Producten

Siliciumcarbide coating

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.


Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.


Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.


Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.


Reactoronderdelen die we kunnen doen:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom Typische waarde
Kristalstructuur FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid 3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid 2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte 2~10μm
Chemische zuiverheid 99,99995%
Warmtecapaciteit 640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur 2700℃
Buigsterkte 415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid 300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Halfgeleider susceptor blok sic gecoat

Halfgeleider susceptor blok sic gecoat

Vetek Semiconductor's Semiconductor Susceptor Block SIC -gecoat is een zeer betrouwbaar en duurzaam apparaat. Het is ontworpen om hoge temperaturen en harde chemische omgevingen te weerstaan ​​met behoud van stabiele prestaties en een lange levensduur. Met zijn uitstekende procesmogelijkheden vermindert de Semiconductor Susceptor Block SiC -gecoat de frequentie van vervanging en onderhoud, waardoor de productie -efficiëntie wordt verbeterd. We kijken uit naar de mogelijkheid om met u samen te werken. Wel komen op elk gewenst moment te raadplegen.
SIC gecoate MOCVD Susceptor

SIC gecoate MOCVD Susceptor

Vetek Semiconductor's SIC gecoate MOCVD Susceptor is een apparaat met uitstekend proces, duurzaamheid en betrouwbaarheid. Ze kunnen bestand zijn tegen hoge temperatuur en chemische omgevingen, stabiele prestaties en een lange levensduur behouden, waardoor de frequentie van vervanging en onderhoud wordt verminderd en de productie -efficiëntie wordt verbeterd. Onze MOCVD -epitaxiale susceptor staat bekend om zijn hoge dichtheid, uitstekende vlakheid en uitstekende thermische controle, waardoor het de voorkeursapparatuur is in harde productieomgevingen. Ik kijk ernaar uit om met u samen te werken. Welkom om op elk gewenst moment te raadplegen.
SIC gecoate ICP Etching Carrier

SIC gecoate ICP Etching Carrier

Veteksemicon SIC gecoate ICP -etsdrager is ontworpen voor de meest veeleisende applicaties voor epitaxie -apparatuur. Gemaakt van hoogwaardig ultrazuiver grafietmateriaal, heeft onze SIC gecoate ICP-etsencrager een zeer plat oppervlak en uitstekende corrosieweerstand om de barre omstandigheden tijdens het hanteren te weerstaan. De hoge thermische geleidbaarheid van de SiC -gecoate drager zorgt voor zelfs warmteverdeling voor uitstekende etsenresultaten.
PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor

PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor

Vetek Semiconductor's PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor is een hoogwaardige, ultrazuivere grafietdrager die is ontworpen voor wafersafhandelingsprocessen. Onze vervoerders hebben uitstekende prestaties en kunnen goed presteren in harde omgevingen, hoge temperaturen en harde chemische reinigingsomstandigheden. Onze producten worden veel gebruikt in veel Europese en Amerikaanse markten, en we kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden. U bent van harte welkom om naar China te komen om onze fabriek te bezoeken en meer te leren over onze technologie en producten.
Snelle thermische gloeikroes

Snelle thermische gloeikroes

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van snelle thermisch gloeien en leverancier in China, gericht op het bieden van krachtige oplossingen voor de halfgeleiderindustrie. We hebben vele jaren diepe technische accumulatie op het gebied van SIC -coatingmaterialen. Onze snelle thermische gloeiende susceptor heeft een uitstekende weerstand van hoge temperaturen en uitstekende thermische geleidbaarheid om te voldoen aan de behoeften van wafer epitaxiale productie. U bent van harte welkom om onze fabriek in China te bezoeken om meer te weten te komen over onze technologie en producten.
Siliconen gebaseerde GAN-epitaxiale susceptor

Siliconen gebaseerde GAN-epitaxiale susceptor

De op siliconen gebaseerde GAN-epitaxiale susceptor is de kerncomponent die nodig is voor de productie van GAN-epitaxiale productie. Veteksemicon siliconen gebaseerde GAN-epitaxiale susceptor is speciaal ontworpen voor siliciumgebaseerde Gaspitaxiale reactorsysteem, met voordelen zoals hoge zuiverheid, uitstekende weerstand tegen hoge temperatuur en corrosieweerstand. Verwelkom uw verdere consult.
Als professional Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept