Webmenu

product zoeken

Taal

Producten

Siliciumcarbide coating

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.


Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.


Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.


Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.


Reactoronderdelen die we kunnen doen:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom Typische waarde
Kristalstructuur FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid 3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid 2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte 2~10μm
Chemische zuiverheid 99,99995%
Warmtecapaciteit 640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur 2700℃
Buigsterkte 415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid 300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
CVD SIC Coating Baffle

CVD SIC Coating Baffle

Vetek's CVD SIC Coating Baffle wordt voornamelijk gebruikt in Si Epitaxy. Het wordt meestal gebruikt met siliciumverlengingsvaten. Het combineert de unieke hoge temperatuur en stabiliteit van de CVD SIC Coating Baffle, die de uniforme verdeling van de luchtstroom in de productie van halfgeleiders aanzienlijk verbetert. Wij geloven dat onze producten u geavanceerde technologie en hoogwaardige productoplossingen kunnen brengen.
Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>
CVD SIC grafietcilinder

CVD SIC grafietcilinder

De CVD SIC -grafietcilinder van Vetek Semiconductor is cruciaal in halfgeleiderapparatuur en dient als een beschermend schild in reactoren om interne componenten in hoge temperatuur en drukinstellingen te beschermen. Het beschermt effectief tegen chemicaliën en extreme warmte, het behoud van apparatuurintegriteit. Met uitzonderlijke slijtage en corrosieweerstand zorgt het voor een lange levensduur en stabiliteit in uitdagende omgevingen. Het gebruik van deze deksels verbetert de prestaties van het halfgeleiderapparaat, verlengt de levensduur en vermindert onderhoudsvereisten en schaderisico's.
Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>
CVD SIC Coating Nozzle

CVD SIC Coating Nozzle

CVD SIC -coatingmondstukken zijn cruciale componenten die worden gebruikt in het LPE SIC Epitaxy -proces voor het afzetten van siliciumcarbidematerialen tijdens de productie van halfgeleiders. Deze sproeiers zijn meestal gemaakt van hoge temperatuur en chemisch stabiel siliciumcarbidemateriaal om stabiliteit in harde verwerkingsomgevingen te waarborgen. Ontworpen voor uniforme depositie, spelen ze een sleutelrol bij het beheersen van de kwaliteit en uniformiteit van epitaxiale lagen gekweekt in halfgeleidertoepassingen. Verwelkom uw verdere aanvraag.
Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>
CVD SIC Coating Protector

CVD SIC Coating Protector

Vetek Semiconductor's CVD SIC Coating Protector gebruikt is LPE SIC -epitaxie, de term "LPE" verwijst meestal naar epitaxie met lage druk (LPE) in chemische dampafzetting met lage druk (LPCVD). Bij de productie van halfgeleiders is LPE een belangrijke procestechnologie voor het kweken van enkele kristal dunne films, vaak gebruikt om silicium epitaxiale lagen of andere halfgeleider -epitaxiale lagen te laten groeien. PLS Aarzel niet om contact met ons op te nemen voor meer vragen.
Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>
SIC gecoat voetstuk

SIC gecoat voetstuk

Vetek Semiconductor is professioneel in het vervaardigen van CVD SiC-coating en TaC-coating op grafiet- en siliciumcarbidemateriaal. Wij bieden OEM- en ODM-producten zoals een SiC-gecoat voetstuk, waferdrager, waferhouder, waferdragerbak, planetaire schijf enzovoort. Met een cleanroom- en zuiveringsapparaat van 1000 kwaliteit kunnen we u producten voorzien van een onzuiverheid van minder dan 5 ppm. Ik kijk ernaar uit om te horen binnenkort van jou.
Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>
Inlaatring met SiC-coating

Inlaatring met SiC-coating

Vetek Semiconductor blinkt uit in nauwe samenwerking met klanten om op maat gemaakte ontwerpen voor SiC Coating Inlet Ring te maken, afgestemd op specifieke behoeften. Deze inlaatring met SiC-coating is zorgvuldig ontworpen voor diverse toepassingen, zoals CVD SiC-apparatuur en epitaxie van siliciumcarbide. Voor op maat gemaakte SiC Coating Inlet Ring-oplossingen kunt u contact opnemen met Vetek Semiconductor voor persoonlijke assistentie.
Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>
Als professional Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.
Nieuwsaanbevelingen
Van het productieproces van elektrostatische zuigbekers tot fabrikanten van massaproductie
Van het productieproces van elektrostatische zuigbekers tot fabrikanten van massaproductieBekijk meer >>
Wat is tantalum carbide tac -coating? - Veteksemicon
Wat is tantalum carbide tac -coating? - VeteksemiconBekijk meer >>
Een volledige uitleg van het chipproductieproces (2/2): van wafel tot verpakking en testen
Een volledige uitleg van het chipproductieproces (2/2): van wafel tot verpakking en testenBekijk meer >>
De top 3 kwarts materiaalleveranciers ter wereld
De top 3 kwarts materiaalleveranciers ter wereldBekijk meer >>
8-inch SIC epitaxiale oven en Homoepitaxial Process Research
8-inch SIC epitaxiale oven en Homoepitaxial Process ResearchBekijk meer >>
De ontwikkelingsgeschiedenis van 3c sic
De ontwikkelingsgeschiedenis van 3c sicBekijk meer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept