Poreuze SIC keramische klootzakken

De poreuze SIC-keramische klootzakken aangeboden door Veteksemicon zijn gemaakt van poreuze siliciumcarbide (SIC) met veel zuiverheid, deze keramische klootzak zorgt voor uniforme gasstroom, uitstekende vlakheid en thermische stabiliteit onder hoog vacuüm en temperatuuromstandigheden. Het is ideaal voor vacuümklemsystemen, waar contactloze, deeltjesvrije waferafhandeling van cruciaal belang is.

Ⅰ. Belangrijkste materiaaleigenschappen en prestatievoordelen

1. Uitstekende thermische geleidbaarheid en temperatuurweerstand

Siliciumcarbide biedt een hoge thermische geleidbaarheid (120–200 w/m · k) en kan de bedrijfstemperaturen boven 1600 ° C weerstaan, waardoor de kijk ideaal is voor plasma-etsen, ionenstraalverwerking en depositieprocessen met hoge temperatuur.

Rol: zorgt voor uniforme warmtedissipatie, het verminderen van de wafervermelding en het verbeteren van procesuniformiteit.

2. Superieure mechanische sterkte en slijtvastheid

De dichte microstructuur van SIC geeft de Chuck uitzonderlijke hardheid (> 2000 HV) en mechanische duurzaamheid, essentieel voor het herhalen van wafersbelasting/lossencycli en harde procesomgevingen.

Rol: verlengt de levensduur van de Chuck met behoud van dimensionale stabiliteit en oppervlakte -precisie.

3. Gecontroleerde porositeit voor uniforme vacuümverdeling

De fijn afgestemde poreuze structuur van het keramiek maakt consistente vacuümzuig over het wafeloppervlak mogelijk, waardoor veilige wafelplaatsing met minimale deeltjesverontreiniging wordt gewaarborgd.

Rol: verbetert de compatibiliteit van de cleanroom en zorgt voor schadevrije wafersverwerking.

4. Uitstekende chemische weerstand

De inertie van SIC voor corrosieve gassen en plasma -omgevingen beschermt de klootzak tegen afbraak tijdens reactief ionen of chemische reiniging.

Rol: minimaliseert downtime en reinigingsfrequentie, waardoor de operationele kosten worden verlaagd.

Ⅱ. Veteksemicon's Customization & Support Services

Bij Veteksemicon bieden we een volledig spectrum van op maat gemaakte diensten om te voldoen aan de veeleisende eisen van fabrikanten van halfgeleiders:

● Aangepaste geometrie- en poriegrootteontwerp: We bieden Chucks in verschillende maten, diktes en poriedichtheden die zijn aangepast aan uw apparatuurspecificaties en vacuümvereisten.

● Snelle turnaround prototyping: Korte doorlooptijden en lage MOQ -productieondersteuning voor R&D en pilootlijnen.

● Betrouwbare after-sales service: Van installatierichtlijnen tot levenscyclusmonitoring, we zorgen voor langetermijnprestaties en technische ondersteuning.

Ⅲ. Toepassingen

● Etsen- en plasma -verwerkingsapparatuur

● Ionimplantatie en gloeisamers

● CMP -systemen voor chemische mechanische polijsten (CMP)

● Metrologie- en inspectieplatforms

● Vacuüm vasthoudende en klemsystemen in cleanroom -omgevingen

Vekekemeicon Products Shop: