Tantaalcarbide coating

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.

De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.

TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:

Excellent properties of TaC coating graphite

De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.

Belangrijkste kenmerken:

●Temperatuurstabiliteit

●Ultrahoge zuiverheid

●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

●Weerstand tegen thermische voorraad

●Sterke hechting op grafiet

●Conforme coatingdekking

● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)

Toepassingen:

●Wafeldrager

● Inductieve verwarmingskroes

● Resistief verwarmingselement

●Satelliet schijf

●Douchekop

●Geleidingsring

●LED Epi-ontvanger

●Injectie mondstuk

●Maskerende ring

● Hitteschild

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10^-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)

TaC-coating EDX-gegevens：

EDX data of TaC coating

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Element	Atoom procent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gemiddeld
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Hen	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-coatinghouder TaC-coating planetaire schijf
TaC-gecoate plaat Rotatieplaat met TaC-coating TaC-coatingontvanger CVD TaC-coating Deksel CVD TaC-coatingring TaC-coatingplaat

View as

TAC-gecoate drie-petal ring

Vetek Semiconductor is een toonaangevende TAC-gecoate drie-petal ringfabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TAC en SIC-coating. Onze producten hebben een corrosieweerstand, hoge sterkte. We kijken ernaar uit om uw langdurige partner te worden in China. Wel komen op elk gewenst moment te raadplegen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Tantalum carbide gecoate chuck

Vetek Semiconductor is een toonaangevende tantalum carbide gecoate chuck fabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TAC-coating. Onze producten hebben een hoge zuiverheid en hoge temperatuurweerstand tot 2000 ℃. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Tantalum carbide gecoate dekking

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van het tantalumcarbide -gecoate dekmantel in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TAC en SIC -coating. Onze producten hebben een corrosieweerstand, hoge sterkte. We kijken ernaar uit om uw langdurige partner te worden in China. Wel komen op elk gewenst moment te raadplegen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Ultra pure grafiet lagere halfmoon

Vetek Semiconductor is een toonaangevende leverancier van aangepaste ultra pure grafiet lagere halfmoon in China, gespecialiseerd in geavanceerde materialen voor vele jaren. Onze ultra pure grafiet lagere halfmoon is specifiek ontworpen voor SiC -epitaxiale apparatuur, waardoor uitstekende prestaties worden gewaarborgd. Gemaakt van ultrazuiver geïmporteerd grafiet, biedt het betrouwbaarheid en duurzaamheid. Bezoek onze fabriek in China om onze hoogwaardige ultra pure grafiet lagere halfmoon uit de eerste hand te verkennen. Wel komen op elk moment te raadplegen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Bovenste halfmoon deel sic gecoat

Vetek Semiconductor is een toonaangevende leverancier van op maat gemaakte Upper Halfmoon -deel SIC gecoat in China, gespecialiseerd in geavanceerde materialen voor meer dan 20 jaar. Vetek halfgeleider bovenste halfmoon deel sic gecoat is specifiek ontworpen voor SiC -epitaxiale apparatuur, die dient als een cruciale component in de reactiekamer. Gemaakt van ultrazuivere, halfgeleider-graad grafiet, zorgt voor uitstekende prestaties. Wij nodigen u uit om onze fabriek in China te bezoeken. Wel komen op elk moment te raadplegen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Silicium carbide epitaxy wafer drager

Vetek Semiconductor is een toonaangevende op maat gemaakte siliciumcarbide epitaxy wafer -leverancier in China. We zijn meer dan 20 jaar gespecialiseerd in gevorderd materiaal. We bieden een silicium carbide epitaxy wafelcarrier voor het dragen van SIC -substraat, groeiende SIC epitaxy -laag in SIC epitaxiale reactor. Deze siliciumcarbide epitaxy wafer drager is een belangrijk SiC gecoat deel van het halfmoongedeelte, hoge temperatuurweerstand, oxidatieweerstand, slijtvastheid. Wij verwelkomen u om onze fabriek in China te bezoeken. Welkom op elk gewenst moment raadplegen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Tantaalcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Tantaalcarbide coating

Belangrijkste kenmerken:

Toepassingen:

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

TaC-coating EDX-gegevens：

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

TAC-gecoate drie-petal ring

Tantalum carbide gecoate chuck

Tantalum carbide gecoate dekking

Ultra pure grafiet lagere halfmoon

Bovenste halfmoon deel sic gecoat

Silicium carbide epitaxy wafer drager

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres