High Purity Quartz Crucible

De crucible met hoge zuiverheidskwarts van het Veteksemicon-platform is gemaakt van ultrahoge zuiverheidssynthetische gefuseerde kwarts. Het SiO2 -gehalte in de geselecteerde kwartsgroepstoffen kan meestal 99,998% of zelfs hoger bereiken (4N8). Door geavanceerde smelt- en vormprocessen wordt het onzuiverheidsgehalte geminimaliseerd, vooral de metaalionen (zoals Na, K, Li, Fe, AL, CA, enz.) En hydroxylgehalte die schadelijk zijn voor halfgeleiderprocessen.

Deze Quartz Crucible is ontworpen voor werking in omgevingen op hoge temperatuur om een ​​lage verontreiniging, hoge sterkte en goede compatibiliteit met kristalgroei en wafelverwerking te garanderen.

Ⅰ. Hoofdtoepassingen in de productieprocessen van halfgeleiders

Kwarts van hoge zuiverheidszuivering spelen een cruciale rol in veel belangrijke semiconductorproductieprocessen met hun unieke fysieke eigenschappen:

1. Siliciumgroei met enkele kristal (Czochralski -proces - CZ)

Gebruik: In het proces van siliciumgroei met één kristal door de czochralski-methode zijn snelle quartz-smeltkroes de belangrijkste containers voor gesmolten silicium. De kwaliteit en zuiverheid van siliciumstaven worden direct beïnvloed door het smeltkroes.

Uitstekende fysieke eigenschappen:

● Ultrahoge zuiverheid: gemaakt van quartz-materiaal met veel zuiverheid, het zorgt voor extreem lage onzuiverheid neerslag en voorkomt verontreiniging van silicium met één kristallen, wat cruciaal is voor de vervaardiging van sterk geïntegreerde en hoogwaardige halfgeleiderapparaten. Onzuiverheden zoals alkalimetalen en zware metalen kunnen dragervallen of verstrooiingscentra worden, waardoor de elektrische eigenschappen van het apparaat ernstig worden beïnvloed.

● Uitstekende weerstand van hoge temperaturen: kwartsmateriaal heeft een hoog smeltpunt (ongeveer 1700 ∘C), kan de extreem hoge temperatuur van gesmolten silicium (ongeveer 1420 ∘C) weerstaan ​​en werken lang lang zonder vervorming of verzachtende.

● Goede thermische stabiliteit: bij hoge temperaturen is de thermische expansiecoëfficiënt extreem laag, die effectief de thermische stress kan weerstaan ​​en kraken tijdens het verwarmen en het koelen kan voorkomen, waardoor de stabiliteit en veiligheid van het proces wordt gewaarborgd.

● Chemische inertie: het heeft een goede chemische inertie voor gesmolten silicium, is niet gemakkelijk om met silicium te reageren, vermindert de introductie van onzuiverheden en carbonisatie van silicium en zorgt voor de zuiverheid van siliciumkristallen.

2. Polykristallijn silicium ingot giet

Sollicitatie: In het polykristallijne silicium ingot gietproces worden quartz-smeltkroes met hoge zuiverheid gebruikt als containers voor gesmolten polykristallijn silicium om fotovoltaïsche of elektronische graad polykristallijne silicium ingots te werpen.

Uitstekende fysieke eigenschappen:

● Thermische schokweerstand: het kan de structurele integriteit behouden, zelfs bij snelle verwarmings- en koelcycli om barsten te voorkomen veroorzaakt door plotselinge temperatuurveranderingen.

● Dimensionale stabiliteit: nauwkeurige dimensionale controle en vormstabiliteit zijn essentieel voor het gieten van polykristallijne silicium -ingots die voldoen aan specificatievereisten.

3. Andere toepassingen op hoge temperatuur

Gebruik: In de productie van halfgeleiders gebruiken veel hoge-temperatuur ovenbuisprocessen, zoals diffusie, oxidatie, gloeien, etc., vaak kwartscontainers als voeringen of dragers om de procesomgeving schoon en stabiel te houden.

Ⅱ. Voordelen van Veteksemicon's High Purity Quartz Crucible

Veteksemicon streeft ernaar hoogwaardige, hoogwaardige producten te bieden voor de halfgeleiderindustrie. Onze hoogwaardige quartz-smeltkroes hebben de volgende voordelen:

● Ultrahoge zuiverheidsgarantie: Strikte controle van grondstoffen en productieprocessen om ervoor te zorgen dat het product ultrahoge zuiverheid van halfgeleider bereikt en het risico op procesverontreiniging minimaliseert.

● Uitstekende duurzaamheid: Uitstekende thermische stabiliteit en mechanische sterkte, het verlengen van de levensduur van het product en het verlagen van de productiekosten.

● Aangepaste service: Aangepaste smeltbare oplossingen van verschillende maten, vormen en specificaties kunnen worden verstrekt volgens uw specifieke procesbehoeften.

Veteksemicon Products Warehouse