TAC Coating Guide Rings

Functie van TAC Coating Guide -ringen:

Nauwkeurige gasstroomregeling: DeTAC Coating Guide Ringwordt strategisch gepositioneerd binnen het gasinjectiesysteem van deMOCVD -reactor. De primaire functie ervan is om de stroom van voorlopergassen te sturen en hun uniforme verdeling over het substraatwaferoppervlak te waarborgen. Deze precieze controle over de dynamiek van de gasstroom is essentieel voor het bereiken van uniforme epitaxiale laaggroei en gewenste materiaaleigenschappen.

Thermisch beheer: De TAC -coatinggids werkt vaak bij verhoogde temperaturen vanwege hun nabijheid tot de verwarmde susceptor en het substraat. De uitstekende thermische geleidbaarheid van TAC helpt warmte effectief te verdrijven, waardoor gelokaliseerde oververhitting wordt voorkomen en een stabiel temperatuurprofiel in de reactiezone wordt gehandhaafd.

Voordelen van TAC in MOCVD:

Extreme temperatuurweerstand: TAC heeft een van de hoogste smeltpunten tussen alle materialen, meer dan 3800 ° C.

Uitstekende chemische inertie: TAC vertoont uitzonderlijke weerstand tegen corrosie en chemische aanval van de reactieve voorlopergassen die worden gebruikt in MOCVD, zoals ammoniak, silaan en verschillende metaal-organische verbindingen.

Fysieke eigenschappen vanTAC -coating:

Voordelen voor MOCVD -prestaties:

Het gebruik van Vetek Semiconductor TAC -coatinggeleiderring in MOCVD -apparatuur draagt ​​aanzienlijk bij aan:

Verhoogde uptime van apparatuur: De duurzaamheid en de uitgebreide levensduur van de TAC -coatinggeleiderring verminderen de behoefte aan frequente vervangingen, het minimaliseren van onderhoudsdowntime en het maximaliseren van de operationele efficiëntie van het MOCVD -systeem.

Verbeterde processtabiliteit: De thermische stabiliteit en chemische inertie van TAC dragen bij aan een stabielere en gecontroleerde reactieomgeving in de MOCVD -kamer, waardoor procesvariaties worden geminimaliseerd en de reproduceerbaarheid wordt verbeterd.

Verbeterde epitaxiale laag uniformiteit: Nauwkeurige gasstroomcontrole vergemakkelijkt door de TAC -coatinggeleider, zorgt voor een uniforme voorlopersverdeling, wat resulteert in zeer uniformEpitaxiale laag groeimet consistente dikte en samenstelling.

Tantalum carbide (TAC) coatingop een microscopische dwarsdoorsnede: