TaC-coatingverwarmer

TaC Coating Heater is een krachtig verwarmingselement dat veel wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen. Het oppervlak is bedekt met tantaalcarbide (TaC), waardoor de verwarmer uitstekend bestand is tegen hoge temperaturen, chemische corrosie en uitstekende thermische geleidbaarheid.

De belangrijkste toepassingen van de TAC -coatingverwarming in de productie van halfgeleiders zijn onder meer:

 ✔ Tijdens het epitaxiale groeiproces van galliumnitride (GaN) biedt TaC Coating Heater een nauwkeurig gecontroleerde omgeving met hoge temperaturen om ervoor te zorgen dat de epitaxiale laag met een uniforme snelheid en hoge kwaliteit op het substraat wordt afgezet. De stabiele warmteafgifte zorgt voor een nauwkeurige controle van dunne-filmmaterialen, waardoor de prestaties van het apparaat worden verbeterd.

 ✔ Bovendien wordt bij het MOCVD-proces (metaalorganische chemische dampafzetting), gecombineerd met de hoge temperatuurbestendigheid en thermische geleidbaarheid van de TaC-coating, de TaC Coating Heater meestal gebruikt om het reactiegas te verwarmen, en door voor een uniforme warmteverdeling te zorgen bevordert de chemische reactie op het substraatoppervlak, waardoor de uniformiteit van de epitaxiale laag wordt verbeterd en een hoogwaardige film wordt gevormd.

 ✔ Als marktleider in TAC -coatingverwarmingsproducten ondersteunt Vetek Semiconducto altijd productaanpassingsdiensten en bevredigende productprijzen. Wat uw specifieke vereisten ook zijn, we zullen de beste oplossing overeenkomen voor uw TAC -coatingverwarmingsbehoeften en kijken uit naar uw consult op elk moment.