Wat is een elektrostatische chuck (ESC)?

De elektrostatische Chuck (ESC), ook bekend als de elektrostatische Chuck (ESC, E-Chuck), is een armatuur dat het principe van elektrostatische adsorptie gebruikt om het geadsorbeerde materiaal vast te houden en te repareren. Het is geschikt voor vacuüm- en plasma -omgevingen. De belangrijkste functie is om ultra-Reinig dunne platen (zoals siliciumwafels) en houd het geadsorbeerde materiaal op een goede vlakheid, die ook de vervorming van het geadsorbeerde materiaal tijdens het proces kan remmen en het kan de temperatuur van het adsorbaat aanpassen.

Een elektrostatische chuck (ESC) is een speciaal type klootzak dat elektrostatische kracht gebruikt om objecten vast te houden, te drukken en op te pakken (werkstukken). Elk materiaal draagt ​​positieve en negatieve ladingen die onzichtbaar zijn voor het blote oog. Wanneer het materiaal op de ESC wordt geplaatst en een bipolaire spanning wordt toegepast op de interne elektroden van de ESC, zullen positieve en negatieve ladingen binnen het materiaal bewegen om overeen te komen met de polariteit van de interne elektroden van de ESC. Deze aantrekkingskracht tussen ESC en het materiaal wordt elektrostatische kracht genoemd en is ook het fundamentele principe achter onze Chucks.

Productvoordelen

Het heeft een breed bedrijfstemperatuurbereik (-50 tot 700 ℃)

Deze elektrostatische zuigbekers hebben een uitstekende sterkte, thermische geleidbaarheid en thermische schokweerstand, en kunnen zich aanpassen aan een breed temperatuurbereik door NGK's proprietaire keramische volumeweerstandsregeling.

Hoge corrosieweerstand

Deze elektrostatische zuigbekers hebben een uitstekende corrosieweerstand tegen halogeengassen.

Lage deeltjesverwerking

Behandeling met lage deeltjes kan worden bereikt door oppervlaktebehandeling en speciale reiniging

Hoge zuiverheid

Producten met een zuiverheid van 99,9% of hoger zijn ook beschikbaar.

Verwarmingsfunctie

Hoge nauwkeurige verwarmingselementinsluitende technologie kan worden geïntegreerd met de verwarmingsfunctie en de wafeltemperatuur kan worden geregeld binnen ± 1%.

Koelfunctie

Deze elektrostatische zuigbekers hebben extreem hoge koelprestaties door keramische platen te binden met een hoge thermische geleidbaarheid en koelplaten.

Radiofrequentie -elektrode

Bulkmetaalelektroden kunnen tegelijkertijd stabiele wafersklem en radiofrequentieplasma -generatie bieden.

Parameter

1.Op het gebied van halfgeleider- en elektronische productie: tijdens de halfgeleider- en elektronische productieprocessen worden elektrostatische zuigbekers gebruikt om dunne en fragiele siliciumwafels, wafels, etc. te hanteren, enz.

2. Glas- en keramiekindustrie: tijdens de processen van snijden, slijpen en hanteren van glas en keramiek kunnen elektrostatische zuigbekers niet-destructieve bewerkingen op brosse materialen uitvoeren, waardoor de productbreuk wordt verlaagd.

3. Productie van precisiemachines en optische componenten: voor precisiemachines en optische componenten kunnen elektrostatische zuigbekers een stabiele adsorptiekracht bieden, waardoor vervorming of krassen tijdens de verwerking worden voorkomen.

4. Geautomatiseerde productielijnen: in geautomatiseerde productielijnen worden elektrostatische zuigbekers veel gebruikt bij de positionering, het hanteren en de assemblage van onderdelen, enz., Het verbeteren van de mate van automatisering en efficiëntie van de productielijn.