Tantalum carbide coatingondersteuning

De belangrijkste functie van Vetek SemiconductorTantalum carbide (TAC) coatingOndersteuning is het verbeteren van deWarmteweerstand, slijtvastheid en corrosieweerstandvan het substraat door een laag tantalum carbide -coating te coaten, om de nauwkeurigheid en betrouwbaarheid van het proces te verbeteren en de levensduur van de componenten te verlengen. Het is een hoogwaardige coatingproduct dat wordt gebruikt op het gebied van halfgeleiderverwerking.

Vetek Semiconductor's Tantalum Carbide Coating Suppor heeft een MOHS -hardheid van bijna 9 ~ 10, tweede alleen voor diamant. Het heeft een extreem sterke slijtvastheid en kan de slijtage van het oppervlak en de impact tijdens de verwerking effectief weerstaan, waardoor de levensduur van apparatuurcomponenten effectief wordt verlengd. Gecombineerd met het hoge smeltpunt van ongeveer 3880 ° C, wordt het vaak gebruikt voor coatingsleutelcomponenten van halfgeleiderapparatuur, zoals oppervlakte -coatings van ondersteuningsstructuren, warmtebehandelingsapparatuur, kamers of pakkingen in halfgeleiderapparatuur om de slijtvastheid en hoge temperatuurweerstand te verbeteren.

Vanwege het extreem hoge smeltpunt van tantaalcarbide van ongeveer 3880 ° C, in de verwerkingsprocessen van halfgeleiders zoals zoalsChemische dampafzetting (CVD)EnFysieke dampafzetting (PVD), TAC -coating met een sterke weerstand van hoge temperatuur en chemische corrosieweerstand kan de componenten van apparatuur effectief beschermen en corrosie of schade aan het substraat in extreme omgevingen voorkomen, waardoor effectieve bescherming wordt geboden voor high -temperatuuromgevingen bij de productie van wafers. Deze functie bepaalt ook dat de Tantalum Carbide -coatingondersteuning van Vetek Semiconductor vaak wordt gebruikt bij etsen en corrosieve processen.

Tantalum carbide -coatingondersteuning heeft ook de functie van het verminderen van deeltjesverontreiniging. Tijdens het verwerking van de wafer produceert oppervlakteverslijtage meestal deeltjesvorming, die de productkwaliteit van de wafel beïnvloedt. De extreme productkenmerken van TAC Coating van bijna 9-10 MOHS-hardheid kunnen deze slijtage effectief verminderen, waardoor het genereren van deeltjes wordt verminderd. Gecombineerd met de uitstekende thermische geleidbaarheid van TAC -coating (ongeveer 21 w/m · k), kan het een goede thermische geleidbaarheid onderhouden onder hoge temperatuuromstandigheden, waardoor de opbrengst en consistentie van wafersproductie aanzienlijk wordt verbeterd.

De belangrijkste TAC -coatingproducten van Vetek Semiconductor omvattenTAC -coatingverwarming, CVD TAC Coating Crucible, TAC Coating Rotatie SusceptorEnTAC -coating reserveonderdeel, enz., en ondersteuning op maat gemaakte productservices. Vetek Semiconductor streeft ernaar uitstekende producten en technische oplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie. We hopen oprecht uw langdurige partner in China te worden.

Tantalum carbide (TAC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Basisfysische eigenschappen van CVD TAC -coating：