onze TAC-coating Chuck verschillende belangrijke voordelen. We zijn toegewijd aan het leveren van kwaliteitsproducten tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te zijn.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Tantaalcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Tantaalcarbide coating

Belangrijkste kenmerken:

Toepassingen:

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

TaC-coating EDX-gegevens：

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

TAC -coatingrotatieplaat

TAC -coatingplaat

CVD TAC Coating Cover

TAC Coating Planetaire Susceptor

TAC Coating voetstukondersteuningsplaat

TAC Coating Chuck

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres