VEECO MOCVD-verwarming

De VEECO MOCVD-verwarmer van VeTeksemi is gemaakt van hoogzuiver grafietmateriaal met een onzuiverheidsgehalte dat strikt wordt gecontroleerd onder de 5 ppm, en gecoat met ultrahoogzuiver siliciumcarbide (SiC) met een zuiverheid van meer dan 99,99995% via eenProces voor chemische dampafzetting (CVD). Deze combinatie van materialen geeft de verwarming een reeks belangrijke eigenschappen die zorgen voor zijn uitstekende prestaties in deMetaal organische chemische dampafzetting (MOCVD)proces.

Een van de uitstekende kenmerken van de Veeco MOCVD -verwarming is de buitengewone chemische zuiverheid. De grafietkern met een hoge zuiverheid vermindert de potentiële introductie van verontreinigingen in het hoge temperatuurproces aanzienlijk, waardoor een ultra-schoon filmafzettingsproces wordt gewaarborgd. DeCVD SIC -coatingBiedt extra bescherming voor de verwarming, waardoor een sterke barrière wordt gevormd om chemische reacties te voorkomen die de filmkwaliteit kunnen beschadigen. Deze ongeëvenaarde zuiverheid is essentieel voor de productie van krachtige, betrouwbare halfgeleiderapparaten.

Tegelijkertijd vertoont de verwarmer een extreem hoge thermische stabiliteit en efficiëntie. SiC heeft een hoog smeltpunt en uitstekende thermische geleidbaarheid, waardoor de verwarmer de warmte effectief kan beheren en geleiden. Dit zorgt voor een uniforme verwarming over het substraat, wat op zijn beurt helpt bij het bereiken van een uniforme filmafzetting en het verminderen van defecten veroorzaakt door thermische gradiënten. Een dergelijk thermisch rendement is bijzonder belangrijk voor precisiefabricage.

De Veeco MOCVD -verwarming blinkt ook uit in elektrische prestaties. De grafietkern met hoge zuiverheid heeft een uitstekende elektrische geleidbaarheid, waardoor de verwarming hoge elektrische belastingvereisten kan verwerken. Met deze stabiele elektrische prestaties kan de verwarming de precieze temperatuurregeling en de afzettingssnelheid onderhouden onder hoge belastingomstandigheden, wat van cruciaal belang is voor het waarborgen van consistente procesomstandigheden en het verbeteren van de efficiëntie van de productie van halfgeleiders.

Het oppervlakteontwerp van de verwarmer is zorgvuldig geoptimaliseerd om een ​​hoge substraatemissiviteit te hebben, wat de efficiëntie van de stralingswarmteoverdracht aanzienlijk verbetert. Het vermogen om gelijkmatig te verwarmen is een sleutelfactor bij het garanderen van een consistente dikte en kenmerken van de filmafzetting. Het oppervlakontwerp met hoge emissiviteit verbetert ook de algehele thermische efficiëntie van de verwarming, waardoor het energieverbruik wordt verminderd en de bedrijfskosten worden verlaagd.

In termen van duurzaamheid vertoont Veteksemi's Veeco MoCVD -verwarming uitstekende corrosieweerstand, oxidatieweerstand en mechanische sterkte. CVD SIC -coating biedt een solide barrière voor de corrosieve gassen en chemicaliën die gebruikelijk zijn in MOCVD -processen, waardoor de levensduur van de apparatuur wordt verlengd en onderhoudsbehoeften en vervangingskosten wordt verlaagd. De oxidatieweerstand ervan zorgt ervoor dat de verwarming stabiel blijft bij hoge temperaturen zonder prestatiedegradatie, waardoor de stabiliteit op lange termijn wordt gewaarborgd.

Bovendien zorgt de hoge mechanische sterkte van VeTeksemi's MOCVD-verwarmer ervoor dat deze bestand is tegen de fysieke spanningen die worden gegenereerd tijdens thermische cycli en substraathantering. De robuustheid ervan vermindert het risico op mechanische storingen en zorgt voor een betrouwbare werking van de apparatuur onder zware procesomstandigheden.

Als geavanceerde fabrikant en leverancier van VEECO MOCVD verwarmingsproducten levert VeTeksemi ook een verscheidenheid aan hoogwaardige verwarmingsproducten zoalsTaC-coatingverwarmer, Siliciumcarbide keramische coating grafietverwarmer, Siliciumcarbide keramische coatingverwarmer, enz. VeTek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde en aanpasbare technologie en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie. Wij hopen oprecht uw langetermijnpartner in China te zijn.