Tantaalcarbide coating

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.

De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.

TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:

Excellent properties of TaC coating graphite

De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.

Belangrijkste kenmerken:

●Temperatuurstabiliteit

●Ultrahoge zuiverheid

●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

●Weerstand tegen thermische voorraad

●Sterke hechting op grafiet

●Conforme coatingdekking

● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)

Toepassingen:

●Wafeldrager

● Inductieve verwarmingskroes

● Resistief verwarmingselement

●Satelliet schijf

●Douchekop

●Geleidingsring

●LED Epi-ontvanger

●Injectie mondstuk

●Maskerende ring

● Hitteschild

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10^-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)

TaC-coating EDX-gegevens：

EDX data of TaC coating

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Element	Atoom procent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gemiddeld
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Hen	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-coatinghouder TaC-coating planetaire schijf
TaC-gecoate plaat Rotatieplaat met TaC-coating TaC-coatingontvanger CVD TaC-coating Deksel CVD TaC-coatingring TaC-coatingplaat

View as

CVD TAC -coatingring

In de halfgeleiderindustrie is CVD TAC -coatingring een zeer voordelige component die is ontworpen om te voldoen aan de veeleisende vereisten van kristalgroeiprocessen van siliciumcarbide (SIC). De CVD TAC-coatingring van Vetek Semiconductor biedt uitstekende weerstand op hoge temperatuur en chemische inertie, waardoor het een ideale keuze is voor omgevingen die worden gekenmerkt door verhoogde temperaturen en corrosieve omstandigheden. We zijn toegewijd aan het creëren van een efficiënte productie van siliciumcarbide enkele kristalaccessoires. Neem gerust contact met ons op voor meer vragen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

LPE SiC EPI Halve Maan

LPE SiC Epi Halfmoon is een speciaal ontwerp voor een horizontale epitaxieoven, een revolutionair product dat is ontworpen om SiC-epitaxieprocessen in de LPE-reactor te verbeteren. Deze geavanceerde oplossing beschikt over verschillende belangrijke kenmerken die superieure prestaties en efficiëntie tijdens uw productieactiviteiten garanderen. Vetek Semiconductor is professioneel in het vervaardigen van LPE SiC Epi halvemaan in 6 inch, 8 inch. Ik kijk ernaar uit om een langdurige samenwerking met u op te zetten.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

LED EPI

Vetek Semiconductor is een toonaangevende leverancier van TAC -coatings en SiC -coatinggrafietonderdelen. Wij zijn gespecialiseerd in de productie van geavanceerde LED-EPI-susceptors, essentieel voor LED Epitaxy-processen. Ik kijk uit naar uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

MOCVD SUSCEPTOR met TAC -coating

Vetek Semiconductor is een uitgebreide leverancier die betrokken is bij het onderzoek, de ontwikkeling, de productie, het ontwerp en de verkoop van TAC -coatings en SIC -coatingonderdelen. Onze expertise ligt in de productie van state-of-the-art MOCVD Susceptor met TAC-coating, die een cruciale rol spelen in het LED-epitaxie-proces. Wij verwelkomen u om met Amerikaanse vragen en meer informatie te bespreken.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TaC-gecoate diepe UV-LED-susceptor

TaC-coating is een nieuwe generatie coating die is ontwikkeld voor zware omstandigheden. VeTek Semiconductor is een geïntegreerde leverancier die zich bezighoudt met onderzoek en ontwikkeling, productie, ontwerp en verkoop van TaC-coatings. Wij zijn gespecialiseerd in de productie van geavanceerde TaC-gecoate UV-LED-susceptors, die cruciale componenten zijn in het LED-epitaxieproces. Onze TaC-gecoate diepe UV-LED-susceptor biedt een hoge thermische geleidbaarheid, hoge mechanische sterkte, verbeterde productie-efficiëntie en epitaxiale waferbescherming. Welkom bij ons.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan

Halfmoon-onderdelen gecoat met CVD TaC-coating, zijn duurzamer dan SiC-gecoate halfmoon-onderdelen. VeTek Semiconductor is de toonaangevende fabrikant en leverancier in China voor Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, wij zijn gespecialiseerd in R&D en productie, kunnen de kwaliteit goed controleren en een concurrerend aanbod bieden prijs. U bent van harte welkom om onze fabriek te bezoeken voor verdere discussie over een langdurige samenwerking.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Tantaalcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Tantaalcarbide coating

Belangrijkste kenmerken:

Toepassingen:

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

TaC-coating EDX-gegevens：

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

CVD TAC -coatingring

LPE SiC EPI Halve Maan

LED EPI

MOCVD SUSCEPTOR met TAC -coating

TaC-gecoate diepe UV-LED-susceptor

Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres