Tantaalcarbide coating

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.

De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.

TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:

Excellent properties of TaC coating graphite

De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.

Belangrijkste kenmerken:

●Temperatuurstabiliteit

●Ultrahoge zuiverheid

●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

●Weerstand tegen thermische voorraad

●Sterke hechting op grafiet

●Conforme coatingdekking

● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)

Toepassingen:

●Wafeldrager

● Inductieve verwarmingskroes

● Resistief verwarmingselement

●Satelliet schijf

●Douchekop

●Geleidingsring

●LED Epi-ontvanger

●Injectie mondstuk

●Maskerende ring

● Hitteschild

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10^-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)

TaC-coating EDX-gegevens：

EDX data of TaC coating

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Element	Atoom procent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gemiddeld
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Hen	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-coatinghouder TaC-coating planetaire schijf
TaC-gecoate plaat Rotatieplaat met TaC-coating TaC-coatingontvanger CVD TaC-coating Deksel CVD TaC-coatingring TaC-coatingplaat

View as

Tantalum carbide gecoate ring

Als een professionele innovator en leider van tantalum carbide gecoate ringproducten in China, speelt Vetek halfgeleider tantalum carbide gecoate ring een onvervangbare rol in SIC -kristalgroei met zijn uitstekende weerstand van hoge temperatuur, slijtvastheid en uitstekende thermische geleidbaarheid. Verwelkom uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Poreuze tantalum carbide

Vetek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van poreuze tantalum carbide -producten in China. Poreuze tantalumcarbide wordt meestal geproduceerd door chemische dampafzetting (CVD) -methode, waardoor een precieze regeling van de poriegrootte en -verdeling zorgt en een materiaalgereedschap is gewijd aan extreme omgevingen op hoge temperatuur. Verwelkom uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC Coating Guide Ring

De TaC Coating Guide Ring van VeTek Semiconductor wordt gemaakt door tantaalcarbide coating aan te brengen op grafietonderdelen met behulp van een zeer geavanceerde techniek genaamd chemische dampdepositie (CVD). Deze methode is beproefd en biedt uitzonderlijke coatingeigenschappen. Door gebruik te maken van de TaC Coating Guide Ring kan de levensduur van grafietcomponenten aanzienlijk worden verlengd, kan de beweging van grafietverontreinigingen worden onderdrukt en kan de SiC- en AIN-monokristalkwaliteit betrouwbaar worden gehandhaafd. Welkom bij ons.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Tantalum carbide ring

Als een geavanceerde fabrikant en producent van tantalum carbide -ringproducten in China, heeft Vetek halfgeleider tantalum carbide ring een extreem hoge hardheid, slijtvastheid, hoge temperatuurweerstand en chemische stabiliteit en wordt veel gebruikt in het fabrikant van het halfgeleider. Vooral in CVD, PVD, ionenimplantatieproces, etsproces en wafelverwerking en transport, is het een onmisbaar product voor halfgeleiderverwerking en productie. Ik kijk uit naar uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Tantalum carbide coatingondersteuning

Als een professionele tantalum carbide coating ondersteuning productfabrikant en fabriek in China, wordt Vetek halfgeleider tantalum carbide coatingondersteuning meestal gebruikt voor oppervlaktecoating van structurele componenten of ondersteuningscomponenten in halfgeleiderapparatuur, met name voor oppervlaktebescherming van belangrijke apparatuurcomponenten in semiconductorproductieprocessen zoals CVD en PVD. Verwelkom uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Tantalum carbide geleiderring

Vetek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van tantalum carbide -ringproducten in China. Onze tantalum carbide (TAC) -geleiderring is een high-performance ringcomponent gemaakt van tantaal carbide, dat vaak wordt gebruikt in halfgeleiderverwerkingsapparatuur, vooral in hoge temperatuur en sterk corrosieve omgevingen zoals CVD, PVD, etsen en diffusie. Vetek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie- en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie en verwelkomt uw verdere vragen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Tantaalcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Tantaalcarbide coating

Belangrijkste kenmerken:

Toepassingen:

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

TaC-coating EDX-gegevens：

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Tantalum carbide gecoate ring

Poreuze tantalum carbide

TAC Coating Guide Ring

Tantalum carbide ring

Tantalum carbide coatingondersteuning

Tantalum carbide geleiderring

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres