SiC Keramische vacuümhouder voor wafels

Mijn rivaal sic keramische vacuümklauwplaat voor wafers is een kerncomponent die speciaal is ontwikkeld voor de halfgeleiderproductie van de derde generatie, geoptimaliseerd voor de verwerkingsomgevingen met hoge temperaturen en hoge druk die wafers ervaren. Gemaakt van zeer zuivere keramische materialen, precisiebewerking en gespecialiseerde oppervlaktebehandeling zorgen voor stabiele vacuümhoudprestaties en uitstekende thermische stabiliteit in het veeleisende halfgeleiderproductieproces. Onze vacuümklauwplaten zijn in de praktijk bewezen door honderden halfgeleiderfabrikanten en tonen uitstekende prestaties in kritische processen zoals SiC-epitaxy, ionenimplantatie en fotolithografie. Ze pakken effectief problemen aan met het kromtrekken van wafers en positioneringsnauwkeurigheid, veroorzaakt door hoge materiaalhardheid en hoge procestemperaturen.

Algemene productinformatie

Zakelijke voorwaarden voor producten

Sollicitatie: Veteksemicon keramische vacuümhouder voor wafels is gemaakt van hoogwaardige keramische materialen en nauwkeurig bewerkt om een ​​ultravlak oppervlak en uitstekende thermische stabiliteit te garanderen. Het biedt betrouwbare oplossingen voor waferadsorptie en temperatuurregeling voor processen zoals epitaxiale groei, ionenimplantatie en fotolithografie, waardoor de procesopbrengst en productie-efficiëntie effectief worden verbeterd.

Diensten die geleverd kunnen worden: scenarioanalyse van klanttoepassingen, matchen van materialen, oplossen van technische problemen.

Bedrijfsprofiel：Veteksemicon heeft 2 laboratoria, een team van experts met 20 jaar materiaalervaring, met R&D- en productie-, test- en verificatiemogelijkheden.

Mijn rivaal keramische vacuümklauwplaat voor voordelen van wafelkernen

 ● Doorbraak in de materiaalwetenschap

Mijn rivaal maakt gebruik van een unieke materiaalformulering en sinterproces om de mechanische sterkte en thermische stabiliteit van zijn producten aanzienlijk te verbeteren, terwijl de uitstekende isolatie-eigenschappen van keramische materialen behouden blijven. Onze op aluminiumoxide gebaseerde keramiek maakt gebruik van zeer zuivere grondstoffen en een speciale additiefformulering, waardoor een uitstekende maatvastheid wordt gegarandeerd, zelfs in omgevingen met hoge temperaturen. Onze op siliciumcarbide gebaseerde keramiek bereikt, via een geoptimaliseerd sinterproces, een hogere thermische geleidbaarheid en verbeterde thermische aanpassing, waardoor ze bijzonder geschikt zijn voor verwerking van SiC-wafels bij hoge temperaturen.

 ● Uitstekende thermische beheerprestaties

Ons unieke meerlaagse ontwerp en de precisiebewerking zorgen ervoor dat de spantang een uitstekende thermische uniformiteit behoudt, zelfs onder bedrijfsomstandigheden bij hoge temperaturen. De siliciumcarbide spankop beschikt over een thermische geleidbaarheid van meer dan 200 W/m·K, waardoor een snelle temperatuurbalancering mogelijk is en de temperatuurvariaties van het waferoppervlak binnen ± 0,8 °C worden gehouden. Dit superieure thermische beheervermogen vermijdt effectief procesdefecten veroorzaakt door temperatuurvariaties en verbetert de productopbrengst aanzienlijk.

● Ultra-precieze bewerkingstechnologie

Mijn rivaal beschikt over toonaangevende precisiebewerkingscentra in China, die gebruik maken van unieke slijp- en polijstprocessen om submicron vlakheid van het oppervlak te bereiken. Onze siliciumcarbide klauwplaten bereiken een vlakheid van het oppervlak binnen 0,8 μm, met een oppervlakteruwheid Ra-waarde van niet meer dan 0,1 μm. Deze ultra-precieze oppervlaktekwaliteit zorgt voor een perfecte pasvorm tussen de wafer en de spankop, waardoor een betrouwbare vlakke referentie ontstaat voor precisieprocessen zoals fotolithografie.

● Verbeterde levensduur

Door geoptimaliseerde materiaalformuleringen en een versterkt structureel ontwerp hebben onze producten een levensduur van meer dan 40% in vergelijking met traditionele producten. Speciale technologieën voor randversterking en oppervlaktecoating zorgen ervoor dat onze producten bestand zijn tegen frequente klem- en reinigingswerkzaamheden. Op aluminiumoxide gebaseerde producten gaan gegarandeerd meer dan 200.000 keer mee, terwijl producten op basis van siliciumcarbide meer dan 500.000 cycli kunnen bereiken, waardoor de bedrijfskosten voor onze klanten aanzienlijk worden verlaagd.

● Onderschrijven van ecologische ketenverificatie

De ecologische ketenverificatie van Veteksemicon keramische vacuümklauwplaat voor wafers omvat grondstoffen tot productie, is geslaagd voor de internationale standaardcertificering en beschikt over een aantal gepatenteerde technologieën om de betrouwbaarheid en duurzaamheid ervan op het gebied van halfgeleiders en nieuwe energie te garanderen.

Voor gedetailleerde technische specificaties, whitepapers of voorbeeldtestregelingen kunt u terechtNeem contact op met ons technische ondersteuningsteamom te ontdekken hoe Veteksemicon uw procesefficiëntie kan verbeteren.