Tantaalcarbide coating

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.

De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.

TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:

Excellent properties of TaC coating graphite

De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.

Belangrijkste kenmerken:

●Temperatuurstabiliteit

●Ultrahoge zuiverheid

●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

●Weerstand tegen thermische voorraad

●Sterke hechting op grafiet

●Conforme coatingdekking

● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)

Toepassingen:

●Wafeldrager

● Inductieve verwarmingskroes

● Resistief verwarmingselement

●Satelliet schijf

●Douchekop

●Geleidingsring

●LED Epi-ontvanger

●Injectie mondstuk

●Maskerende ring

● Hitteschild

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10^-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)

TaC-coating EDX-gegevens：

EDX data of TaC coating

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Element	Atoom procent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gemiddeld
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Hen	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-coatinghouder TaC-coating planetaire schijf
TaC-gecoate plaat Rotatieplaat met TaC-coating TaC-coatingontvanger CVD TaC-coating Deksel CVD TaC-coatingring TaC-coatingplaat

View as

Tantalum carbide ring

Als een geavanceerde fabrikant en producent van tantalum carbide -ringproducten in China, heeft Vetek halfgeleider tantalum carbide ring een extreem hoge hardheid, slijtvastheid, hoge temperatuurweerstand en chemische stabiliteit en wordt veel gebruikt in het fabrikant van het halfgeleider. Vooral in CVD, PVD, ionenimplantatieproces, etsproces en wafelverwerking en transport, is het een onmisbaar product voor halfgeleiderverwerking en productie. Ik kijk uit naar uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Tantalum carbide coatingondersteuning

Als een professionele tantalum carbide coating ondersteuning productfabrikant en fabriek in China, wordt Vetek halfgeleider tantalum carbide coatingondersteuning meestal gebruikt voor oppervlaktecoating van structurele componenten of ondersteuningscomponenten in halfgeleiderapparatuur, met name voor oppervlaktebescherming van belangrijke apparatuurcomponenten in semiconductorproductieprocessen zoals CVD en PVD. Verwelkom uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Tantalum carbide geleiderring

Vetek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van tantalum carbide -ringproducten in China. Onze tantalum carbide (TAC) -geleiderring is een high-performance ringcomponent gemaakt van tantaal carbide, dat vaak wordt gebruikt in halfgeleiderverwerkingsapparatuur, vooral in hoge temperatuur en sterk corrosieve omgevingen zoals CVD, PVD, etsen en diffusie. Vetek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie- en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie en verwelkomt uw verdere vragen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC Coating Rotatie Susceptor

Als professionele fabrikant, innovator en leider van TAC -coating rotatie -susceptorproducten in China. Vetek Semiconductor TAC Coating Rotatie Susceptor wordt meestal geïnstalleerd in chemische dampafzetting (CVD) en moleculaire bundelpitaxie (MBE) -apparatuur om wafels te ondersteunen en te roteren om uniforme materiaalafzetting en efficiënte reactie te garanderen. Het is een sleutelcomponent in de verwerking van halfgeleiders. Verwelkom uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD TAC Coating Crucible

Vetek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van CVD TAC Coating Crucible Products in China. CVD TAC Coating Crucible is gebaseerd op tantalum koolstof (TAC) coating. De tantale koolstofcoating is gelijkmatig bedekt op het oppervlak van het smeltkroes door chemische dampafzetting (CVD) -proces om de hittebestendigheid en corrosieweerstand te verbeteren. Het is een materiaalgereedschap dat speciaal wordt gebruikt in extreme omgevingen met hoge temperatuur. Verwelkom uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD TAC Coating Wafer Carrier

Als een professionele CVD TAC Coating Wafer Carrier Product Fabrikant en fabriek in China, is Vetek Semiconductor CVD TAC Coating Wafer Carrier een wafer draagtool die speciaal is ontworpen voor hoge temperatuur en corrosieve omgevingen in de productie van halfgeleiders. en CVD TAC Coating Wafer Carrier heeft een hoge mechanische sterkte, uitstekende corrosieweerstand en thermische stabiliteit, waardoor de nodige garantie wordt geboden voor de productie van hoogwaardige halfgeleiderapparaten. Uw verdere vragen zijn welkom.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Tantaalcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Tantaalcarbide coating

Belangrijkste kenmerken:

Toepassingen:

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

TaC-coating EDX-gegevens：

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Tantalum carbide ring

Tantalum carbide coatingondersteuning

Tantalum carbide geleiderring

TAC Coating Rotatie Susceptor

CVD TAC Coating Crucible

CVD TAC Coating Wafer Carrier

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres