Producten
Tantalum carbide gecoate chuck
  • Tantalum carbide gecoate chuckTantalum carbide gecoate chuck

Tantalum carbide gecoate chuck

Vetek Semiconductor is een toonaangevende tantalum carbide gecoate chuck fabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TAC-coating. Onze producten hebben een hoge zuiverheid en hoge temperatuurweerstand tot 2000 ℃. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Vetek Semiconductor Levering van hoge kwaliteit tantalum carbide gecoate chuck, SIC coatingonderdelen met concurrerende prijs. Wel komen te vragen us.Vetek halfgeleider tantalum carbide gecoate chuck, speciaal ontworpen voor het Aixtron G10 MOCVD -systeem. Dit accessoire verbetert de efficiëntie en kwaliteit in de productie van halfgeleiders, waardoor uitstekende prestaties en betrouwbaarheid worden geleverd.

De Chuck is vervaardigd van hoogwaardige materialen en vervaardigd met precisie en heeft een grafietsubstraat gecoat met CVD Tantalum Carbide (TAC). Deze coating biedt uitstekende thermische stabiliteit, hoge zuiverheid en weerstand tegen hoge temperaturen. Het zorgt voor betrouwbare prestaties in de veeleisende omstandigheden van MOCVD -processen.

De Chuck is aanpasbaar voor verschillende semiconductor -wafergroottes, waardoor het geschikt is voor verschillende productie -eisen. De robuuste constructie minimaliseert downtime en onderhoudskosten in verband met wafeldragers en susceptoren.

Met de Vetek Semiconductor Tantalum Carbide -gecoate Chuck, bereikt het Aixtron G10 MOCVD -systeem een ​​hogere efficiëntie en superieure resultaten in de productie van halfgeleiders. De uitzonderlijke thermische stabiliteit, compatibiliteit met verschillende wafelgroottes en betrouwbare prestaties maken het een essentieel hulpmiddel voor het optimaliseren van de productie -efficiëntie en het bereiken van uitstekende resultaten in de uitdagende MOCVD -omgeving.


Productparameter van de tantalum carbide gecoate chuck

Fysieke eigenschappen van TAC -coating
Dikte 14.3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit 0.3
Thermische expansiecoëfficiënt 6.3 10-6/K
Hardheid (HK) 2000 HK
Weerstand 1 × 10-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit <2500 ℃
Grafietgrootte verandert -10 ~ -20um
Coatingdikte ≥20um typische waarde (35um ± 10um)


Wafelprestaties na het gebruik van onze componenten:

Wafer performance after using our components


Vergelijk Semiconductor Production Shop :

VeTek Semiconductor Production Shop


Overzicht van de Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hottags: Tantalum carbide gecoate chuck
Stuur onderzoek
Contact informatie
Voor vragen over siliciumcarbidecoating, tantaalcarbidecoating, speciaal grafiet of een prijslijst kunt u uw e-mailadres achterlaten en wij nemen binnen 24 uur contact met u op.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept