Geavanceerde keramiek

Veteksemicon Semiconductor Quartz-scherm is een essentieel onderdeel in metaal-organische chemische dampafzetting (MOCVD) -systemen, die een cruciale rol spelen bij het optimaliseren van dunne filmgroeiprocessen. Deze productdetailpagina benadrukt de hoge zuiverheidskwartsschermen van Veteksemicon, ontworpen om de uniformiteit, zuiverheid en onderhoudsefficiëntie van MOCVD-apparatuur te verbeteren.

Hoog zuiverheidskwarts is essentiële kerncomponent in geavanceerde halfgeleiderproductieprocessen, met name voor toepassingen die een extreem hoge thermische stabiliteit, chemische zuiverheid en dimensionale nauwkeurigheid vereisen. Veteksemicon biedt superieure quartz -smeltkroes van hoge zuiverheid die zijn ontworpen om te voldoen aan de extreme eisen van halfgeleiderprocessen.

De poreuze SIC-keramische chuck van Veteksemicon is een precisie-ontworpen vacuümplatform dat is ontworpen voor veilige en deeltjesvrije wafelafhandeling in geavanceerde halfgeleiderprocessen zoals etsen, ionenimplantatie, CMP en inspectie. Vervaardigd uit poreuze siliciumcarbide met hoge zuiverheid, biedt het uitstekende thermische geleidbaarheid, chemische weerstand en mechanische sterkte. Met aanpasbare poriëngroottes en afmetingen levert Veteksemicon op maat gemaakte oplossingen om te voldoen aan de strenge eisen van cleanroom -wafer verwerkingsomgevingen.

Onze Quartz-waferboten zijn een hoge zuivere waferdrageroplossing op maat gemaakt voor halfgeleider-, LED-, zonnecel- en batterijproductieprocessen. Deze kwartsboot is ontworpen om hoge temperaturen en chemisch agressieve omgevingen te doorstaan, deze kwartsboot heeft een lage thermische expansie, uitstekende elektrische isolatie en langdurige dimensionale stabiliteit. Ideaal voor diffusie-, oxidatie- en LPCVD -processen ondersteunt het nauwkeurige afstemming van de wafer en is beschikbaar in verschillende maten om te voldoen aan verschillende apparatuurvereisten.

Onze boot met hoge zuiverheidskwarts is gemaakt van gesmolten kwarts (SIO₂ -gehalte ≥ 99,99%). Met zijn uitstekende weerstand tegen extreme omgevingen, lage thermische expansiecoëfficiënt en lange levenscyclus, is het een onvervangbare sleutel geworden die kan worden verbruikbaar in de halfgeleider en nieuwe energie -industrie.

Focusring voor etsen is het belangrijkste onderdeel om procesnauwkeurigheid en stabiliteit te waarborgen. Deze componenten worden nauwkeurig geassembleerd in een vacuümkamer om uniforme bewerking van nanoschaalstructuren op het wafeloppervlak te bereiken door precieze controle van plasmadistributie, randtemperatuur en uniformiteit van elektrische veld.