Siliciumcarbide coating

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid	3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Siliciumcarbide gecoate Epi-susceptor Waferdrager met SiC-coating SiC-gecoate satellietafdekking voor MOCVD CVD SiC-coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC-coating Verwarmingselement Aixtron Satellietwaferdrager SiC Coating Epi-ontvanger SiC-coating halvemaanvormige grafietonderdelen

View as

Ald Planetary Susceptor

ALD -proces, betekent Epitaxy -proces van atomaire laag. Vetek Semiconductor- en ALD -systeemfabrikanten hebben SiC -gecoate ALD -planetaire susceptoren ontwikkeld en geproduceerd die voldoen aan de hoge vereisten van het ALD -proces om de luchtstroom over het substraat gelijkmatig te verdelen. Tegelijkertijd zorgt onze High Purity CVD SIC -coating voor zuiverheid in het proces. Welkom om samenwerking met ons te bespreken.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Dus de ondersteuning coaten

Vetek Semiconductor richt zich op de onderzoek en ontwikkeling en industrialisatie van CVD SIC -coating en CVD TAC -coating. Als ik SIC Coating Susceptor als voorbeeld neemt, wordt het product sterk verwerkt met hoge precisie, dichte CVD SIC -coating, weerstand op hoge temperatuur en sterke corrosieweerstand. Uw aanvraag naar ons is welkom.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD SIC -blok voor SIC -kristalgroei

CVD SIC -blok voor SIC -kristalgroei, is een nieuwe grondstof met hoge zuiverheid ontwikkeld door Vetek Semiconductor. Het heeft een hoge input-output-verhouding en kan van hoge siliciumcarbide enkele kristallen van hoge kwaliteit groeien, wat een materiaal van de tweede generatie is om het poeder te vervangen dat vandaag op de markt wordt gebruikt. Welkom om technische kwesties te bespreken.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SIC Crystal Growth Nieuwe technologie

Vetek Semiconductor's Ultra-High Purity Silicon Carbide (SIC) gevormd door chemische dampafzetting (CVD) wordt aanbevolen te worden gebruikt als bronmateriaal voor het groeien van siliciumcarbidekristallen door fysiek damptransport (PVT). In de nieuwe technologie van de SIC -kristalgroei wordt het bronmateriaal geladen in een smeltkroes en gesublimeerd op een zaadkristal. Gebruik de High Purity CVD-SIC-blokken om te zijn als een bron voor het kweken van SIC-kristallen. Welkom om een partnerschap met ons op te zetten.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD sic douchekop

Vetek Semiconductor is een toonaangevende CVD SIC -douchekopfabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC -materiaal. CVD SIC -douchekop wordt gekozen als een focusserend ringmateriaal vanwege de uitstekende thermochemische stabiliteit, hoge mechanische sterkte en weerstand tegen plasma -erosie. We kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Sic douchekop

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SIC-materiaal. SIC-douchekop wordt gekozen als een focussingringmateriaal vanwege de uitstekende thermochemische stabiliteit, hoge mechanische sterkte en weerstand tegen plasma-erosie. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Siliciumcarbide coating

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

Ald Planetary Susceptor

Dus de ondersteuning coaten

CVD SIC -blok voor SIC -kristalgroei

SIC Crystal Growth Nieuwe technologie

CVD sic douchekop

Sic douchekop

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres