Grafiet roterende ondersteuning

Wafer Susceptor is een must voor epitaxiaal groeiproces. Tijdens de epitaxiale groei wordt het wafersubstraat in de susceptor geplaatst. Vetek halfgeleider's hoogzuiver grafiet roterende susceptoren worden gebruikt in materiaalverwerkingsapparatuur onder hoge temperatuur en hoge vacuümomgevingen. In de epitaxiale groei van galliumnitride (MOCVD -proces) spelen ze een ondersteunende rol bij de rotatie van het substraat. Vetek Semiconductor's roterende grafiet Susceptor heeft de volgende voordelen:

● Hoge zuiverheid: Het onzuiverheidsgehalte in roterende susceptoren met een hoog zuivere grafiet is lager dan 5 ppm. Dit niveau van zuiverheidsgrafiet kan de afgifte van onzuiverheden bij hoge temperaturen voorkomen om de netheid van het depositieproces te waarborgen. Daarom is geen coating vereist om aan de werkvereisten te voldoen.

Hoog zuiverheidsgrafiet

● Uitstekende thermische eigenschappen: Hoge zuiver grafiet heeft een uitstekende thermische geleidbaarheid en de thermische geleidbaarheid is veel hoger dan andere materialen. De thermische expansiecoëfficiënt is klein en kan stabiele prestaties behouden bij het ervaren van temperatuurveranderingen.

● Goede mechanische eigenschappen: Hoge zuiver grafiet heeft goede slijtvastheid en taaiheid, die kunnen voldoen aan de complexe vereisten van het CVD-proces.

● Uitstekende geleidbaarheid: De geleidbaarheid is honderd keer hoger dan die van algemene niet-metalen mineralen.

● Chemische stabiliteit: Het kan corrosie van zuren, alkalisten en organische oplosmiddelen weerstaan

Bovendien levert Vetek Semiconductor, als een toonaangevende fabrikant en leverancier van grafiet met een hoge zuiverheid.SIC gecoate grafiet Susceptor voor MOCVD, Sic gecoate vat susceptor, TAC -gecoate grafietondersteuningEnMocvd sic coating susceptor.Vetek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie- en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie en ondersteunt ook aangepaste diensten. We kijken er oprecht naar uit om uw langdurige partner in China te worden.

Het halfgeleiderGraphiet roterende Susceptor -productwinkels: