Tantaalcarbide coating

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.

De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.

TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:

Excellent properties of TaC coating graphite

De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.

Belangrijkste kenmerken:

●Temperatuurstabiliteit

●Ultrahoge zuiverheid

●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

●Weerstand tegen thermische voorraad

●Sterke hechting op grafiet

●Conforme coatingdekking

● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)

Toepassingen:

●Wafeldrager

● Inductieve verwarmingskroes

● Resistief verwarmingselement

●Satelliet schijf

●Douchekop

●Geleidingsring

●LED Epi-ontvanger

●Injectie mondstuk

●Maskerende ring

● Hitteschild

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10^-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)

TaC-coating EDX-gegevens：

EDX data of TaC coating

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Element	Atoom procent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gemiddeld
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Hen	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-coatinghouder TaC-coating planetaire schijf
TaC-gecoate plaat Rotatieplaat met TaC-coating TaC-coatingontvanger CVD TaC-coating Deksel CVD TaC-coatingring TaC-coatingplaat

View as

TAC Coating Rotatie Susceptor

Als professionele fabrikant, innovator en leider van TAC -coating rotatie -susceptorproducten in China. Vetek Semiconductor TAC Coating Rotatie Susceptor wordt meestal geïnstalleerd in chemische dampafzetting (CVD) en moleculaire bundelpitaxie (MBE) -apparatuur om wafels te ondersteunen en te roteren om uniforme materiaalafzetting en efficiënte reactie te garanderen. Het is een sleutelcomponent in de verwerking van halfgeleiders. Verwelkom uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD TAC Coating Crucible

Vetek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van CVD TAC Coating Crucible Products in China. CVD TAC Coating Crucible is gebaseerd op tantalum koolstof (TAC) coating. De tantale koolstofcoating is gelijkmatig bedekt op het oppervlak van het smeltkroes door chemische dampafzetting (CVD) -proces om de hittebestendigheid en corrosieweerstand te verbeteren. Het is een materiaalgereedschap dat speciaal wordt gebruikt in extreme omgevingen met hoge temperatuur. Verwelkom uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD TAC Coating Wafer Carrier

Als een professionele CVD TAC Coating Wafer Carrier Product Fabrikant en fabriek in China, is Vetek Semiconductor CVD TAC Coating Wafer Carrier een wafer draagtool die speciaal is ontworpen voor hoge temperatuur en corrosieve omgevingen in de productie van halfgeleiders. en CVD TAC Coating Wafer Carrier heeft een hoge mechanische sterkte, uitstekende corrosieweerstand en thermische stabiliteit, waardoor de nodige garantie wordt geboden voor de productie van hoogwaardige halfgeleiderapparaten. Uw verdere vragen zijn welkom.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TaC-coatingverwarmer

VeTek Semiconductor TaC Coating Heater heeft een extreem hoog smeltpunt (ongeveer 3880°C). Het hoge smeltpunt maakt het mogelijk om bij extreem hoge temperaturen te werken, vooral bij de groei van epitaxiale lagen van galliumnitride (GaN) in het metaalorganische chemische dampdepositie (MOCVD). VeTek Semiconductor streeft ernaar klanten op maat gemaakte productoplossingen te bieden. Wij kijken ernaar uit om van u te horen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD TAC-coating

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant van CVD TAC-coatingproducten in China. We concentreren ons al jaren op verschillende CVD TAC Coating-producten, zoals CVD TaC-coatingafdekking en CVD TaC-coatingring. VeTek Semiconductor ondersteunt op maat gemaakte productdiensten en bevredigende productprijzen en kijkt uit naar uw verdere overleg.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC gecoate chuck

Met zijn hoge temperatuurweerstand, chemische inertigheid en uitstekende prestaties, zijn de TAC -tac -gecoate chucks van Vetek Semiconductor ontworpen voor halfgeleiderovens. Wij zijn van mening dat onze producten u geavanceerde technologie- en kwaliteitsproductoplossingen kunnen opleveren.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Tantaalcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Tantaalcarbide coating

Belangrijkste kenmerken:

Toepassingen:

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

TaC-coating EDX-gegevens：

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

TAC Coating Rotatie Susceptor

CVD TAC Coating Crucible

CVD TAC Coating Wafer Carrier

TaC-coatingverwarmer

CVD TAC-coating

TAC gecoate chuck

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres