TAC Coating Guide Ring

Vetek Semiconductor is een professionele Chinese TAC -coatinggidsring, TAC Coating Coatible, fabrikant van zaadhouder en leverancier.

TAC Coating Crucible, zaadhouder en TAC -coatinggeleiderring in SIC en AIN enkele kristaloven werden gekweekt met PVT -methode.

Wanneer de fysieke damptransportmethode (PVT) wordt gebruikt om SIC te bereiden, bevindt het zaadkristal zich in het relatief lage temperatuurgebied en bevindt de SIC -grondstof zich in het relatief hoge temperatuurgebied (boven 2400 ℃). De ontleding van grondstof produceert Sixcy (voornamelijk inclusief SI, SIC₂, SI₂C, enz.). Het dampfasemateriaal wordt getransporteerd van het gebied met hoge temperatuur naar het zaadkristal in het gebied met lage temperatuur en groeit nucleaten en groeit. Om een ​​enkel kristal te vormen. De in dit proces gebruikte thermische veldmaterialen, zoals smeltkroes, stroomgeleiderring, zaadkristalhouder, moeten bestand zijn tegen hoge temperatuur en zullen geen SIC -grondstoffen en SIC enkele kristallen vervuilen. Evenzo moeten de verwarmingselementen in de groei van ALN ​​-enkele kristallen bestand zijn tegen Al -damp, N₂ -corrosie, en moeten ze een hoge eutectische temperatuur (en ALN) hebben om de kristalbereidingsperiode te verkorten.

Er werd gevonden dat de SIC en ALN ​​bereid door TAC -gecoate grafiet thermische veldmaterialen schoner waren, bijna geen koolstof (zuurstof, stikstof) en andere onzuiverheden, minder randdefecten, kleinere weerstand in elk gebied en de microporiedichtheid en etsende putdichtheid waren aanzienlijk verminderd (na KOH -etsen) en de kristalkwaliteit was sterk verbeterd. Bovendien is TAC Crucible gewichtsverlies bijna nul, het uiterlijk is niet-destructief, kan worden gerecycled (leven tot 200H), kan de duurzaamheid en efficiëntie van een dergelijk kristalbereiding verbeteren.

Productparameter van de TAC -coatinggeleiderring:

Productiewinkels:

Overzicht van de epitaxie-industrieketen van halfgeleiderchips: