Webmenu

product zoeken

Taal

Producten

Siliciumcarbide coating

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.


Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.


Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.


Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.


Reactoronderdelen die we kunnen doen:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom Typische waarde
Kristalstructuur FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid 3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid 2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte 2~10μm
Chemische zuiverheid 99,99995%
Warmtecapaciteit 640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur 2700℃
Buigsterkte 415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid 300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
LPE SI EPI-receptorset

LPE SI EPI-receptorset

Flat Susceptor en vat susceptor zijn de belangrijkste vorm van EPI -susceptors. Set speciaal ontworpen voor LPE PE2061S 4 "wafels. De bijpassende mate van grafietmateriaal en SIC -coating is goed, de uniformiteit is uitstekend en het leven is lang, wat de opbrengst van epitaxiale laaggroei tijdens de LPE kan verbeteren tijdens de LPE (vloeibare fase -epitaxie) Proces. We verwelkomen u om onze fabriek in China te bezoeken.
Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>
AIXTRON G5 MOCVD SUSCEPTORS

AIXTRON G5 MOCVD SUSCEPTORS

Aixtron G5 MOCVD -systeem bestaat uit grafietmateriaal, siliciumcarbide gecoate grafiet, kwarts, rigide viltmateriaal, enz. Vetek halfgeleider kan de hele set componenten aanpassen en produceren voor dit systeem. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in halfgeleider grafiet en kwarts -onderdelen. Deze Aixtron G5 MOCVD Susceptors Kit is een veelzijdige en efficiënte oplossing voor de productie van halfgeleiders met zijn optimale grootte, compatibiliteit en hoge productiviteit.
Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>
SIC gecoate grafiet Barrel Susceptor voor EPI

SIC gecoate grafiet Barrel Susceptor voor EPI

De Epitaxiale waferverwarmingsbasis van het vat is een product met gecompliceerde verwerkingstechnologie, wat zeer uitdagend is voor het bewerken van apparatuur en vaardigheden. Vetek Semiconductor heeft geavanceerde apparatuur en rijke ervaring in het verwerken van SiC-gecoate grafietvat susceptor voor EPI, kan hetzelfde bieden als de oorspronkelijke fabrieksleven, meer kosteneffectieve epitaxiale vaten. Als u geïnteresseerd bent in onze datas, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.
Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>
SiC-gecoate grafietkroesdeflector

SiC-gecoate grafietkroesdeflector

De SIC gecoate grafiet Crucible Deflector is een belangrijk onderdeel in de enkele kristal ovenapparatuur, het is de taak om het gesmolten materiaal soepel van de smeltkroes naar de kristalgroeizone te leiden en de kwaliteit en vorm van de enkele kristalgroei te waarborgen. Geef zowel grafiet- als SIC -coatingmateriaal. WELKOM om contact met ons op te nemen voor meer informatie.
Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>
MOCVD epitaxiale susceptor voor 4

MOCVD epitaxiale susceptor voor 4 "wafer

MOCVD epitaxiale susceptor voor 4 "wafer is ontworpen om een ​​epitaxiale laag van 4" te laten groeien. VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier, die zich toelegt op het leveren van hoogwaardige MOCVD epitaxiale susceptor voor 4 "wafer. Met op maat gemaakt grafietmateriaal en SiC-coatingproces. Wij zijn in staat om deskundige en efficiënte oplossingen te leveren aan onze klanten. U bent van harte welkom om met ons te communiceren.
Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>
Gan Epitaxiale grafietondersteuning voor G5

Gan Epitaxiale grafietondersteuning voor G5

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier, toegewijd aan het leveren van hoogwaardige GaN Epitaxiale Grafiet susceptor voor G5. we hebben langdurige en stabiele partnerschappen opgebouwd met tal van bekende bedrijven in binnen- en buitenland, waardoor we het vertrouwen en respect van onze klanten hebben verdiend.
Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>
Als professional Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.
Nieuwsaanbevelingen
Siliconen carbide nanomaterialen
Siliconen carbide nanomaterialenBekijk meer >>
Verkennende toepassing van 3D-printtechnologie in de halfgeleiderindustrie
Verkennende toepassing van 3D-printtechnologie in de halfgeleiderindustrieBekijk meer >>
Wat is een PECVD -grafietboot?
Wat is een PECVD -grafietboot?Bekijk meer >>
Sanan Optoelectronics Co., Ltd.: 8-inch SiC-chips zullen naar verwachting in december in productie worden genomen!
Sanan Optoelectronics Co., Ltd.: 8-inch SiC-chips zullen naar verwachting in december in productie worden genomen!Bekijk meer >>
Welke meetapparatuur zit er in de Fab Factory? - Vetek halfgeleider
Welke meetapparatuur zit er in de Fab Factory? - Vetek halfgeleiderBekijk meer >>
De ontwikkelingsgeschiedenis van 3c sic
De ontwikkelingsgeschiedenis van 3c sicBekijk meer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept