Siliciumcarbide coating

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid	3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Siliciumcarbide gecoate Epi-susceptor Waferdrager met SiC-coating SiC-gecoate satellietafdekking voor MOCVD CVD SiC-coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC-coating Verwarmingselement Aixtron Satellietwaferdrager SiC Coating Epi-ontvanger SiC-coating halvemaanvormige grafietonderdelen

View as

CVD SIC Coating Barrel Susceptor

Vetek Semiconductor CVD SIC Coating Barrel Susceptor is de kerncomponent van de Epitaxiale oven van het vattype. Met behulp van CVD SIC Coating Barrel Susceptor, de kwantiteit en kwaliteit van epitaxiale groei zijn sterk verbeterd. Semiconductor kijkt ernaar uit om een nauwe samenwerkingsrelatie met u in de halfgeleiderindustrie op te zetten.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD SIC Coating Wafer Epi Susceptor

Vetek Semiconductor CVD SIC Coating Wafer Epi Susceptor is een onmisbare component voor SiC -epitaxie -groei, die superieure thermisch beheer, chemische weerstand en dimensionale stabiliteit biedt. Door het kiezen van de CVD SIC Coating Wafer EPI Susceptor van Vetek Semiconductor, verbetert u de prestaties van uw MOCVD -processen, wat leidt tot producten van hogere kwaliteit en een grotere efficiëntie in uw halfgeleiderproductieactiviteiten. Verwelkom uw verdere vragen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD SIC Coating Graphite Susceptor

Vetek Semiconductor CVD SIC Coating Graphite Susceptor is een van de belangrijke componenten in de halfgeleiderindustrie, zoals epitaxiale groei en wafelverwerking. Het wordt gebruikt in MOCVD en andere apparatuur ter ondersteuning van de verwerking en het hanteren van wafels en andere materialen met veel nauwkeurige. Vetek Semiconductor heeft China's toonaangevende SIC -gecoate grafiet Susceptor en TAC -gecoate grafiet Susceptor productie- en productiemogelijkheden en kijkt uit naar uw consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD SIC Coating Verwarmingselement

CVD SIC -coatingverwarmingselement speelt een kernrol in verwarmingsmaterialen in PVD -oven (verdampingsafzetting). Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant van CVD SIC gecoate verwarmingselementen in China. We hebben geavanceerde CVD -coatingmogelijkheden en kunnen u aangepaste CVD SIC -coatingproducten bieden. Vetek Semiconductor kijkt ernaar uit om uw partner te worden in SIC gecoat verwarmingselement.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Grafiet roterende ondersteuning

Hoge zuiverheid grafiet roterende susceptor speelt een belangrijke rol in de epitaxiale groei van galliumnitride (MOCVD -proces). Vetek Semiconductor is een toonaangevende grafiet -roterende fabrikant en leverancier in China. We hebben veel grafietproducten met een hoog zuiverheid ontwikkeld op basis van grafietmaterialen met hoge zuiverheid, die volledig voldoen aan de vereisten van de halfgeleiderindustrie. Vetek Semiconductor kijkt ernaar uit om uw partner te worden in roterende Graphite Susceptor.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Hoge zuiverheidsgrafietring

Grafietring met hoge zuiverheid is geschikt voor GAN -epitaxiale groeiprocessen. Hun uitstekende stabiliteit en superieure prestaties hebben ze veel gebruikt. Vetek Semiconductor produceert en produceert wereld toonaangevende grafietring met hoge zuiverheid om de GAN-epitaxie-industrie te helpen vorderen. Veteksemi kijkt ernaar uit om uw partner in China te worden.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Siliciumcarbide coating

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC Coating Barrel Susceptor

CVD SIC Coating Wafer Epi Susceptor

CVD SIC Coating Graphite Susceptor

CVD SIC Coating Verwarmingselement

Grafiet roterende ondersteuning

Hoge zuiverheidsgrafietring

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres