Nieuws

Is CVD Solid SiC de investering waard? Vergelijk de ROI van monolithisch SiC versus traditionele grafietcoatings. Ontdek hoe superieure plasmaweerstand en langere MTBC zich vertalen in lagere wafelafvalpercentages en een hogere uptime van apparatuur voor 12-inch HVM-lijnen.

Hoogzuivere materialen zijn essentieel voor de productie van halfgeleiders. Bij deze processen zijn extreme hitte en corrosieve chemicaliën betrokken. CVD-SiC (Chemical Vapour Deposition Silicon Carbide) zorgt voor de nodige stabiliteit en sterkte. Het is nu een primaire keuze voor geavanceerde apparatuuronderdelen vanwege de hoge zuiverheid en dichtheid.

In de wereld van halfgeleiders van siliciumcarbide (SiC) gaat de meeste aandacht uit naar 8-inch epitaxiale reactoren of de fijne kneepjes van het polijsten van wafels. Als we de toeleveringsketen echter terugvoeren tot het allereerste begin – in de Physical Vapor Transport (PVT) oven – vindt er stilletjes een fundamentele ‘materiaalrevolutie’ plaats.