TAC-gecoate drie-petal ring

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier van China TaC Coated Three-petal Ring. De TaC Coated Three-petal Ring wordt gebruikt in het Aixtron G10-depositiesysteem voor samengestelde halfgeleiders, G10-GaN 150/200 mm epitaxie met hoge doorvoer voor GaN-vermogen en RF toepassingen.

VeTek Semiconductor TaC-coating is een nieuwe generatie hittebestendig materiaal, met een betere stabiliteit bij hoge temperaturen dan SiC, als corrosiebestendige coating, oxidatiebestendige coating, slijtvaste coating, kan worden gebruikt in de omgeving boven 2000 ℃, veel gebruikt in ruimtevaart ultra-hoge temperatuur hot-end onderdelen, de derde generatie halfgeleider monokristallijne groei en andere velden.

Productkenmerken:

1. Hoge zuiverheid, onzuiverheidsgehalte <5ppm

2. Bestand tegen hoge temperaturen, corrosieweerstand, hoge dichtheid, hoge dichtheid

3. Het is chemisch inert voor ammoniak, waterstof, silaan en silicium bij hoge temperatuur en heeft een goede thermische stabiliteit.

4. Weerstand tegen thermische schokken kan de werkingscyclus versnellen

5. Sterke grafiethechting zorgt voor een lange levensduur en geen delaminatie van de coating.

6. Strenge maattoleranties.

Hoofdtoepassingen:

1. Epitaxiale groei

2. Enkele kristalgroei

3. Diversie op hoge temperatuur corrosie

4. Mondstuk dat bestand is tegen hoge temperaturen en oxidatie

5. Gassurbinebladen

Productparameter van de TaC-gecoate ring met drie bloemblaadjes

Vergelijk Semiconductor Production Shop ：