Nieuws

Diepgaande analyse van de oorzaken van randvergeling en afbladderen van siliciumcarbidecoating op MOCVD-epitaxygrafietsusceptors. VeTek elimineerde microstress door de initiële CVD-afzettingssnelheid en het stromingsveld nauwkeurig te regelen, waardoor de coatingopbrengst van 50% naar 90% werd verhoogd en de levensduur van zeer zuivere grafietonderdelen werd verlengd.

VeTek Semi pakt de 1,4% pocket-to-pocket diktevariatie aan in multi-pocket silicium epitaxie grafiet susceptoren en verbeterde de vlakheid van de susceptor tot <0,08 mm en verminderde de variatie tot 0,69% via CVD-stromingsveldsimulatie en ultra-precieze SiC-coating, waardoor de wafelopbrengst werd verhoogd.

Ontdek hoe Vetek radiale scheurvorming elimineerde in grote MOCVD SiC-gecoate grafietsusceptors. Herontwerp van structurele stressbuffers en CTE-matching verlengden de levensduur met meer dan 300%.

Een decennium van SiC-evolutie – van de vroege uitdagingen op het gebied van de commercialisering van 4-inch tot de huidige 8-inch wafer-transitie. Ontdek hoe CVD SiC-coatings, Solid SiC en TaC-materialen een betrouwbare productie van halfgeleiders mogelijk maken.

Ontdek hoe CVD SiC-gecoate grafiet susceptors de epitaxiale groei verbeteren door de thermische uniformiteit te verbeteren, vervuiling te verminderen en de levensduur van componenten te verlengen bij de productie van SiC, GaN, LED en silicium halfgeleiders.

Ontdek hoe TaC-gecoate grafietverwarmers de temperatuuruniformiteit verbeteren, het energieverbruik verminderen en de levensduur verlengen in GaN MOCVD-epitaxie in vergelijking met conventionele pBN-gecoate verwarmers.

Ontdek hoe CVD TaC-coating de SiC-kristalgroei in PVT-ovens verbetert door koolstofverontreiniging te verminderen, grafietcomponenten te beschermen, de levensduur te verlengen en de kristalkwaliteit te verbeteren voor geavanceerde halfgeleiderproductie.

Ontdek waarom CVD TaC-coating de geprefereerde beschermende oplossing wordt voor halfgeleidergrafietcomponenten. Leer de voordelen ervan, de toepassingen in SiC-kristalgroei, GaN MOCVD en waferdragers, en hoe het de duurzaamheid, zuiverheid en processtabiliteit verbetert.

Ontdek hoe VETEK Pyrolytische Koolstof (PyC) gecoate grafietringen de thermische stabiliteit verbeteren, vervuiling verminderen en de levensduur van componenten verlengen bij SiC-kristalgroei, epitaxie, CVD en halfgeleiderprocessen bij hoge temperaturen.

Ontdek hoe CVD TaC-coating de SiC-kristalgroei en halfgeleiderproductie verbetert met ultrahoge thermische stabiliteit, corrosieweerstand, onzuiverheidsonderdrukking en superieure prestaties in MOCVD- en epitaxietoepassingen.

Bekijk de belangrijkste Aixtron G10-componenten voor SiC-epitaxiesystemen met hoge temperaturen. We behandelen CVD SiC-gecoate grafietonderdelen, TaC-coatingcomponenten en thermische veldstructuren - en hoe deze helpen bij processtabiliteit, zuiverheidscontrole en wafelopbrengst bij geavanceerde halfgeleiderproductie.

Ontdek wat een Halfmoon-component is in een LPE-reactiekamer en hoe deze de thermische stabiliteit, het gasstroombeheer en de reactorstructuur in SiC-epitaxiesystemen ondersteunt. Ontdek grafietmaterialen, CVD SiC-coating, TaC-coating en moderne halfgeleiderreactortechnologieën.

Worstelt u met de opbrengsten van MicroLED's? Ontdek waarom marktleiders overstappen op SiC-substraten en TaC-gecoate MOCVD-componenten om thermische stress en deeltjesverontreiniging op te lossen. Leer de technische voordelen van CVD SiC voor GaN-schermen van de volgende generatie

Ontdek hoe CVD SiC-coating wordt gebruikt in halfgeleiderprocessen, inclusief de structuur, prestatiekenmerken en typische toepassingen ervan, samen met de relevantie ervan in toepassingen bij hoge temperaturen.

Is CVD Solid SiC de investering waard? Vergelijk de ROI van monolithisch SiC versus traditionele grafietcoatings. Ontdek hoe superieure plasmaweerstand en langere MTBC zich vertalen in lagere wafelafvalpercentages en een hogere uptime van apparatuur voor 12-inch HVM-lijnen.

Hoogzuivere materialen zijn essentieel voor de productie van halfgeleiders. Bij deze processen zijn extreme hitte en corrosieve chemicaliën betrokken. CVD-SiC (Chemical Vapour Deposition Silicon Carbide) zorgt voor de nodige stabiliteit en sterkte. Het is nu een primaire keuze voor geavanceerde apparatuuronderdelen vanwege de hoge zuiverheid en dichtheid.