Siliciumcarbide coating

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid	3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Siliciumcarbide gecoate Epi-susceptor Waferdrager met SiC-coating SiC-gecoate satellietafdekking voor MOCVD CVD SiC-coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC-coating Verwarmingselement Aixtron Satellietwaferdrager SiC Coating Epi-ontvanger SiC-coating halvemaanvormige grafietonderdelen

View as

Veeco Mocvd Providence

Als een toonaangevende fabrikant en leverancier van Veeco Mocvd Susceptor -producten in China, vertegenwoordigt de MOCVD -susceptor van Vetek Semiconductor het hoogtepunt van innovatie en technische uitmuntendheid, speciaal aangepast om te voldoen aan de complexe vereisten van hedendaagse halfgeleiderproductieprocessen. Verwelkom uw verdere vragen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Sic afdichtingsgedeelte

Als een geavanceerde SiC -afdichtingsproductfabrikant en fabriek in China. Vetek Semiconducto SIC-afdichtingsgedeelte is een hoogwaardige afdichtingscomponent die veel wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders en andere extreme hoge temperatuur en hogedrukprocessen. Verwelkom uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Silicium carbide wafel chuck

Als een toonaangevende fabrikant en leverancier van siliciumcarbide wafer Chuck -producten in China, speelt de siliciumcarbide -wafer van Vetek Semiconductor een onvervangbare rol in het epitaxiale groeiproces met zijn uitstekende hoge temperatuurweerstand, chemische corrosieweerstand en thermische schokresistentie. Verwelkom uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Siliconen carbide douchekop

Silicium carbide douchekop heeft een uitstekende tolerantie van hoge temperatuur, chemische stabiliteit, thermische geleidbaarheid en goede gasverdelingsprestaties, die een uniforme gasverdeling kunnen bereiken en de filmkwaliteit kunnen verbeteren. Daarom wordt het meestal gebruikt in processen op hoge temperatuur zoals chemische dampafzetting (CVD) of fysische dampafzetting (PVD) processen. Welkom uw verdere consult voor ons, Vetek Semiconductor.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Afdichtring van siliciumcarbide

Als professionele fabrikant en fabriek van siliciumcarbide afdichtringen in China, wordt VeTek Semiconductor siliciumcarbide afdichtringen veel gebruikt in halfgeleiderverwerkingsapparatuur vanwege de uitstekende hittebestendigheid, corrosieweerstand, mechanische sterkte en thermische geleidbaarheid. Het is vooral geschikt voor processen waarbij hoge temperaturen en reactieve gassen betrokken zijn, zoals CVD-, PVD- en plasma-etsen, en is een belangrijke materiaalkeuze in het halfgeleiderproductieproces. Uw verdere vragen zijn welkom.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SiC-gecoate wafelhouder

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van SiC-gecoate waferhouderproducten in China. Met SiC gecoate waferhouder is een waferhouder voor het epitaxieproces bij de verwerking van halfgeleiders. Het is een onvervangbaar apparaat dat de wafer stabiliseert en zorgt voor de uniforme groei van de epitaxiale laag. Stem in met uw verder overleg.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Siliciumcarbide coating

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

Veeco Mocvd Providence

Sic afdichtingsgedeelte

Silicium carbide wafel chuck

Siliconen carbide douchekop

Afdichtring van siliciumcarbide

SiC-gecoate wafelhouder

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres