Gesmolten ondoorzichtig kwarts

Gesmolten ondoorzichtig kwarts wordt voornamelijk gemaakt door elektrische fusie, waarbij elektrische verwarming op hoge temperatuur wordt gebruikt om kwartszand met een hoge zuiverheid te smelten om kwartsglas te produceren met een groot aantal microbellen met ondoorzichtige eigenschappen. Electric Fused Quartz bevat een groot aantal kleine belletjes aan de binnenkant, waardoor het ondoorzichtig is en de warmte wordt gereflecteerd en verspreid. Bovendien heeft het een hoge temperatuurbestendigheid, een lage thermische geleidbaarheid, een goede chemische stabiliteit, enz. Deze eigenschappen maken gesmolten ondoorzichtig kwarts een ideale materiaalkeuze voor verschillende processen in de halfgeleiderproductie. 

Momenteel heeft ondoorzichtig kwarts veel belangrijke toepassingen op het gebied van halfgeleiders:

●  Ovenbuizen in diffusie- en oxidatieprocessen

Gesmolten ondoorzichtig kwarts kan worden gebruikt als ovenbuismateriaal voor diffusieovens en oxidatieovens. De hoge temperatuurbestendigheid, thermische schokbestendigheid en goede chemische stabiliteit zorgen ervoor dat stabiele chemische eigenschappen kunnen worden gehandhaafd bij hoge temperaturen, waardoor een omgeving wordt gecreëerd die vrij is van vervuiling en de stabiliteit en consistentie van halfgeleiderprocessen wordt gewaarborgd.

●  Maskerplaten en isolatiematerialen

Bij de verwerking van halfgeleiders kan gesmolten ondoorzichtig kwarts worden gebruikt als maskerplaten en isolatiematerialen. Vanwege de ondoorzichtigheid en de lage lichttransmissie kan het onnodig licht en warmte effectief blokkeren, waardoor wordt voorkomen dat de thermische straling die wordt gegenereerd tijdens het doping- en oxidatiediffusieproces andere onderdelen aantast. Dit is vooral belangrijk voor het nauwkeurig controleren van doping en het beschermen van gevoelige gebieden.

● Kruisbare en verwarmingskappen

Tijdens het trekproces van halfgeleiderwafels worden smeltkroezen van gesmolten kwarts gebruikt om gesmolten silicium op hoge temperatuur vast te houden vanwege hun uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en lage thermische geleidbaarheid. Een lage thermische geleidbaarheid kan het warmteverlies verminderen, de verwarming uniformer maken en de stabiliteit van het trekken van één kristal garanderen. Verwarmingskappen van gesmolten ondoorzichtig kwarts worden gebruikt voor warmte-isolatie, waardoor warmteverlies wordt voorkomen en de energie-efficiëntie wordt verbeterd.

●  Ondersteuning van materialen bij chemische dampdepositie (CVD)

Tijdens het chemische dampafzettingsproces wordt gesmolten ondoorzichtige kwarts gebruikt als een wafelondersteuningsmateriaal. De lage thermische geleidbaarheid en weerstand op hoge temperatuur helpen een stabiel temperatuurveld te behouden en oververhitting of ongelijke verwarming te voorkomen. Chemische traagheid zorgt ervoor dat het niet zal reageren met reactieve gassen bij hoge temperaturen, waardoor de zuiverheid en kwaliteit van de afgezette laag worden gehandhaafd.

● Warmtescherming en isolatiecomponenten

De productieapparatuur van halfgeleiders moet vaak continu werken bij hoge temperaturen, en de lage thermische geleidbaarheid en thermische schokweerstand van gesmolten ondoorzichtige kwarts maken het een ideale warmtescherming en isolatiecomponent. Het gebruik van gefuseerde ondoorzichtige kwarts als warmteschermingsmateriaal kan het energieverlies effectief verminderen en voorkomen dat de warmte van de apparatuur naar andere gebieden wordt overgebracht, waardoor precisieonderdelen worden beschermd.

● Beschermende materialen in etsen- en reinigingsapparatuur

Gesmolten ondoorzichtige kwarts heeft extreem sterke zuur- en alkali -resistentie, waardoor het een beschermend materiaal is in halfgeleider -etsen en reinigingsapparatuur om te voorkomen dat corrosieve chemicaliën de apparatuur beschadigen. Zijn chemische inertie helpt het ook stabiel te blijven in harde chemische omgevingen en de levensduur van de apparatuur te verlengen.

● Fotolithografie masker materiaal

De ondoorzichtige eigenschappen van gefuseerde ondoorzichtige kwarts kunnen worden gebruikt als een maskermateriaal in specifieke fotolithografieprocessen om het blootstellingsgebied nauwkeurig te regelen en te voorkomen dat overtollig licht gevoelige gebieden van de wafer beïnvloedt.

Deze eigenschappen van gesmolten ondoorzichtige kwarts maken het een belangrijk materiaal in zeer nauwkeurige en hoge temperatuurprocessen. Met de continue ontwikkeling van halfgeleiderapparaten en -processen zal versmolten ondoorzichtige kwarts een belangrijke rol blijven spelen in de volgende generatie productietechnologie om te voldoen aan meer strenge procesvereisten.

Als professionele leverancier en fabrikant van gesmolten ondoorzichtig kwarts in China, is VeTek Semiconductor bereid en in staat om klanten te voorzien van hoogwaardig gesmolten ondoorzichtig kwarts en kijkt uit naar uw aanvraag. Wij hopen oprecht uw langetermijnpartner in China te worden.

Vetek halfgeleider versmolten opaque kwarts fysieke eigenschap

Figuur a. Verzending van gefuseerde ondoorzichtige kwarts                                                           Figuur b. Reflectiviteit van gesmolten ondoorzichtige kwarts

Vetek Semiconductor versmolten ondoorzichtige kwartswinkels