Tantaalcarbide coating

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.

De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.

TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:

Excellent properties of TaC coating graphite

De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.

Belangrijkste kenmerken:

●Temperatuurstabiliteit

●Ultrahoge zuiverheid

●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

●Weerstand tegen thermische voorraad

●Sterke hechting op grafiet

●Conforme coatingdekking

● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)

Toepassingen:

●Wafeldrager

● Inductieve verwarmingskroes

● Resistief verwarmingselement

●Satelliet schijf

●Douchekop

●Geleidingsring

●LED Epi-ontvanger

●Injectie mondstuk

●Maskerende ring

● Hitteschild

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10^-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)

TaC-coating EDX-gegevens：

EDX data of TaC coating

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Element	Atoom procent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gemiddeld
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Hen	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-coatinghouder TaC-coating planetaire schijf
TaC-gecoate plaat Rotatieplaat met TaC-coating TaC-coatingontvanger CVD TaC-coating Deksel CVD TaC-coatingring TaC-coatingplaat

View as

Tantalum carbide gecoat poreus grafiet

Tantalum carbide gecoat poreus grafiet is een onmisbaar product in het halfgeleiderverwerkingsproces, vooral in het SIC -kristalgroeiproces. Na continue R & D -investeringen en technologie -upgrades, heeft de TAC -gecoate poreuze grafietproductkwaliteit van Vetek Semiconductor veel lof gewonnen van Europese en Amerikaanse klanten. Welkom bij uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD TAC Coating Planetary SIC Epitaxiale susceptor

CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor is een van de kerncomponenten van de MOCVD planetaire reactor. Door de planetaire SiC epitaxiale susceptor met CVD TaC-coating roteren de grote schijfbanen en de kleine schijf, en wordt het horizontale stroommodel uitgebreid naar machines met meerdere chips, zodat het zowel het hoogwaardige epitaxiale golflengte-uniformiteitsbeheer als de defectoptimalisatie van enkele -chipmachines en de productiekostenvoordelen van multi-chipmachines. VeTek Semiconductor kan klanten voorzien van een sterk op maat gemaakte planetaire SiC epitaxiale susceptor met CVD TaC-coating. Als je ook een planetaire MOCVD-oven zoals Aixtron wilt maken, kom dan naar ons!

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC -gecoate ring

Als toonaangevende fabrikant en leverancier van TAC -gecoate ringproducten in China, heeft Vetek Semiconductor zich gericht op de R&D en de productie van verschillende TAC -coatingproducten. Als de belangrijkste klanten van TAC -coatingproducten hebben Europese en Amerikaanse fabrikanten onze coatingproducten veel lof gegeven. Welkom bij uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Gan Epitaxy Undertaker

Vetek Semiconductor is een Chinees bedrijf dat fabrikant van wereldklasse is en leverancier van GAN Epitaxy Susceptor. We werken in de halfgeleiderindustrie zoals siliciumcarbide coatings en Gan Epitaxy Susceptor lange tijd. We kunnen u uitstekende producten en gunstige prijzen bieden. Vetek Semiconductor kijkt ernaar uit om uw langdurige partner te worden.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC -gecoate wafer Susceptor

Vetek Semiconductor TAC Coated Wafer Susceptor is een grafietlade bedekt met tantaalcarbide voor siliciumcarbide epitaxiale groei om de wafelkwaliteit en prestaties te verbeteren. Vetek wordt geselecteerd vanwege de geavanceerde coatingtechnologie en duurzame oplossingen om uitstekende SiC Epitaxy -resultaten en verlengde susceptoreven te garanderen, verwelkomen uw verdere vragen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC Coating Guide Rings

Als een toonaangevende fabrikant van TAC Coating Guide Rings -producten in China, zijn Vetek Semiconductor TAC -gecoate gidsringen belangrijke componenten in MOCVD -apparatuur, waardoor een nauwkeurige en stabiele gasafgifte wordt gewaarborgd tijdens epitaxiale groei en een onmisbaar materiaal in halfgeleider -epitaxiale groei. Welkom om ons te raadplegen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Tantaalcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Tantaalcarbide coating

Belangrijkste kenmerken:

Toepassingen:

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

TaC-coating EDX-gegevens：

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Tantalum carbide gecoat poreus grafiet

CVD TAC Coating Planetary SIC Epitaxiale susceptor

TAC -gecoate ring

Gan Epitaxy Undertaker

TAC -gecoate wafer Susceptor

TAC Coating Guide Rings

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres