Siliciumcarbide coating

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid	3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Siliciumcarbide gecoate Epi-susceptor Waferdrager met SiC-coating SiC-gecoate satellietafdekking voor MOCVD CVD SiC-coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC-coating Verwarmingselement Aixtron Satellietwaferdrager SiC Coating Epi-ontvanger SiC-coating halvemaanvormige grafietonderdelen

View as

8 inch Halfmoon-onderdeel voor LPE-reactor

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant van halfgeleiderapparatuur in China, gericht op de R&D en productie van 8 inch halfmoon deel voor LPE -reactor. We hebben in de loop der jaren rijke ervaring opgebouwd, vooral in SIC -coatingmaterialen, en zijn toegewijd aan het bieden van efficiënte oplossingen die zijn afgestemd op LPE -epitaxiale reactoren. Ons 8 inch halfmoon deel voor LPE -reactor heeft uitstekende prestaties en compatibiliteit en is een onmisbare sleutelcomponent in epitaxiale productie. Welkom uw aanvraag voor meer informatie over onze producten.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels

SiC-gecoate pannenkoeksusceptor voor LPE PE3061S 6 '' wafers is een van de kerncomponenten die worden gebruikt bij de epitaxiale waferverwerking van 6 '' wafers. VeTek Semiconductor is momenteel een toonaangevende fabrikant en leverancier van SiC-gecoate pannenkoeksusceptor voor LPE PE3061S 6''-wafels in China. De SiC-gecoate pannenkoeksusceptor die hij levert, heeft uitstekende eigenschappen zoals hoge corrosieweerstand, goede thermische geleidbaarheid en goede uniformiteit. Ik kijk uit naar uw aanvraag.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SIC gecoate ondersteuning voor LPE PE2061's

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van SiC -gecoate grafietcomponenten in China. SIC gecoate ondersteuning voor LPE PE2061S is geschikt voor LPE silicium epitaxiale reactor. Als onderkant van de vatbasis kunnen SIC-gecoate ondersteuning voor LPE PE2061's bestand zijn tegen hoge temperaturen van 1600 graden Celsius, waardoor het ultra-lange productleven is en de klantkosten verlagen. Ik kijk uit naar uw aanvraag en verdere communicatie.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SIC gecoate bovenplaat voor LPE PE2061's

VeTek Semiconductor is al vele jaren nauw betrokken bij SiC-coatingproducten en is uitgegroeid tot een toonaangevende fabrikant en leverancier van SiC-gecoate bovenplaten voor LPE PE2061S in China. De door ons geleverde SiC-gecoate bovenplaat voor LPE PE2061S is ontworpen voor LPE-silicium epitaxiale reactoren en bevindt zich aan de bovenkant, samen met de cilinderbasis. Deze SiC-gecoate bovenplaat voor LPE PE2061S heeft uitstekende eigenschappen zoals hoge zuiverheid, uitstekende thermische stabiliteit en uniformiteit, wat helpt bij het groeien van hoogwaardige epitaxiale lagen. Welk product u ook nodig heeft, wij verheugen ons op uw aanvraag.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Susceptor met SiC-coating voor LPE PE2061S

Als een van de toonaangevende wafer -fabrieken in de susceptor in China, heeft Vetek Semiconductor continue vooruitgang geboekt in Wafer Susceptor -producten en is het de eerste keuze geworden voor veel epitaxiale wafersfabrikanten. De SIC gecoate vat susceptor voor LPE PE2061's geleverd door Vetek Semiconductor is ontworpen voor LPE PE2061S 4 '' Wafels. De susceptor heeft een duurzame siliciumcarbide -coating die de prestaties en duurzaamheid verbetert tijdens het LPE -proces (vloeibare fase epitaxie) proces. Welkom uw aanvraag, we kijken ernaar uit om uw langdurige partner te worden.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Douchekop van massief SiC-gas

Solid SIC Gas Shower Head speelt een belangrijke rol bij het maken van het gasuniform in het CVD -proces, waardoor uniforme verwarming van het substraat wordt gewaarborgd. Vetek Semiconductor is al vele jaren diep betrokken bij het gebied van vaste SIC -apparaten en kan klanten op maat gemaakte vaste SIC -gasdouchekoppen bieden. Wat uw vereisten ook zijn, we kijken uit naar uw aanvraag.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Siliciumcarbide coating

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

8 inch Halfmoon-onderdeel voor LPE-reactor

SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels

SIC gecoate ondersteuning voor LPE PE2061's

SIC gecoate bovenplaat voor LPE PE2061's

Susceptor met SiC-coating voor LPE PE2061S

Douchekop van massief SiC-gas

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres