Halfgeleider Kwarts Bell Jar

Semiconductor -kwaliteit kwarts Bell Jar is gemaakt van hoog zuiverheidskwartsmateriaal. Het heeft een uitstekende thermische stabiliteit en sterke corrosieweerstand en wordt op veel gebieden gebruikt. In de halfgeleiderindustrie: halfgeleiderkwaliteit Kwarts Bell Jar biedt een gecontroleerde omgeving voor dunne filmafzetting op wafels tijdens chemische dampafzetting (CVD). Semiconductor -kwaliteit kwarts belpot wordt ook gebruikt in processen die vacuümtechnologie vereisen, zoals de productie van optische coatings, metaalcoatings en andere soorten dunne filmmaterialen. Quartz Bell Jar van halfgeleiders is ook nodig in veel fysieke en materiële wetenschapsexperimenten die een hoge zuiverheid, vacuüm-verzegelde omgeving vereisen.

Semiconductor -industrie Gebruiksscenario's:

Polysilicon is een siliciummateriaal dat bestaat uit veel kleine korrels, dat veel wordt gebruikt in geïntegreerde circuits, zonnecellen en andere velden. Chemische dampafzetting (CVD) is een van de belangrijkste methoden om polykristallijn silicium te bereiden. Het basisprincipe is dat het siliciumbrongas, zoals SIH4, wordt ontleed bij hoge temperatuur en op het substraat wordt afgezet om polykristallijn silicium te vormen ：

Sihcl3 + h2 ⇒ si + 3Hcl

Onder hoge temperatuur en vacuümomstandigheden werd het siliciumbrongas in de chemische dampafzetting geleid. Uiteindelijk wordt polykristallijn silicium verkregen. De kwartsklok van halfgeleiderkwaliteit is een belangrijk onderdeel van de CVD-reactor van polykristallijn silicium.

Polykristallijne silicium CVD -reactor

Onder de hoge temperatuurreactie van CVD kan kwartierklasse Bell Jar een uniforme thermische omgeving bieden. Door de hoge temperatuurweerstand van hoog zuiverheidskwartsmateriaal (kan de temperaturen tot ongeveer 1100 ° C weerstaan), kan het stabiel werken in CVD -reacties en een uniforme temperatuurverdeling in het reactiegebied waarborgen. In het CVD -proces zijn er veel giftige gascomponenten, zoals PH3, enz. Kwarts van halfgeleiderkwaliteit kan de chemische gassen in de reactiekamer effectief vanuit de externe omgeving isoleren om schadelijke gaslekkage te voorkomen. De corrosieweerstand van Kwarts -materiaal met een hoog zuiverheid stelt ook andere materialen in staat om lang stabiel te werken tijdens het CVD -proces en is niet gemakkelijk gecorrodeerd of beschadigd.

De Quartz Bell Jar wordt gebruikt in combinatie met de Quartz Heat Preservation Tube en de Vertical Quartz -boot en wordt meestal gebruikt in het epitaxiale proces van de productie van halfgeleider geïntegreerde circuitchipproductie. De epitaxiale oven neemt over het algemeen een verticale structuur aan, met de kwartsbell -pot aan de buitenkant van de verticale kwartsboot en de Quartz Heat Preservation -buis als ondersteuning.

Een andere typische toepassing van kwartsklokken van halfgeleiderkwaliteit in omgevingen met hoge temperaturen: het verwarmen van een partij orthodontische onderdelen binnen 1 seconde tot 704 ℃ in een inerte atmosfeer voor solderen:

VeTek Semiconductor heeft een volwassen technisch team. Welke vorm of materiaal u ook nodig heeft voor de High Purity Quartz Bell Jar, wij kunnen deze voor u op maat maken.

VeTek Semiconductor productenwinkels: