EPI -supporter

Vetek Semiconductor is een professionele leider China Epi ondernomen, Ald Planetary Tugor en TAC gecoate grafietondersteuning fabrikant. En Onze EPI -ondersteuning is een belangrijk onderdeel vanepitaxiale groeiIn het productieproces van het halfgeleider. De belangrijkste functie is het ondersteunen en verwarmen van de wafer, zodat een epitaxiale laag van hoge kwaliteit uniform op het wafeloppervlak kan worden gekweekt.

Vetek Semiconductors 'EPI-susceptors zijn meestal gemaakt van hoog zuiver grafiet en gecoat met een laag siliciumcarbide (sic).Dit ontwerp heeft de volgende belangrijke voordelen:

● Stabiliteit met hoge temperatuur: De EPI -susceptor kan stabiel blijven in een omgeving met hoge temperatuur, waardoor de uniforme groei van de epitaxiale laag wordt gewaarborgd.

● Corrosieweerstand: De SIC -coating heeft een uitstekende corrosieweerstand en kan de erosie van chemische gassen weerstaan, waardoor de levensduur van het dienblad wordt verlengd.

● Thermische geleidbaarheid: De hoge thermische geleidbaarheid van SiC -materiaal zorgt voor een uniforme temperatuurverdeling van de wafel tijdens het verwarmen, waardoor de kwaliteit van de epitaxiale laag wordt verbeterd.

● THERMISCHE EXPANCIE -COUFFICIENT: De thermische expansiecoëfficiënt van SiC is vergelijkbaar met die van grafiet, waardoor het probleem van het afsluiten van coaten als gevolg van thermische expansie en contractie wordt vermeden.

Basisfysische eigenschappen vanCVD SIC -coating:

CVD SIC Coating Production Shop:

Overzicht van de Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: